-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102445573A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201110276545.1
申请日：2011-09-13
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: G01R31/2887 , G01R31/2891 , G01R31/2893
Abstract: 本发明提供能够消减晶片检查装置的设置空间并且能够降低设置成本的晶片检查装置。本发明的晶片检查装置(10)具备：以一片一片地搬送晶片的方式在第一搬送区域(S2)设置的第一晶片搬送机构(12)；在第一搬送区域的端部的对准区域(S3)内，经由晶片保持体(15)通过第一晶片搬送机构(12)搬送的、在检查位置对准晶片(W)的对准机构(14)；在沿着第一搬送区域(S2)和对准区域(S3)的第二搬送区域(S4)内，经由晶片保持体(15)搬送晶片(W)的第二晶片搬送机构(16)；和排列在沿着第二搬送区域的检查区域(S5)并且对经由晶片保持体(15)通过第二晶片搬送机构(16)搬送的晶片(W)进行电气特性检查的多个检查室(17)，在检查室(17)进行对准后的晶片的电气特性检查。
-
公开(公告)号：CN104380450A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201380031735.4
申请日：2013-06-18
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: G01R31/2601 , G01R1/07342 , G01R31/286 , G01R31/2874
Abstract: 本发明提供能够可靠地防止用于进行电连接的接口部分的结露的半导体检查系统及接口部的结露防止方法。其特征在于，该半导体检查包括：探针机构，其用于使探针与被测量体接触而获得电导通；检测器，其用于向上述被测量体供给检查信号并检测上述被测量体的输出信号，从而进行检查；接口部，其用于将上述探针与上述检测器电连接；真空密封机构，其用于气密地保持上述接口部；排气机构，其用于对上述接口部内进行排气而设为减压气氛；以及干燥气体供给机构，其用于一边对干燥气体进行流量控制一边向排气后的上述接口部内供给干燥气体。
-
公开(公告)号：CN103884978B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201410119777.X
申请日：2011-09-13
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: G01R31/2887 , G01R31/2891 , G01R31/2893
Abstract: 本发明提供能够消减晶片检查装置的设置空间并且能够降低设置成本的晶片检查装置。本发明的晶片检查装置（10）具备：以一片一片地搬送晶片的方式在第一搬送区域（S2）设置的第一晶片搬送机构（12）；在第一搬送区域的端部的对准区域（S3）内，经由晶片保持体（15）通过第一晶片搬送机构（12）搬送的、在检查位置对准晶片（W）的对准机构（14）；在沿着第一搬送区域（S2）和对准区域（S3）的第二搬送区域（S4）内，经由晶片保持体（15）搬送晶片（W）的第二晶片搬送机构（16）；和排列在沿着第二搬送区域的检查区域（S5）并且对经由晶片保持体（15）通过第二晶片搬送机构（16）搬送的晶片（W）进行电气特性检查的多个检查室（17），在检查室（17）进行对准后的晶片的电气特性检查。
-
公开(公告)号：CN102445573B
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201110276545.1
申请日：2011-09-13
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01R31/2887 , G01R31/2891 , G01R31/2893
Abstract: 本发明提供能够消减晶片检查装置的设置空间并且能够降低设置成本的晶片检查装置。本发明的晶片检查装置(10)具备：以一片一片地搬送晶片的方式在第一搬送区域(S2)设置的第一晶片搬送机构(12)；在第一搬送区域的端部的对准区域(S3)内，经由晶片保持体(15)通过第一晶片搬送机构(12)搬送的、在检查位置对准晶片(W)的对准机构(14)；在沿着第一搬送区域(S2)和对准区域(S3)的第二搬送区域(S4)内，经由晶片保持体(15)搬送晶片(W)的第二晶片搬送机构(16)；和排列在沿着第二搬送区域的检查区域(S5)并且对经由晶片保持体(15)通过第二晶片搬送机构(16)搬送的晶片(W)进行电气特性检查的多个检查室(17)，在检查室(17)进行对准后的晶片的电气特性检查。
-
公开(公告)号：CN103884978A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201410119777.X
申请日：2011-09-13
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: G01R31/2887 , G01R31/2891 , G01R31/2893
Abstract: 本发明提供能够消减晶片检查装置的设置空间并且能够降低设置成本的晶片检查装置。本发明的晶片检查装置（10）具备：以一片一片地搬送晶片的方式在第一搬送区域（S2）设置的第一晶片搬送机构（12）；在第一搬送区域的端部的对准区域（S3）内，经由晶片保持体（15）通过第一晶片搬送机构（12）搬送的、在检查位置对准晶片（W）的对准机构（14）；在沿着第一搬送区域（S2）和对准区域（S3）的第二搬送区域（S4）内，经由晶片保持体（15）搬送晶片（W）的第二晶片搬送机构（16）；和排列在沿着第二搬送区域的检查区域（S5）并且对经由晶片保持体（15）通过第二晶片搬送机构（16）搬送的晶片（W）进行电气特性检查的多个检查室（17），在检查室（17）进行对准后的晶片的电气特性检查。
-
-
-
-
Search Results
5
records
(took 0.016 seconds)
