一种深紫外激光装置及生成方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118380847A

    公开(公告)日:2024-07-23

    申请号:CN202410514303.9

    申请日:2024-04-26

    IPC分类号: H01S3/10 H01S3/109

    摘要: 本发明公开了一种深紫外激光装置及生成方法,装置包括:依次连接的种子光源组件、放大组件及倍频组件;种子光源组件产生并输出种子光,种子光的波长为输出目标激光的波长的预设倍数;种子光的类型为单频连续光或单频脉冲光,波长为1480‑2160nm,光谱宽度不大于0.5nm;放大组件包括至少两个依次连接的全光纤结构放大器,用于接收并放大种子光的功率,输出高功率种子光;倍频组件用于基于预设倍数对高功率种子光进行多级频率放大,形成并输出目标激光,频率放大的级数不小于3,目标激光的波长为185‑270nm,目标激光的功率不小于1μW。本发明在预定波长附近实现各项功率和噪声等性能均达到最佳的深紫外激光输出。