公开(公告)号：CN108569042A

公开(公告)日：2018-09-25

申请号：CN201810186073.2

申请日：2018-03-07

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 吉富济 ,  尾上幸太朗 ,  仓永康史 ,  田岛和树

IPC: B41J3/407 ,  B41J29/393 ,  B41J3/44

CPC classification number: B05C11/00 ,  B05C5/02 ,  B05C11/1021 ,  B05C13/00 ,  B05D1/26 ,  G01B11/002 ,  G01B11/14 ,  H01L51/0005 ,  B41J3/4073 ,  B41J3/445 ,  B41J29/393

Abstract: 本发明提供一种工件加工装置、工件加工方法和计算机存储介质，在对工件进行规定的加工的工件加工装置中，适当修正工件台相对于加工机的相对位置。液滴排出装置包括：载置工件(W)的工件台(20)；向载置在工件台(20)的工件(W)排出液滴的液滴排出头(34)；使工件台(20)移动的Y轴线性电动机(13)；测定Y轴线性电动机(13)的位置的Y轴线性标尺(16)；检测载置在工件台(20)的工件(W)的位置的检测器(160)；基于Y轴线性标尺(16)的测定结果和检测器(160)的检测结果，计算出工件台(20)的位置的修正量的修正器(161)。

公开(公告)号：CN108569042B

公开(公告)日：2021-06-08

申请号：CN201810186073.2

申请日：2018-03-07

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 吉富济 ,  尾上幸太朗 ,  仓永康史 ,  田岛和树

IPC: B41J3/407 ,  B41J29/393 ,  B41J3/44

Abstract: 本发明提供一种工件加工装置、工件加工方法和计算机存储介质，在对工件进行规定的加工的工件加工装置中，适当修正工件台相对于加工机的相对位置。液滴排出装置包括：载置工件(W)的工件台(20)；向载置在工件台(20)的工件(W)排出液滴的液滴排出头(34)；使工件台(20)移动的Y轴线性电动机(13)；测定Y轴线性电动机(13)的位置的Y轴线性标尺(16)；检测载置在工件台(20)的工件(W)的位置的检测器(160)；基于Y轴线性标尺(16)的测定结果和检测器(160)的检测结果，计算出工件台(20)的位置的修正量的修正器(161)。