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公开(公告)号：CN103887209B
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201310713222.3
申请日：2013-12-20
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/027
CPC classification number: H01L21/67017 , F04B43/0081 , F04B49/065 , F04B2205/503 , H01L21/6715
Abstract: 本发明提供液处理装置和液处理方法。利用一个过滤器得到与设有多个过滤器时相同的过滤效率并谋求防止生产率降低。根据来自控制部（101）的控制信号，将抗蚀剂液（L）经由过滤器（52）吸入到泵（70）内，将被吸入到泵内的抗蚀剂液的一部分自喷射嘴（7）喷射，使余下的抗蚀剂液返回到供给管路（51b）中的位于过滤器的初级侧的部分，将与喷射量相等的补充量加入到返回量中而进行合成，对合成后的抗蚀剂液以与喷射量和返回量之比的合成相应的次数进行抗蚀剂液的喷射和由过滤器进行的过滤。
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公开(公告)号：CN105413247B
公开(公告)日：2017-09-08
申请号：CN201511001407.7
申请日：2013-02-22
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: B01D19/0063 , B01D19/0031 , B01D19/0068 , G03F7/16 , G03F7/30 , H01L21/6715
Abstract: 本发明提供与对被处理基板供给处理液的处理液供给喷嘴连接的液体处理装置，其包括：将处理液存储容器和该处理液供给喷嘴连接的供给管路；设置于供给管路的过滤器装置；过滤器装置的二次侧的泵；将泵的排出侧和过滤器装置的吸入侧连接的循环管路；在泵的二次侧的供给管路设置的供给控制阀；在循环管路设置的循环控制阀；和控制泵、供给控制阀和循环控制阀的控制装置，利用控制装置，使得通过关闭供给控制阀使从该处理液供给喷嘴向被处理基板的处理液的供给停止时，打开循环控制阀，驱动泵，使处理液在具有过滤器装置的供给管路与循环管路之间循环。
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公开(公告)号：CN106583175A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201611151930.2
申请日：2013-10-09
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: B05C11/10 , B05C5/02 , H01L21/027 , B01D19/02
CPC classification number: B01D36/001 , B01D19/0036 , B01D37/046 , B01D2201/202 , B01D2201/204 , B01D2221/14 , C02F1/20 , C02F2103/346 , C02F2209/03 , F04B53/20 , G03C2001/7437 , B05C11/10 , B01D19/02 , B05C5/02 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种实现了在处理液供给路径上安装有新的过滤器部时为了从过滤器部除去气泡而消耗的处理液的削减和启动时间的缩短的技术。实施如下工序：将处理液充满在新的过滤器部内的工序；接着，为了从上述过滤器部除去气泡而使该过滤器部内成为作为负压气氛的第一压力气氛的工序；之后，使上述过滤器部内升压的工序；然后，在使上述过滤器部的二次侧成为比上述第一压力气氛高的第二压力气氛的状态下，从上述过滤器部的一次侧使处理液通过上述过滤器部的工序；和将通过了上述过滤器部的处理液经由喷嘴供给至被处理体来进行液处理的工序。由此，能够快速除去气泡。
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公开(公告)号：CN106583175B
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201611151930.2
申请日：2013-10-09
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: B05C11/10 , B05C5/02 , H01L21/027 , B01D19/02
CPC classification number: B01D36/001 , B01D19/0036 , B01D37/046 , B01D2201/202 , B01D2201/204 , B01D2221/14 , C02F1/20 , C02F2103/346 , C02F2209/03 , F04B53/20 , G03C2001/7437
Abstract: 本发明提供一种实现了在处理液供给路径上安装有新的过滤器部时为了从过滤器部除去气泡而消耗的处理液的削减和启动时间的缩短的技术。实施如下工序：将处理液充满在新的过滤器部内的工序；接着，为了从上述过滤器部除去气泡而使该过滤器部内成为作为负压气氛的第一压力气氛的工序；之后，使上述过滤器部内升压的工序；然后，在使上述过滤器部的二次侧成为比上述第一压力气氛高的第二压力气氛的状态下，从上述过滤器部的一次侧使处理液通过上述过滤器部的工序；和将通过了上述过滤器部的处理液经由喷嘴供给至被处理体来进行液处理的工序。由此，能够快速除去气泡。
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公开(公告)号：CN104511408B
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201410512890.4
申请日：2014-09-29
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: B05C11/10 , B05C5/02 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供在自喷出嘴(7)喷出作为处理液的抗蚀液(L)时能够抑制生产率的降低并能够使用一个过滤器(52)来谋求该抗蚀液L的清洁化的处理液供给装置和处理液供给方法。在供抗蚀液(L)流通的供给管路(51)上设置过滤器(52)和泵(70)或泵(111、112)。并且，使通过过滤器(52)后的抗蚀液(L)的一部分自喷出嘴(7)喷出并使余下的抗蚀液(L)返回到过滤器(52)的初级侧，在进行后续的喷出动作时，使该余下的抗蚀液(L)再次通过过滤器(52)。在这样的动作序列中，返回到过滤器(52)的初级侧的抗蚀液(L)的返回量设定为与自喷出嘴(7)喷出的抗蚀液(L)的供给量相同或多于该供给量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104511408A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201410512890.4
