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    液滴排出装置和液滴排出方法
    1.
    发明公开
    液滴排出装置和液滴排出方法 有权

    公开(公告)号：CN106311524A

    公开(公告)日：2017-01-11

    申请号：CN201610514611.7

    申请日：2016-07-01

    Applicant: 东京毅力科创株式会社

    Inventor： 吉富济 ,  尾上幸太朗 ,  筱崎贤哉

    IPC: B05B13/02 ,  B41J2/01

    Abstract: 本发明提供一种能够使功能液滴排出头与工件上的围堤部高精度地对位的液滴排出装置。该液滴排出装置(1)包括液滴排出头(34)、工件载置台(20)和第1拍摄装置(41)，工件(W)沿主扫描方向(X轴方向)移动了规定的距离时基于由第1拍摄装置(41)取得的拍摄图像来检测形成在工件(W)上的基准标记的位置，并且基于由移动量检测机构(23)检测的工件载置台(20)的移动量来推测基准标记的位置，接着，基于图像检测出的基准标记的位置与基于工件载置台(20)的移动量推测的基准标记的位置的相关关系，修正工件(W)与液滴排出头(34)的相对位置。由此，能够使功能液滴排出头与工件上的围堤部高精度地对位。

    液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质
    2.
    发明授权
    液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质 有权

    公开(公告)号：CN108568383B

    公开(公告)日：2021-12-24

    申请号：CN201810181802.5

    申请日：2018-03-06

    Applicant: 东京毅力科创株式会社

    Inventor： 宫崎一仁 ,  柿野彰 ,  吉富济

    IPC: B05C5/02 ,  B05C11/10 ,  B05C13/02

    Abstract: 本发明涉及液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质。在向工件排出功能液的液滴来进行描绘的液滴排出装置中，提高从液滴排出头向工件的液滴的着液精度。控制部(150)在使由液滴排出头(34)排出的液滴着液在形成于基准工件(Wf)的上表面的基准标记后，由第二拍摄部(42)获取基准工件(W)的拍摄图像，根据拍摄图像，检测基准标记的位置与液滴的着液位置的位置偏离量，根据位置偏离量，计算工作台(20)与液滴排出头(34)的相对位置的修正量。

    工件加工装置、工件加工方法和计算机存储介质
    4.
    发明授权
    工件加工装置、工件加工方法和计算机存储介质 有权

    公开(公告)号：CN108569042B

    公开(公告)日：2021-06-08

    申请号：CN201810186073.2

    申请日：2018-03-07

    Applicant: 东京毅力科创株式会社

    Inventor： 吉富济 ,  尾上幸太朗 ,  仓永康史 ,  田岛和树

    IPC: B41J3/407 ,  B41J29/393 ,  B41J3/44

    Abstract: 本发明提供一种工件加工装置、工件加工方法和计算机存储介质，在对工件进行规定的加工的工件加工装置中，适当修正工件台相对于加工机的相对位置。液滴排出装置包括：载置工件(W)的工件台(20)；向载置在工件台(20)的工件(W)排出液滴的液滴排出头(34)；使工件台(20)移动的Y轴线性电动机(13)；测定Y轴线性电动机(13)的位置的Y轴线性标尺(16)；检测载置在工件台(20)的工件(W)的位置的检测器(160)；基于Y轴线性标尺(16)的测定结果和检测器(160)的检测结果，计算出工件台(20)的位置的修正量的修正器(161)。

    基板输送装置
    6.
    发明公开
    基板输送装置 无效

    公开(公告)号：CN102161026A

    公开(公告)日：2011-08-24

    申请号：CN201110044887.0

    申请日：2011-02-24

    Applicant: 东京毅力科创株式会社

    Inventor： 稻益寿史 ,  小篠勲 ,  高木贵生 ,  吉富济

    IPC: B05B13/02 ,  B05C13/02

    Abstract: 本发明涉及一种基板输送装置。其中，涂覆装置能够在装置内随时或适时地、自动且有效率地去除上浮工作台上的吸引口的堵塞。在上浮工作台吸引口扫除动作中，控制器在将与涂覆处理相关的动作暂时全部设为停止状态后使第2供气部工作。通过使第2供气部工作，从而将来自正压气体供应源的空气(压缩空气)经由第1供气管线和第2歧管(64)而送入到涂覆区域内的各吸引口(18)。在发生了堵塞的吸引口(18)中，利用来自第2歧管(64)侧的空气压力而将夹入在气体通路(18a)中的异物(Q)以挤出的方式朝上方排出。这时，由于第1供气部(44)也工作，因此不必担心由吸引口(18)排出的异物(Q)进入到附近的喷出口(16)中。

