公开(公告)号：CN111712768B

公开(公告)日：2024-06-11

申请号：CN201980012389.2

申请日：2019-02-04

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 福永信贵 ,  枪光正和 ,  铃木彰史 ,  片冈满史

IPC: G05B19/409 ,  B24B49/04 ,  H01L21/304

Abstract: 对基板进行加工的加工装置具有：基板保持部，其保持基板；加工部，其对保持于所述基板保持部的基板的加工面进行加工；以及显示部，其显示基板的概要图，并且将对基板进行加工时的加工信息与所述概要图相关联地显示。显示部具有用于输入加工条件的条件输入画面，在条件输入画面中，将输入的加工条件与概要图相关联地显示。

公开(公告)号：CN111712768A

公开(公告)日：2020-09-25

申请号：CN201980012389.2

申请日：2019-02-04

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 福永信贵 ,  枪光正和 ,  铃木彰史 ,  片冈满史

IPC: G05B19/409 ,  B24B49/04 ,  H01L21/304

Abstract: 对基板进行加工的加工装置具有：基板保持部，其保持基板；加工部，其对保持于所述基板保持部的基板的加工面进行加工；以及显示部，其显示基板的概要图，并且将对基板进行加工时的加工信息与所述概要图相关联地显示。显示部具有用于输入加工条件的条件输入画面，在条件输入画面中，将输入的加工条件与概要图相关联地显示。