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公开(公告)号：CN105359037A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201480037500.0
申请日：2014-07-01
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/023 , C08G77/06 , C08G77/14 , G03F7/075 , H01L21/027
Abstract: 本发明的目的在于开发一种正型感光性树脂组合物，所述正型感光性树脂组合物无损于高折射率、高透明性的特性，于室温进行长期保存后，在曝光时仍然具有高灵敏度，且形成图案后的分辨性、耐溶剂性优异。本发明为一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，包含：聚硅氧烷，其是通过将特定的有机硅烷和具有羧基及/或二羧酸酐结构的有机硅烷水解并使其部分缩合而合成的；(d)选自铝化合物、锡化合物、钛化合物及锆化合物中的1种以上的金属化合物的粒子，或者选自铝化合物、锡化合物、钛化合物及锆化合物中的1种以上的金属化合物与硅化合物的复合粒子；(b)萘醌二叠氮化合物；以及(c)溶剂。
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公开(公告)号：CN119278410A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202380043092.9
申请日：2023-06-14
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供一种碱显影时的膜减少量小且可缩短曝光时间的、高感度的正型感光性树脂组合物。本发明是一种正型感光性树脂组合物，包含：包含氮原子的耐热树脂(B)光酸产生剂，所述(A)树脂包含式(1)所表示的构成单元，将组合物中所含的全部树脂的总量设为100质量％，所述全部树脂中的氟原子含量为15质量％以下。(式(1)中，R1表示碳数3～30的3价～12价的有机基，R2为碳数3～20的1价酸分解性基；m表示0～4的整数，n表示1～4的整数；*表示键结部位，a及b分别独立地表示1或2的整数。)#imgabs0#
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公开(公告)号：CN111971425A
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN201980023196.7
申请日：2019-03-22
Applicant: 东丽株式会社
IPC: D01F9/08
Abstract: 作为本发明的一个方式的金属氧化物纤维的制造方法包括：对包含聚金属氧烷和有机溶剂的组合物进行纺丝从而得到丝状物的纺丝步骤；和将通过前述纺丝步骤得到的前述丝状物在200℃以上且2000℃以下的温度下煅烧，得到金属氧化物纤维的煅烧步骤。前述聚金属氧烷具有选自Al、Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Ge、Y、Zr、Nb、Mo、Pd、Ag、In、Sn、Sb、Hf、Ta、W和Bi中的金属原子与氧原子的重复结构。前述聚金属氧烷的重均分子量为2万以上且200万以下。
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公开(公告)号：CN105359037B
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201480037500.0
申请日：2014-07-01
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/023 , C08G77/06 , C08G77/14 , G03F7/075 , H01L21/027
Abstract: 本发明的目的在于开发一种正型感光性树脂组合物，所述正型感光性树脂组合物无损于高折射率、高透明性的特性，于室温进行长期保存后，在曝光时仍然具有高灵敏度，且形成图案后的分辨性、耐溶剂性优异。本发明为一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，包含：聚硅氧烷，其是通过将特定的有机硅烷和具有羧基及/或二羧酸酐结构的有机硅烷水解并使其部分缩合而合成的；(d)选自铝化合物、锡化合物、钛化合物及锆化合物中的1种以上的金属化合物的粒子，或者选自铝化合物、锡化合物、钛化合物及锆化合物中的1种以上的金属化合物与硅化合物的复合粒子；(b)萘醌二叠氮化合物；以及(c)溶剂。
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公开(公告)号：CN102472964A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201080036359.4
申请日：2010-09-16
Applicant: 东丽株式会社
CPC classification number: G03F7/0047 , C08K3/22 , C08K3/36 , C08K5/42 , C08L83/06 , G02B1/04 , G03F7/0233 , G03F7/0757 , C08L83/04
Abstract: 本发明提供一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，含有(a)聚硅氧烷，是通过将特定的有机硅烷和有机硅烷低聚物水解并使其部分缩合而合成的；(b)铝化合物粒子、锡化合物粒子、钛化合物粒子、锆化合物粒子、它们的复合粒子或它们中任一种与硅化合物的复合粒子；(c)萘醌二叠氮化物化合物及(d)溶剂，上述有机硅烷低聚物含有特定的有机硅烷。上述正型感光性树脂组合物具有优异的灵敏度和分辨率、且不破坏高折射率、高透明性的特性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111886280B
