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公开(公告)号：CN105386126A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201510556876.9
申请日：2015-09-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种磁性退火装置。采用本申请，该磁性退火装置用于在磁场中对多个基板进行退火，其中，该磁性退火装置包括：横长筒状的处理容器，其用于在容纳着所述多个基板的状态下进行磁性退火处理；加热部件，其以从外部覆盖该处理容器的沿着长度方向延伸的面的至少一部分的方式设置；磁体，其以进一步从外部覆盖该加热部件的方式设置；基板保持工具，其能够在所述处理容器内保持所述多个基板；以及遮热板，其以包围该基板保持工具的至少一部分的方式设置。
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公开(公告)号：CN111868907A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201980017669.2
申请日：2019-03-07
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/673 , H01L21/67
Abstract: 提供了一种水平式衬底承载装置，例如用于在水平式热处理期间保持半导体衬底的承载装置。水平式衬底承载装置具有不对称放置的支承导轨。水平式衬底承载装置的一侧没有上导轨，而水平式衬底承载装置的另一侧具有在相对高位置处放置的上导轨，例如处于60°或更大的角位置，更优选地处于70°或更大的角位置，并且最优选地处于90°的角位置。没有上导轨的一侧可以用于水平式衬底承载装置的机械手装载。在优选实施方式中，设置了仅三个导轨：两个下导轨以及在一侧的一个上导轨。这三个导轨的使用和放置可以将衬底保持在精确均匀的位置，使衬底移动最小化，并且使颗粒生成最小化，与此同时还使得能够轻松进行机械手接近。
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公开(公告)号：CN111868907B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN201980017669.2
申请日：2019-03-07
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/673 , H01L21/67
Abstract: 提供了一种水平式衬底承载装置，例如用于在水平式热处理期间保持半导体衬底的承载装置。水平式衬底承载装置具有不对称放置的支承导轨。水平式衬底承载装置的一侧没有上导轨，而水平式衬底承载装置的另一侧具有在相对高位置处放置的上导轨，例如处于60°或更大的角位置，更优选地处于70°或更大的角位置，并且最优选地处于90°的角位置。没有上导轨的一侧可以用于水平式衬底承载装置的机械手装载。在优选实施方式中，设置了仅三个导轨：两个下导轨以及在一侧的一个上导轨。这三个导轨的使用和放置可以将衬底保持在精确均匀的位置，使衬底移动最小化，并且使颗粒生成最小化，与此同时还使得能够轻松进行机械手接近。
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公开(公告)号：CN105386126B
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201510556876.9
申请日：2015-09-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种磁性退火装置。采用本申请，该磁性退火装置用于在磁场中对多个基板进行退火，其中，该磁性退火装置包括：横长筒状的处理容器，其用于在容纳着所述多个基板的状态下进行磁性退火处理；加热部件，其以从外部覆盖该处理容器的沿着长度方向延伸的面的至少一部分的方式设置；磁体，其以进一步从外部覆盖该加热部件的方式设置；基板保持工具，其能够在所述处理容器内保持所述多个基板；以及遮热板，其以包围该基板保持工具的至少一部分的方式设置。
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