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公开(公告)号：CN101258499B
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN200580048112.3
申请日：2005-12-15
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G05B19/418
CPC classification number: G05B19/4184 , G05B2219/31356 , G05B2219/32179 , G05B2219/45031 , Y02P80/40 , Y02P90/14 , Y02P90/20 , Y02P90/22 , Y02P90/86
Abstract: 一种用于在APC系统中实现FDC(400)的方法，包括从存储器接收FDC模型(430)；将所述FDC模型(430)提供给处理模型计算引擎(425)；使用所述处理模型(425)计算引擎计算预测的依赖处理参数矢量；接收包括一组配方参数(440)的处理配方，将处理配方提供给处理模块(420)；执行所述处理配方以产生测量的依赖处理参数矢量(445)；计算所述预测的依赖处理参数矢量和所述测量的依赖处理参数矢量之间的差(450)；将所述差和阈值进行比较(455)；以及当所述差大于阈值时宣布故障状态(465)。
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公开(公告)号：CN1659690A
公开(公告)日：2005-08-24
申请号：CN03813082.3
申请日：2003-06-05
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/3065
CPC classification number: H01J37/32935
Abstract: 在本发明中，对于作为基准的等离子体处理装置100A和与之同种类的等离子体处理装置100B，分别对利用第一设定数据进行动作时由各自的多个传感器检测的检测数据进行多变量解析，作成多变量解析模型式后，使用利用新的第二设定数据进行动作时由等离子体处理装置100A的多个传感器检测的检测数据，作成多变量解析模型式，使用该新的第二设定数据的等离子体处理装置100A的多变量解析模型式和等离子体处理装置100B的多变量解析模型式，作成与新的第二设定数据相对应的等离子体处理装置100B的多变量解析模型式。由此，即使在每个处理装置中存在处理特性差异时，也可以将对于一个处理装置而作成的模型式直接用在同种类的其它处理装置中，不需要对每个处理装置都取各种测定数据作成相应模型式。由此，可减轻模型式作成时的手续和时间。
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公开(公告)号：CN100426471C
公开(公告)日：2008-10-15
申请号：CN03813082.3
申请日：2003-06-05
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/3065
CPC classification number: H01J37/32935
Abstract: 在本发明中，对于作为基准的等离子体体处理装置100A和与之同种类的等离子体处理装置100B，分别对利用第一设定数据进行动作时由各自的多个传感器检测的检测数据进行多变量解析，作成多变量解析模型式后，使用利用新的第二设定数据进行动作时由等离子体处理装置100A的多个传感器检测的检测数据，作成多变量解析模型式，使用该新的第二设定数据的等离子体处理装置100A的多变量解析模型式和等离子体处理装置100B的多变量解析模型式，作成与新的第二设定数据相对应的等离子体处理装置100B的多变量解析模型式。由此，即使在每个处理装置中存在处理特性差异时，也可以将对于一个处理装置而作成的模型式直接用在同种类的其它处理装置中，不需要对每个处理装置都取各种测定数据作成相应模型式。由此，可减轻模型式作成时的手续和时间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100401481C
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200510000398.X
申请日：2005-01-10
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 友安昌幸
IPC: H01L21/3065 , H01L21/205 , H01L21/00 , C23C16/50 , C23F4/00 , H05H1/46
CPC classification number: H01J37/32935 , G05B2219/32201 , G05B2219/45031 , H01J37/32091 , H01L21/67069 , Y02P90/22
Abstract: 本发明可以提高等离子体处理装置的处理结果的预测等的精度，并可减轻作成模型时的负担。将作为基准的运转条件A、B的测量数据Xa、Xb存储在测量数据存储部分(202)中，将通过多变量分析作成的模型Ka、Kb存储在分析处理结果存储部分(210)中，将新的运转条件P的测量数据存储在测量数据存储部分202中，利用分析处理部(208)，将测量数据Xp作为分别将加权系数Wa、Wb与测量数据Xa和测量数据Xb相乘后相加的加权测量数据，由此，求出的加权系数Wa、Wb。通过分别将加权系数Wa、Wb与模型Ka和模型Kb相乘再相加，求根据新的运转条件P的模型Kp。
