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公开(公告)号：CN101258499A
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN200580048112.3
申请日：2005-12-15
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G06F19/00
CPC classification number: G05B19/4184 , G05B2219/31356 , G05B2219/32179 , G05B2219/45031 , Y02P80/40 , Y02P90/14 , Y02P90/20 , Y02P90/22 , Y02P90/86
Abstract: 一种用于在APC系统中实现FDC(400)的方法，包括从存储器接收FDC模型(430)；将所述FDC模型(430)提供给处理模型计算引擎(425)；使用所述处理模型(425)计算引擎计算预测的依赖处理参数矢量；接收包括一组配方参数(440)的处理配方，将处理配方提供给处理模块(420)；执行所述处理配方以产生测量的依赖处理参数矢量(445)；计算所述预测的依赖处理参数矢量和所述测量的依赖处理参数矢量之间的差(450)；将所述差和阈值进行比较(455)；以及当所述差大于阈值时宣布故障状态(465)。
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公开(公告)号：CN101258499B
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN200580048112.3
申请日：2005-12-15
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G05B19/418
CPC classification number: G05B19/4184 , G05B2219/31356 , G05B2219/32179 , G05B2219/45031 , Y02P80/40 , Y02P90/14 , Y02P90/20 , Y02P90/22 , Y02P90/86
Abstract: 一种用于在APC系统中实现FDC(400)的方法，包括从存储器接收FDC模型(430)；将所述FDC模型(430)提供给处理模型计算引擎(425)；使用所述处理模型(425)计算引擎计算预测的依赖处理参数矢量；接收包括一组配方参数(440)的处理配方，将处理配方提供给处理模块(420)；执行所述处理配方以产生测量的依赖处理参数矢量(445)；计算所述预测的依赖处理参数矢量和所述测量的依赖处理参数矢量之间的差(450)；将所述差和阈值进行比较(455)；以及当所述差大于阈值时宣布故障状态(465)。
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公开(公告)号：CN100582977C
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：CN200480014279.3
申请日：2004-05-11
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 詹姆斯·E·威利斯 , 原田智 , 爱德华·C·胡弥三世 , 詹姆斯·E·克雷克特卡
IPC: G05B19/418
CPC classification number: G05B19/4183 , G05B2219/31288 , Y02P90/10 , Y02P90/14
Abstract: 本发明描述了一种使用APC系统执行数据预填充功能的方法，其中APC系统耦合到处理元件。APC系统包括含有操作软件的APC计算机、耦合到APC计算机的数据库，以及GUI，并且处理元件包括工具、处理模块和传感器中的至少一种。当APC系统操作时，APC系统采集来自处理元件的数据，并将所采集的数据存储在数据库中。当发生APC故障时，可以执行数据恢复(数据预填充)。当某些历史数据缺失时，可以执行数据恢复(数据预填充)。当APC系统耦合到具有某些历史数据的新工具时，可以执行数据恢复(数据预填充)。
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公开(公告)号：CN1795422A
公开(公告)日：2006-06-28
申请号：CN200480014279.3
申请日：2004-05-11
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 詹姆斯·E·威利斯 , 原田智 , 爱德华·C·胡弥三世 , 詹姆斯·E·克雷克特卡
IPC: G05B19/418
CPC classification number: G05B19/4183 , G05B2219/31288 , Y02P90/10 , Y02P90/14
Abstract: 本发明描述了一种使用APC系统执行数据预填充功能的方法，其中APC系统耦合到处理元件。APC系统包括含有操作软件的APC计算机、耦合到APC计算机的数据库，以及GUI，并且处理元件包括工具、处理模块和传感器中的至少一种。当APC系统操作时，APC系统采集来自处理元件的数据，并将所采集的数据存储在数据库中。当发生APC故障时，可以执行数据恢复(数据预填充)。当某些历史数据缺失时，可以执行数据恢复(数据预填充)。当APC系统耦合到具有某些历史数据的新工具时，可以执行数据恢复(数据预填充)。
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