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN201980023188.2
申请日：2019-03-22
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 作为本发明的一个方式的聚金属氧烷具有下述通式(1)所示的结构单元，(通式(1)中，R1是氢原子或碳原子数1~10的烷基；R2和R3各自独立地是氢原子、碳原子数1~12的烷基、碳原子数5~12的脂环式烷基、碳原子数6~30的芳族基或碳原子数1~12的酰基；R2和R3任选经由碳‑碳饱和键或碳‑碳不饱和键连结而形成环结构；a是0或1的整数；M表示选自Al、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Ge、Zr、Nb、Mo、Ru、Rh、Pd、Ag、In、Sn、Sb、Hf、Ta、W、Re、Os、Ir、Pt、Au、Tl和Bi中的金属原子；m是表示金属原子M的价数的整数；b是1~(m‑2)的整数)。
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公开(公告)号：CN108291031A
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201680069004.2
申请日：2016-11-17
Applicant: 东丽株式会社
CPC classification number: B32B9/00 , C08G79/00 , C08K3/22 , C08L85/00 , G02B1/11 , H01L51/50 , H05B33/02 , H05B33/22
Abstract: 提供具有下述通式(1)所示的构成单元的聚金属氧烷，且在溶液中透明、在均一的状态下稳定地存在、能形成均质的固化膜的聚金属氧烷。[化1] (R1为有机基，R1的至少一个为(R33SiO−)基。R3任选自特定的基团。R2任选自特定的基团。R1、R2和R3存在多个时，可以各自相同，也可以不同。M表示特定的金属原子。m为表示金属原子M的价数的整数,a为1〜(m−2)的整数)。
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公开(公告)号：CN102640054A
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201080055022.8
申请日：2010-10-26
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物，其通过涂布到波长为400nm以上且900nm以下的区域的透光率小于3.0%、且波长超过900nm且为1300nm以下的区域的透光率的最大值为3.0%以上的基板上，能够更简单地赋予绝缘性和紫外～可见～近红外区域的遮光性。一种感光性树脂组合物，其特征在于，其含有(a)碱溶性树脂、(b)特定的钨氧化物和/或复合钨氧化物、(c)具有两个以上聚合性基团的光聚合性化合物、(d)肟系光聚合引发剂和(e)溶剂。
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公开(公告)号：CN115349165A
公开(公告)日：2022-11-15
申请号：CN202180025596.9
申请日：2021-03-15
Applicant: 东丽株式会社
IPC: H01L21/3065 , G03F7/11 , G03F7/20 , H01L21/027 , H01L21/316
Abstract: 本发明的一个实施方式是无机固体物图案的制造方法，其包含在无机固体物上涂布包含聚金属氧烷及有机溶剂的组合物的涂布工序、将通过上述涂布工序得到的涂布膜在100℃以上且1000℃以下的温度下加热而制成热处理膜的工序、形成上述热处理膜的图案的工序、和将上述热处理膜的图案作为掩模，通过蚀刻对上述无机固体物进行图案加工的工序。
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公开(公告)号：CN110662805B
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN201880034950.2
申请日：2018-06-21
Applicant: 东丽株式会社
IPC: C08L83/07 , C08G77/20 , C08L83/04 , C09J4/00 , C09J183/04 , C09J183/07 , H01L21/52
Abstract: 提供粘合性和微细图案加工性优异的硅氧烷树脂组合物。硅氧烷树脂组合物含有包含下述通式(1)所示结构、下述通式(2)所示结构和下述通式(3)所示结构的硅氧烷树脂(A)、具有不饱和双键的化合物(B)、光聚合引发剂(C)和溶剂(D)。(通式(1)～(3)中，R1、R2及R3各自独立地表示氢、羟基、具有硅氧烷键的基团或碳原子数为1～30的1价有机基团。X表示链烯基、炔基、具有氮原子和碳‑氧不饱和键的1价有机基团或者具有环状醚键的1价有机基团。Y表示具有光自由基聚合性基团(不包括链烯基和炔基)的1价有机基团。Z表示具有碱溶性基团的1价有机基团。a、b及c各自独立地表示1以上的整数。a～c为2以上时，多个R1、R2、R3、X、Y及Z各自可以相同也可以不同。)
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