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公开(公告)号：CN110199374B
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN201780081345.6
申请日：2017-12-15
Applicant: 不列颠哥伦比亚大学 , 小利兰·斯坦福大学董事会
Abstract: 提供一种电子束源，其包括形成腔室的容器、设置在腔室内的阴极、设置在腔室中的电极和腔室中的电子发射窗口，所述阴极包括具有各向异性受限导热率的低维导电材料，所述电极可连接到电源用于相对于阴极向电极施加正电压，用于在阴极被电磁(EM)辐射照射使得阴极热电子地发射自由电子时用于加速自由电子离开阴极以形成电子束，所述腔室中的电子发射窗口用于将产生的电子束传递出腔室。还提供了包含电子束源的电子显微镜。
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公开(公告)号：CN110199374A
公开(公告)日：2019-09-03
申请号：CN201780081345.6
申请日：2017-12-15
Applicant: 不列颠哥伦比亚大学 , 小利兰·斯坦福大学董事会
Abstract: 提供一种电子束源，其包括形成腔室的容器、设置在腔室内的阴极、设置在腔室中的电极和腔室中的电子发射窗口，所述阴极包括具有各向异性受限导热率的低维导电材料，所述电极可连接到电源用于相对于阴极向电极施加正电压，用于在阴极被电磁(EM)辐射照射使得阴极热电子地发射自由电子时用于加速自由电子离开阴极以形成电子束，所述腔室中的电子发射窗口用于将产生的电子束传递出腔室。还提供了包含电子束源的电子显微镜。
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