公开(公告)号：CN1840290A

公开(公告)日：2006-10-04

申请号：CN200610074767.4

申请日：2006-04-03

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 宫下忠一 ,  中村佳一 ,  野村佳之

IPC: B24B29/00 ,  H01L21/304

CPC classification number: H01L21/68728 ,  B24B37/345 ,  H01L21/68735 ,  H01L21/68785

Abstract: 该抛光设备可将一工件传送给一顶环而不会使该工件从中心位置移开并可精确地抛光该工件。该抛光设备具有用来将工件传送给顶环的一传送单元。该传送单元包括：一引导件，该引导件具有一接收部分，将工件中心定位；一安放台，该安放台相对于引导件垂直移动，且具有一安放部分，该安放部分接纳中心定位的工件；以及一支承机构，该支承机构支承安放台并使安放台可向下移动。该安放台相对移动而靠近顶环并将工件压到顶环的下表面上，从而将工件传送给所述顶环。

公开(公告)号：CN100591480C

公开(公告)日：2010-02-24

申请号：CN200610074767.4

申请日：2006-04-03

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 宫下忠一 ,  中村佳一 ,  野村佳之

IPC: B24B29/00 ,  H01L21/304

CPC classification number: H01L21/68728 ,  B24B37/345 ,  H01L21/68735 ,  H01L21/68785

Abstract: 该抛光设备可将一工件传送给一顶环而不会使该工件从中心位置移开并可精确地抛光该工件。该抛光设备具有用来将工件传送给顶环的一传送单元。该传送单元包括：一引导件，该引导件具有一接收部分，将工件中心定位；一安放台，该安放台相对于引导件垂直移动，且具有一安放部分，该安放部分接纳中心定位的工件；以及一支承机构，该支承机构支承安放台并使安放台可向下移动。该安放台相对移动而靠近顶环并将工件压到顶环的下表面上，从而将工件传送给所述顶环。