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公开(公告)号：CN101258499A
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN200580048112.3
申请日：2005-12-15
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G06F19/00
CPC classification number: G05B19/4184 , G05B2219/31356 , G05B2219/32179 , G05B2219/45031 , Y02P80/40 , Y02P90/14 , Y02P90/20 , Y02P90/22 , Y02P90/86
Abstract: 一种用于在APC系统中实现FDC(400)的方法，包括从存储器接收FDC模型(430)；将所述FDC模型(430)提供给处理模型计算引擎(425)；使用所述处理模型(425)计算引擎计算预测的依赖处理参数矢量；接收包括一组配方参数(440)的处理配方，将处理配方提供给处理模块(420)；执行所述处理配方以产生测量的依赖处理参数矢量(445)；计算所述预测的依赖处理参数矢量和所述测量的依赖处理参数矢量之间的差(450)；将所述差和阈值进行比较(455)；以及当所述差大于阈值时宣布故障状态(465)。
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公开(公告)号：CN1961405A
公开(公告)日：2007-05-09
申请号：CN200480038051.8
申请日：2004-11-03
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H01L21/67253 , C23C16/4405 , C25D11/02 , H01L21/0337 , H01L21/31116 , H01L21/67069 , H01L21/67155 , H01L21/67207 , H01L21/67248 , H01L22/20
Abstract: 提供了一种用于化学氧化物去除(COR)的处理系统和方法，其中处理系统包括第一处理室和第二处理室，其中第一和第二处理室彼此相互耦合。第一处理室包括化学处理室，其提供被控温的室以及用于支持进行化学处理的衬底的被单独控温的衬底支撑物。衬底在包括表面温度和气体压强的被控条件下，暴露给例如HF/NH3的气体化学物质。第二处理室包括提供了被控温的室的热处理室，其与化学处理室热绝缘。热处理室提供了用于控制衬底温度的衬底支撑物，以对衬底上经化学处理过的表面进行热处理。
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公开(公告)号：CN1961405B
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN200480038051.8
申请日：2004-11-03
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H01L21/67253 , C23C16/4405 , C25D11/02 , H01L21/0337 , H01L21/31116 , H01L21/67069 , H01L21/67155 , H01L21/67207 , H01L21/67248 , H01L22/20
Abstract: 提供了一种用于化学氧化物去除(COR)的处理系统和方法，其中处理系统包括第一处理室和第二处理室，其中第一和第二处理室彼此相互耦合。第一处理室包括化学处理室，其提供被控温的室以及用于支持进行化学处理的衬底的被单独控温的衬底支撑物。衬底在包括表面温度和气体压强的被控条件下，暴露给例如HF/NH3的气体化学物质。第二处理室包括提供了被控温的室的热处理室，其与化学处理室热绝缘。热处理室提供了用于控制衬底温度的衬底支撑物，以对衬底上经化学处理过的表面进行热处理。
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公开(公告)号：CN1641841A
公开(公告)日：2005-07-20
申请号：CN200510000398.X
申请日：2005-01-10
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 友安昌幸
IPC: H01L21/3065 , H01L21/205 , H01L21/00 , C23C16/50 , C23F4/00 , H05H1/46
CPC classification number: H01J37/32935 , G05B2219/32201 , G05B2219/45031 , H01J37/32091 , H01L21/67069 , Y02P90/22
Abstract: 本发明可以提高等离子体处理装置的处理结果的预测等的精度，并可减轻作成模型时的负担。将作为基准的运转条件A、B的测量数据Xa、Xb存储在测量数据存储部分(202)中，将通过多变量分析作成的模型Ka、Kb存储在分析处理结果存储部分(210)中，将新的运转条件P的测量数据存储在测量数据存储部分202中，利用分析处理部(208)，将测量数据Xp作为分别将加权系数Wa、Wb与测量数据Xa和测量数据Xb相乘后相加的加权测量数据，由此，求出的加权系数Wa、Wb。通过分别将加权系数Wa、Wb与模型Ka和模型Kb相乘再相加，求根据新的运转条件P的模型Kp。
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