公开(公告)号：CN105359037B

公开(公告)日：2020-02-28

申请号：CN201480037500.0

申请日：2014-07-01

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 内田圭一 ,  鸭川政雄 ,  诹访充史 ,  谷口千香

IPC: G03F7/023 ,  C08G77/06 ,  C08G77/14 ,  G03F7/075 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明的目的在于开发一种正型感光性树脂组合物，所述正型感光性树脂组合物无损于高折射率、高透明性的特性，于室温进行长期保存后，在曝光时仍然具有高灵敏度，且形成图案后的分辨性、耐溶剂性优异。本发明为一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，包含：聚硅氧烷，其是通过将特定的有机硅烷和具有羧基及/或二羧酸酐结构的有机硅烷水解并使其部分缩合而合成的；(d)选自铝化合物、锡化合物、钛化合物及锆化合物中的1种以上的金属化合物的粒子，或者选自铝化合物、锡化合物、钛化合物及锆化合物中的1种以上的金属化合物与硅化合物的复合粒子；(b)萘醌二叠氮化合物；以及(c)溶剂。

公开(公告)号：CN105359037A

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：CN201480037500.0

申请日：2014-07-01

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 内田圭一 ,  鸭川政雄 ,  诹访充史 ,  谷口千香

IPC: G03F7/023 ,  C08G77/06 ,  C08G77/14 ,  G03F7/075 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明的目的在于开发一种正型感光性树脂组合物，所述正型感光性树脂组合物无损于高折射率、高透明性的特性，于室温进行长期保存后，在曝光时仍然具有高灵敏度，且形成图案后的分辨性、耐溶剂性优异。本发明为一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，包含：聚硅氧烷，其是通过将特定的有机硅烷和具有羧基及/或二羧酸酐结构的有机硅烷水解并使其部分缩合而合成的；(d)选自铝化合物、锡化合物、钛化合物及锆化合物中的1种以上的金属化合物的粒子，或者选自铝化合物、锡化合物、钛化合物及锆化合物中的1种以上的金属化合物与硅化合物的复合粒子；(b)萘醌二叠氮化合物；以及(c)溶剂。