公开(公告)号：CN110379700B

公开(公告)日：2024-06-07

申请号：CN201910293114.2

申请日：2019-04-12

申请人： 东京毅力科创株式会社

发明人： 永海幸一 ,  藤原一延 ,  权代正 ,  山田纪和 ,  梅原直征

IPC分类号： H05H1/46

摘要： 本发明提供一种生成等离子体的方法，能够快速抑制高频电力的反射。在一个实施方式的方法中，从高频电源经由匹配器向电极供给高频电力，以在腔室中生成等离子体。在供给高频电力的期间，根据反映腔室内的等离子体的产生的一个以上的参数来判定在腔室内是否生成了等离子体。在判定为没有生成等离子体的情况下，调整由高频电源输出的高频电力的频率，以将高频电源的负载侧电的抗设定为零或者使该负载侧的电抗接近零。

公开(公告)号：CN110379700A

公开(公告)日：2019-10-25

申请号：CN201910293114.2

申请日：2019-04-12

申请人： 东京毅力科创株式会社

发明人： 永海幸一 ,  藤原一延 ,  权代正 ,  山田纪和 ,  梅原直征

IPC分类号： H01J37/32 ,  H05H1/46

摘要： 本发明提供一种生成等离子体的方法，能够快速抑制高频电力的反射。在一个实施方式的方法中，从高频电源经由匹配器向电极供给高频电力，以在腔室中生成等离子体。在供给高频电力的期间，根据反映腔室内的等离子体的产生的一个以上的参数来判定在腔室内是否生成了等离子体。在判定为没有生成等离子体的情况下，调整由高频电源输出的高频电力的频率，以将高频电源的负载侧电的抗设定为零或者使该负载侧的电抗接近零。