公开(公告)号：CN102672597A

公开(公告)日：2012-09-19

申请号：CN201110412522.9

申请日：2011-12-12

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 宫下忠一 ,  小山翔悟

IPC: B24B37/08 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B37/28

Abstract: 在双面研磨装置中，研磨液供给孔的一端部具有内径朝向研磨板的研磨面逐渐增大的内锥形面。在研磨布的覆盖研磨液供给孔的部分形成有对应于研磨液供给孔的研磨布孔。研磨布孔的边缘位于研磨液供给孔中。在一端部形成面对内锥形面的凸缘部的固定管道被固定在研磨液供给孔中。研磨布孔的边缘被夹持在研磨液供给孔的内锥形面和固定管道的凸缘部之间。

公开(公告)号：CN102672597B

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201110412522.9

申请日：2011-12-12

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 宫下忠一 ,  小山翔悟

IPC: B24B37/08 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B37/28

Abstract: 在双面研磨装置中，研磨液供给孔的一端部具有内径朝向研磨板的研磨面逐渐增大的内锥形面。在研磨布的覆盖研磨液供给孔的部分形成有对应于研磨液供给孔的研磨布孔。研磨布孔的边缘位于研磨液供给孔中。在一端部形成面对内锥形面的凸缘部的固定管道被固定在研磨液供给孔中。研磨布孔的边缘被夹持在研磨液供给孔的内锥形面和固定管道的凸缘部之间。