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公开(公告)号：CN100521100C
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200580027716.X
申请日：2005-07-07
Applicant: 东京应化工业株式会社
IPC: H01L21/304 , C11D7/26 , H01L21/027 , G02B5/20 , G03F7/42
CPC classification number: G03F7/0007 , C11D3/43 , C11D11/0047 , G03F7/168
Abstract: 本发明提供在清洗用于形成滤色器或黑矩阵图案的颜料分散型感光性树脂组合物时性能特别优异的清洗除去用溶剂。该清洗除去用溶剂是汉森(Hansen)溶解参数中的氢键力参数(δH)为5～10的溶剂。
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公开(公告)号：CN1900248A
公开(公告)日：2007-01-24
申请号：CN200610105708.9
申请日：2006-07-12
Applicant: 东京应化工业株式会社
Abstract: 本发明涉及一种在树脂组合物的清洗清除中有用的清除清洗剂，特别是用于清洗形成滤色片和黑色矩阵图案的颜料分散型感光树脂组合物的优良的树脂组合物清除清洗剂。将现有常用的树脂用溶剂作为基础，并将特定量的含烷基碳原子数为5或5以下的芳香族化合物和该基础溶剂混合所得混合液作为树脂组合物清除清洗剂使用。当使用前述所含烷基的碳原子数为3～5的芳香族化合物时，该特定混合量优选为清除清洗剂总量的5～50质量％，当使用所含烷基的碳原子数为2或2以下的芳香族化合物时，该特定混合量优选为清除清洗剂总量的20～60质量％。
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公开(公告)号：CN101006561A
公开(公告)日：2007-07-25
申请号：CN200580027716.X
申请日：2005-07-07
Applicant: 东京应化工业株式会社
IPC: H01L21/304 , C11D7/26 , H01L21/027 , G02B5/20 , G03F7/42
CPC classification number: G03F7/0007 , C11D3/43 , C11D11/0047 , G03F7/168
Abstract: 本发明提供在清洗用于形成滤色器或黑矩阵图案的颜料分散型感光性树脂组合物时性能特别优异的清洗除去用溶剂。该清洗除去用溶剂是汉森(Hansen)溶解参数中的氢键力参数(δH)为5～10的溶剂。
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公开(公告)号：CN1912742A
公开(公告)日：2007-02-14
申请号：CN200610109071.0
申请日：2006-07-26
Applicant: 东京应化工业株式会社
Abstract: 本发明提供了一种着色剂分散液，含有着色剂和溶剂，其特征在于，所述溶剂，包括二亚烃基二醇单烃基醚。上述二亚烃基二醇单烃基醚优选为由以下通式(1)表示的溶剂R1－O－CnH2n－O－CnH2n－OH (1)(其中，R1表示碳原子数为1～8的直链、支链或环状的烷基、或芳基，n表示2～5的整数)。由此，可以提高着色剂的分散性和保存稳定性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1912742B
公开(公告)日：2010-05-12
申请号：CN200610109071.0
申请日：2006-07-26
Applicant: 东京应化工业株式会社
Abstract: 本发明提供了一种着色剂分散液，含有着色剂和溶剂，其特征在于，所述溶剂，包括二亚烃基二醇单烃基醚。上述二亚烃基二醇单烃基醚优选为由以下通式(1)表示的溶剂：R1-O-CnH2n-O-CnH2n-OH (1)(其中，R1表示碳原子数为1～8的直链、支链或环状的烷基、或芳基，n表示2～5的整数)。由此，可以提高着色剂的分散性和保存稳定性。
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公开(公告)号：CN1963670A
公开(公告)日：2007-05-16
申请号：CN200610143525.6
申请日：2006-11-10
Applicant: 东京应化工业株式会社
IPC: G03F7/16
Abstract: 本发明提供一种涂布装置，该涂布装置抑制颜料分散型抗蚀剂的颜料成分凝聚。本发明所提供的涂布装置为将颜料分散型抗蚀剂液涂布于被处理基板上的涂布装置，该涂布装置具有：喷嘴，该喷嘴用于吐出颜料分散型抗蚀剂液；用于供给颜料分散型抗蚀剂液的涂布液供给部；以及将由所述涂布液供给部供给的颜料分散型抗蚀剂液导向喷嘴的配管，该配管由导电管构成。由于本发明的涂布装置具有上述结构，因而即使颜料分散型抗蚀剂液通过导电管内，也可以抑制颜料成分的凝聚。
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公开(公告)号：CN1963670B
公开(公告)日：2010-08-18
申请号：CN200610143525.6
申请日：2006-11-10
Applicant: 东京应化工业株式会社
IPC: G03F7/16
Abstract: 本发明提供一种涂布装置，该涂布装置抑制颜料分散型抗蚀剂的颜料成分凝聚。本发明所提供的涂布装置为将颜料分散型抗蚀剂液涂布于被处理基板上的涂布装置，该涂布装置具有：喷嘴，该喷嘴用于吐出颜料分散型抗蚀剂液；用于供给颜料分散型抗蚀剂液的涂布液供给部；以及将由所述涂布液供给部供给的颜料分散型抗蚀剂液导向喷嘴的配管，该配管由导电管构成。由于本发明的涂布装置具有上述结构，因而即使颜料分散型抗蚀剂液通过导电管内，也可以抑制颜料成分的凝聚。
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公开(公告)号：CN1982425A
公开(公告)日：2007-06-20
申请号：CN200610143526.0
申请日：2006-11-10
Applicant: 东京应化工业株式会社
IPC: C11D3/20 , C11D1/82 , G03F7/42 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供一种清洗剂，该清洗剂为用于除去颜料分散型感光性树脂的清洗剂，与以往的产品相比，本发明所提供的清洗剂以较少的量即可发挥出清洗效果且不易引起颜料的凝聚－沉降。本发明的清洗剂的特征在于，其含有2种以上的具有至少1个烷基的芳香族化合物，该芳香族化合物中全部烷基的碳原子的总数为3～5。
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公开(公告)号：CN1884464A
公开(公告)日：2006-12-27
申请号：CN200610093506.7
申请日：2006-06-23
Applicant: 东京应化工业株式会社
IPC: C11D7/24 , H01L21/302
Abstract: 本发明涉及用于去除颜料分散型感光性树脂组合物的洗涤剂，该洗涤剂由于具有含烷基苯的芳香族化合物，因此可以有效地清洗用于形成黑矩阵模式或滤色器等的颜料分散型感光性树脂组合物。
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