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公开(公告)号：CN108474731A
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201780007489.7
申请日：2017-01-10
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 【技术问题】本发明提供一种能够高精度地检测在流路部流动的微小的异物的技术。【技术方案】本发明的异物检测装置包括：供流体流动的流路部；激光照射部，其以光路与上述流路部中的流体的流动方向交叉的方式设置，用于对该流路部内照射来自激光光源的激光，并且上述激光照射部具有光学系统，该光学系统使激光以在与上述流路部的流体的流动方向交叉的方向上变长的方式扁平化；光检测部，其设置在透射上述流路部的光路上，且包含排列在光路的横截面中的长度方向上的多个受光元件；和异物检测部，其将根据上述多个受光元件各自接收的光的强度所对应的电信号的信号电平而得到的信号电平，与规定的信号电平的阈值进行比较，基于比较结果检测上述异物。
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公开(公告)号：CN110178018B
公开(公告)日：2022-02-22
申请号：CN201880007243.4
申请日：2018-01-16
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够高精度地检测在流路部流动的异物的技术。装置包括：流路部(15A～15K)，其构成要被供给到被处理体W的流体流动的流路(17A～17K)；激光照射部(51)，其用于以光路与流路部(15A～15K)中的流体的流动方向交叉的方式对该流路部(15A～15K)内照射激光；设置在从流路部(15A～15K)透射的光路上的受光元件(45A、45B)；检测部(6)，其用于基于从受光元件(45A、45B)输出的信号来检测流体中的异物；和滤光部(57)，其设置在受光元件(45A、45B)与流路部(15A～15K)之间的光路上，遮挡从光照射部(51)对流体照射光而产生的拉曼散射光，并且使瑞利散射光透射而去往受光元件(45A、45B)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113702269B
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202110980343.9
申请日：2017-01-10
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种药液供给装置和涂敷显影系统，其能够高精度地检测在流路部流动的微小的异物。本发明的药液供给装置包括：供流体流动的流路部；激光照射部，其以光路与上述流路部中的流体的流动方向交叉的方式设置，用于对该流路部内照射来自激光光源的激光，并且上述激光照射部具有光学系统，该光学系统使激光以在与上述流路部的流体的流动方向交叉的方向上变长的方式扁平化；光检测部，其设置在透射上述流路部的光路上，且包含排列在光路的横截面中的长度方向上的多个受光元件；和异物检测部，其将根据上述多个受光元件各自接收的光的强度所对应的电信号的信号电平而得到的信号电平，与规定的信号电平的阈值进行比较，基于比较结果检测上述异物。
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公开(公告)号：CN116429792A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202310002690.3
申请日：2023-01-03
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G01N21/956
Abstract: 本公开涉及一种基板检查装置、基板检查方法以及计算机可读存储介质。基板检查装置使用拍摄基板的表面而得到的图像来检查基板，所述基板检查装置具有：保持部(31)，其用于保持基板；第一光源部(51)，其用于对保持于保持部(31)的基板射出可见光；第二光源部(52)，其用于对保持于保持部(31)的基板射出红外光；第一摄像传感器，其接受通过照射可见光而从基板射出的第一反射光，来拍摄关于基板的表面的可见光图像；以及第二摄像传感器，其接受通过照射红外光而从基板射出的第二反射光，来拍摄关于基板的表面的红外光图像。
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公开(公告)号：CN113702269A
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202110980343.9
申请日：2017-01-10
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种药液供给装置和涂敷显影系统，其能够高精度地检测在流路部流动的微小的异物。本发明的药液供给装置包括：供流体流动的流路部；激光照射部，其以光路与上述流路部中的流体的流动方向交叉的方式设置，用于对该流路部内照射来自激光光源的激光，并且上述激光照射部具有光学系统，该光学系统使激光以在与上述流路部的流体的流动方向交叉的方向上变长的方式扁平化；光检测部，其设置在透射上述流路部的光路上，且包含排列在光路的横截面中的长度方向上的多个受光元件；和异物检测部，其将根据上述多个受光元件各自接收的光的强度所对应的电信号的信号电平而得到的信号电平，与规定的信号电平的阈值进行比较，基于比较结果检测上述异物。
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公开(公告)号：CN108474731B
公开(公告)日：2021-09-21
申请号：CN201780007489.7
申请日：2017-01-10
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 【技术问题】本发明提供一种能够高精度地检测在流路部流动的微小的异物的技术。【技术方案】本发明的异物检测装置包括：供流体流动的流路部；激光照射部，其以光路与上述流路部中的流体的流动方向交叉的方式设置，用于对该流路部内照射来自激光光源的激光，并且上述激光照射部具有光学系统，该光学系统使激光以在与上述流路部的流体的流动方向交叉的方向上变长的方式扁平化；光检测部，其设置在透射上述流路部的光路上，且包含排列在光路的横截面中的长度方向上的多个受光元件；和异物检测部，其将根据上述多个受光元件各自接收的光的强度所对应的电信号的信号电平而得到的信号电平，与规定的信号电平的阈值进行比较，基于比较结果检测上述异物。
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公开(公告)号：CN110178018A
公开(公告)日：2019-08-27
申请号：CN201880007243.4
申请日：2018-01-16
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够高精度地检测在流路部流动的异物的技术。装置包括：流路部(15A～15K)，其构成要被供给到被处理体W的流体流动的流路(17A～17K)；激光照射部(51)，其用于以光路与流路部(15A～15K)中的流体的流动方向交叉的方式对该流路部(15A～15K)内照射激光；设置在从流路部(15A～15K)透射的光路上的受光元件(45A、45B)；检测部(6)，其用于基于从受光元件(45A、45B)输出的信号来检测流体中的异物；和滤光部(57)，其设置在受光元件(45A、45B)与流路部(15A～15K)之间的光路上，遮挡从光照射部(51)对流体照射光而产生的拉曼散射光，并且使瑞利散射光透射而去往受光元件(45A、45B)。
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