申请日：2014-09-29
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: B05C11/10 , B05C5/02 , H01L21/027
CPC classification number: F17D3/01 , F17C1/00 , Y10T137/0318 , Y10T137/794 , B05B13/00 , B05B9/0403 , B05B15/40 , H01L21/67017
Abstract: 本发明提供在自喷出嘴(7)喷出作为处理液的抗蚀液(L)时能够抑制生产率的降低并能够使用一个过滤器(52)来谋求该抗蚀液L的清洁化的处理液供给装置和处理液供给方法。在供抗蚀液(L)流通的供给管路(51)上设置过滤器(52)和泵(70)或泵(111、112)。并且，使通过过滤器(52)后的抗蚀液(L)的一部分自喷出嘴(7)喷出并使余下的抗蚀液(L)返回到过滤器(52)的初级侧，在进行后续的喷出动作时，使该余下的抗蚀液(L)再次通过过滤器(52)。在这样的动作序列中，返回到过滤器(52)的初级侧的抗蚀液(L)的返回量设定为与自喷出嘴(7)喷出的抗蚀液(L)的供给量相同或多于该供给量。
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公开(公告)号：CN104137225A
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201380011195.3
申请日：2013-02-22
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/027 , B01D19/00 , B05C11/10 , G03F7/30
CPC classification number: B01D19/0063 , B01D19/0031 , B01D19/0068 , G03F7/16 , G03F7/30 , H01L21/6715
Abstract: 本发明提供与对被处理基板供给处理液的处理液供给喷嘴连接的液体处理装置，其包括：将处理液存储容器和该处理液供给喷嘴连接的供给管路；设置于供给管路的过滤器装置；过滤器装置的二次侧的泵；将泵的排出侧和过滤器装置的吸入侧连接的循环管路；在泵的二次侧的供给管路设置的供给控制阀；在循环管路设置的循环控制阀；和控制泵、供给控制阀和循环控制阀的控制装置，利用控制装置，使得通过关闭供给控制阀使从该处理液供给喷嘴向被处理基板的处理液的供给停止时，打开循环控制阀，驱动泵，使处理液在具有过滤器装置的供给管路与循环管路之间循环。
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公开(公告)号：CN103706523B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201310467501.6
申请日：2013-10-09
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: B05C11/10 , B05C5/02 , H01L21/027
CPC classification number: B01D36/001 , B01D19/0036 , B01D37/046 , B01D2201/202 , B01D2201/204 , B01D2221/14 , C02F1/20 , C02F2103/346 , C02F2209/03 , F04B53/20 , G03C2001/7437
Abstract: 本发明提供一种实现了在处理液供给路径上安装有新的过滤器部时为了从过滤器部除去气泡而消耗的处理液的削减和启动时间的缩短的技术。实施如下工序：将处理液充满在新的过滤器部内的工序；接着，为了从上述过滤器部除去气泡而使该过滤器部内成为作为负压气氛的第一压力气氛的工序；之后，使上述过滤器部内升压的工序；然后，在使上述过滤器部的二次侧成为比上述第一压力气氛高的第二压力气氛的状态下，从上述过滤器部的一次侧使处理液通过上述过滤器部的工序；和将通过了上述过滤器部的处理液经由喷嘴供给至被处理体来进行液处理的工序。由此，能够快速除去气泡。
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公开(公告)号：CN105413247A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201511001407.7
申请日：2013-02-22
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: B01D19/0063 , B01D19/0031 , B01D19/0068 , G03F7/16 , G03F7/30 , H01L21/6715
Abstract: 本发明提供与对被处理基板供给处理液的处理液供给喷嘴连接的液体处理装置，其包括：将处理液存储容器和该处理液供给喷嘴连接的供给管路；设置于供给管路的过滤器装置；过滤器装置的二次侧的泵；将泵的排出侧和过滤器装置的吸入侧连接的循环管路；在泵的二次侧的供给管路设置的供给控制阀；在循环管路设置的循环控制阀；和控制泵、供给控制阀和循环控制阀的控制装置，利用控制装置，使得通过关闭供给控制阀使从该处理液供给喷嘴向被处理基板的处理液的供给停止时，打开循环控制阀，驱动泵，使处理液在具有过滤器装置的供给管路与循环管路之间循环。
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公开(公告)号：CN104137225B
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201380011195.3
申请日：2013-02-22
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/027 , B01D19/00 , B05C11/10 , G03F7/30
CPC classification number: B01D19/0063 , B01D19/0031 , B01D19/0068 , G03F7/16 , G03F7/30 , H01L21/6715
Abstract: 本发明提供与对被处理基板供给处理液的处理液供给喷嘴连接的液体处理装置，其包括：将处理液存储容器和该处理液供给喷嘴连接的供给管路；设置于供给管路的过滤器装置；过滤器装置的二次侧的泵；将泵的排出侧和过滤器装置的吸入侧连接的循环管路；在泵的二次侧的供给管路设置的供给控制阀；在循环管路设置的循环控制阀；和控制泵、供给控制阀和循环控制阀的控制装置，利用控制装置，使得通过关闭供给控制阀使从该处理液供给喷嘴向被处理基板的处理液的供给停止时，打开循环控制阀，驱动泵，使处理液在具有过滤器装置的供给管路与循环管路之间循环。
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