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公开(公告)号：CN105676601B
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN201510882811.3
申请日：2015-12-03
Applicant: 东京应化工业株式会社
Abstract: 本发明提供：用于形成蚀刻掩模的玻璃基板的前处理方法，通过该方法，于在表面上具有金属布线和非导电性的被膜的玻璃基板上形成蚀刻掩模时，对于蚀刻掩模的开口部的在玻璃基板的面方向的截面积而言，能使在玻璃基板表面侧的截面积与蚀刻掩模表面的开口部的截面积之差小，能形成可从玻璃基板整面快速剥离的蚀刻掩模；在实施了前处理方法的玻璃基板上形成蚀刻掩模的方法；及利用该方法形成的具有蚀刻掩模的玻璃基板的基于蚀刻的加工方法。解决手段：于在表面上具有金属布线和由有机或无机材料形成的非导电性的被膜的玻璃基板上形成蚀刻掩模之前，针对玻璃基板表面，利用含有胺的处理液进行胺处理，该胺不具有可与玻璃基板的表面化学键合的官能团。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105676601A
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201510882811.3
申请日：2015-12-03
Applicant: 东京应化工业株式会社
Abstract: 本发明提供：用于形成蚀刻掩模的玻璃基板的前处理方法，通过该方法，于在表面上具有金属布线和非导电性的被膜的玻璃基板上形成蚀刻掩模时，对于蚀刻掩模的开口部的在玻璃基板的面方向的截面积而言，能使在玻璃基板表面侧的截面积与蚀刻掩模表面的开口部的截面积之差小，能形成可从玻璃基板整面快速剥离的蚀刻掩模；在实施了前处理方法的玻璃基板上形成蚀刻掩模的方法；及利用该方法形成的具有蚀刻掩模的玻璃基板的基于蚀刻的加工方法。解决手段：于在表面上具有金属布线和由有机或无机材料形成的非导电性的被膜的玻璃基板上形成蚀刻掩模之前，针对玻璃基板表面，利用含有胺的处理液进行胺处理，该胺不具有可与玻璃基板的表面化学键合的官能团。
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公开(公告)号：CN107643654A
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：CN201710451229.0
申请日：2017-06-15
Applicant: 东京应化工业株式会社
IPC: G03F7/038 , G03F7/004 , G02B5/20 , G02F1/1335
Abstract: 本发明提供以下内容：感光性树脂组合物，不易因后烘烤时的加热而过度流动，并且能够以期望的大小形成微细图案化的着色固化膜；使用该感光性树脂组合的固化膜的制造方法；固化膜，使该感光性树脂组合物固化而成；滤色片，具备该固化膜。在包含(A)碱可溶性树脂、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(D)颜料的感光性树脂组合物中，使用酚醛清漆树脂作为(A)碱可溶性树脂，并且使用在末端具有2个以上乙烯性聚合性基团的树枝状聚合物作为(B)光聚合性化合物。
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公开(公告)号：CN107643654B
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN201710451229.0
申请日：2017-06-15
Applicant: 东京应化工业株式会社
IPC: G03F7/038 , G03F7/004 , G02B5/20 , G02F1/1335
Abstract: 本发明提供以下内容：感光性树脂组合物，不易因后烘烤时的加热而过度流动，并且能够以期望的大小形成微细图案化的着色固化膜；使用该感光性树脂组合的固化膜的制造方法；固化膜，使该感光性树脂组合物固化而成；滤色片，具备该固化膜。在包含(A)碱可溶性树脂、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(D)颜料的感光性树脂组合物中，使用酚醛清漆树脂作为(A)碱可溶性树脂，并且使用在末端具有2个以上乙烯性聚合性基团的树枝状聚合物作为(B)光聚合性化合物。
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公开(公告)号：CN107272335B
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN201710220561.6
申请日：2017-04-06
Applicant: 东京应化工业株式会社
Abstract: 本发明涉及感光性树脂组合物。本发明的课题在于提供能够抑制具有Cardo结构的树脂的析出、并且能够形成平滑的固化膜的感光性树脂组合物；由该感光性树脂组合物的固化物形成的固化膜；和使用该感光性树脂组合物的固化膜的形成方法。本发明的解决手段为一种感光性树脂组合物，其包含(A)碱溶性树脂、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(S)溶剂，所述(A)碱溶性树脂含有具有Cardo结构的树脂，所述感光性树脂组合物中，作为(S)溶剂，大气压下的沸点低于180℃的(L)低沸点溶剂和大气压下的沸点为180℃以上且300℃以下的(H)高沸点溶剂以分别规定的量而使用，(H)高沸点溶剂中含有具有芳香族烃环和酯键的化合物。
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公开(公告)号：CN107272335A
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201710220561.6
申请日：2017-04-06
Applicant: 东京应化工业株式会社
Abstract: 本发明涉及感光性树脂组合物。本发明的课题在于提供能够抑制具有Cardo结构的树脂的析出、并且能够形成平滑的固化膜的感光性树脂组合物；由该感光性树脂组合物的固化物形成的固化膜；和使用该感光性树脂组合物的固化膜的形成方法。本发明的解决手段为一种感光性树脂组合物，其包含(A)碱溶性树脂、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(S)溶剂，所述(A)碱溶性树脂含有具有Cardo结构的树脂，所述感光性树脂组合物中，作为(S)溶剂，大气压下的沸点低于180℃的(L)低沸点溶剂和大气压下的沸点为180℃以上且300℃以下的(H)高沸点溶剂以分别规定的量而使用，(H)高沸点溶剂中含有具有芳香族烃环和酯键的化合物。
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