    液滴排出装置、液滴排出方法和计算机存储介质
    7.
    发明授权
    液滴排出装置、液滴排出方法和计算机存储介质 有权

    公开(公告)号：CN108569041B

    公开(公告)日：2021-07-23

    申请号：CN201810185855.4

    申请日：2018-03-07

    Applicant: 东京毅力科创株式会社

    Inventor： 宫崎一仁 ,  柿野彰 ,  吉富济

    IPC: B41J3/407 ,  B41J3/44 ,  B41J29/393

    Abstract: 本发明提供一种液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质，在对工件排出功能液的液滴进行描绘的液滴排出装置中，适当修正工件台相对于液滴排出头的相对位置。液滴排出装置包括：载置工件(W)的工件台(20)；向载置在工件台(20)的工件(W)排出液滴的液滴排出头(34)；使工件台(20)在主扫描方向移动的Y轴线性电动机(13)；控制部(150)，一边使工件台(20)沿扫描线移动一边检测载置在工件台(20)的工件W的位置，使用该检测结果生成表示Y轴线性电动机(13)的位置与工件台(20)的位置的修正量的相关关系的修正表。上述扫描线是以在主扫描方向上延伸且在副扫描方向上排列多个的方式设置的。

    涂敷装置以及涂敷方法
    9.
    发明授权
    涂敷装置以及涂敷方法 有权

    公开(公告)号：CN1949079B

    公开(公告)日：2010-11-03

    申请号：CN200610136356.3

    申请日：2006-10-13

    Applicant: 东京毅力科创株式会社

    Inventor： 池田文彦 ,  池本大辅 ,  吉富济

    IPC: G03F7/16

    Abstract: 本发明提供一种涂敷装置及涂敷方法，当基板G的前端部到达抗蚀剂喷嘴(78)的正下方附近的设定位置即涂敷开始位置时，停止基板搬送，进行二次测定检查，由光学式距离传感器(162)测定至基板G上面及下面的距离Ld、Le。然后，将基板G的厚度测定值D及浮起高度测定值Hb分别与各自的设定值或基准值「D」、「Hb」进行比较，若比较误差|「D」—D|和|「Hb」—Hb|均在规定容许范围内，则判定「正常」，否则判定「异常」。由此，缩短通过浮起搬送方式的非旋转涂敷法将涂敷液涂敷在被处理基板上的整体涂敷处理时间并且合适地管理浮起台与基板以及喷嘴之间的高度位置关系，使基板上处理液的涂敷膜形成均匀的膜厚。

    液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质
    10.
    发明授权
    液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质 有权

    公开(公告)号：CN108568382B

    公开(公告)日：2022-05-06

    申请号：CN201810181769.6

    申请日：2018-03-06

    Applicant: 东京毅力科创株式会社

    Inventor： 宫崎文宏 ,  宫崎一仁 ,  相良典秀 ,  吉富济 ,  尾上幸太朗

    IPC: B05C5/02 ,  B05C11/10 ,  B05C13/02

    Abstract: 本发明提供液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质。在向工件排出功能液的液滴来进行描绘的液滴排出装置中，使从液滴排出头向工件去的液滴的着液精度提高。液滴排出装置(1)包括：载置工件(W)的工作台(40)；向载置于工作台(40)的工件(W)排出液滴的液滴排出头(24)；使工作台(40)在主扫描方向Y轴方向上移动的Y轴直线电动机(13)；检测托架标记(25)的位置的位置检测器(72)；和控制部(150)，其计算由位置检测器(7)检测的检测位置和托架标记(25)的基准位置的在主扫描方向的位置偏离量，基于该位置偏离量，对液滴排出头(24)的液滴的排出时机进行修正。

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