公开(公告)号：CN110662805B

公开(公告)日：2022-02-08

申请号：CN201880034950.2

申请日：2018-06-21

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 饭冢英祐 ,  山口美智子 ,  诹访充史 ,  鸭川政雄

IPC: C08L83/07 ,  C08G77/20 ,  C08L83/04 ,  C09J4/00 ,  C09J183/04 ,  C09J183/07 ,  H01L21/52

Abstract: 提供粘合性和微细图案加工性优异的硅氧烷树脂组合物。硅氧烷树脂组合物含有包含下述通式(1)所示结构、下述通式(2)所示结构和下述通式(3)所示结构的硅氧烷树脂(A)、具有不饱和双键的化合物(B)、光聚合引发剂(C)和溶剂(D)。(通式(1)～(3)中，R1、R2及R3各自独立地表示氢、羟基、具有硅氧烷键的基团或碳原子数为1～30的1价有机基团。X表示链烯基、炔基、具有氮原子和碳‑氧不饱和键的1价有机基团或者具有环状醚键的1价有机基团。Y表示具有光自由基聚合性基团(不包括链烯基和炔基)的1价有机基团。Z表示具有碱溶性基团的1价有机基团。a、b及c各自独立地表示1以上的整数。a～c为2以上时，多个R1、R2、R3、X、Y及Z各自可以相同也可以不同。)

公开(公告)号：CN110662805A

公开(公告)日：2020-01-07

申请号：CN201880034950.2

申请日：2018-06-21

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 饭冢英祐 ,  山口美智子 ,  诹访充史 ,  鸭川政雄

IPC: C08L83/07 ,  C08G77/20 ,  C08L83/04 ,  C09J4/00 ,  C09J183/04 ,  C09J183/07 ,  H01L21/52

Abstract: 提供粘合性和微细图案加工性优异的硅氧烷树脂组合物。硅氧烷树脂组合物含有包含下述通式(1)所示结构、下述通式(2)所示结构和下述通式(3)所示结构的硅氧烷树脂(A)、具有不饱和双键的化合物(B)、光聚合引发剂(C)和溶剂(D)。(通式(1)～(3)中，R1、R2及R3各自独立地表示氢、羟基、具有硅氧烷键的基团或碳原子数为1～30的1价有机基团。X表示链烯基、炔基、具有氮原子和碳-氧不饱和键的1价有机基团或者具有环状醚键的1价有机基团。Y表示具有光自由基聚合性基团(不包括链烯基和炔基)的1价有机基团。Z表示具有碱溶性基团的1价有机基团。a、b及c各自独立地表示1以上的整数。a～c为2以上时，多个R1、R2、R3、X、Y及Z各自可以相同也可以不同。)

公开(公告)号：CN109564386A

公开(公告)日：2019-04-02

申请号：CN201780050949.4

申请日：2017-08-22

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 杉崎祐真 ,  山口美智子 ,  山本洋平 ,  诹访充史

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明的目的在于提供一种即使在厚膜中也能形成微细图案的感光性糊剂。本发明是一种感光性糊剂，其含有无机粉末(A)、碱溶性树脂(B)、选自具有下述通式(1)或(2)所示的结构的化合物中的至少1种反应性化合物(C)、感光剂(D)以及溶剂(E)。(通式(1)中，R1、R2、R3各自独立地表示氢或1价有机基团。R1和R2可相互连接。)(通式(2)中，R4、R5、R6各自独立地表示氢或1价有机基团。其中，R4、R5、R6中的至少一者中具有自由基聚合性基团。)