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公开(公告)号:CN1682165A
公开(公告)日:2005-10-12
申请号:CN03821970.0
申请日:2003-09-25
申请人: 东京毅力科创株式会社
IPC分类号: G05B19/418
CPC分类号: G05B19/4184 , G05B19/41865 , G05B23/0259 , G05B23/0264 , G05B23/0267 , G05B2219/31186 , G05B2219/32126 , G05B2219/32128 , G05B2219/33148 , G05B2219/33225 , G05B2219/45031 , H01L21/67276 , H01L22/20 , Y02P90/14 , Y02P90/18 , Y02P90/20 , Y02P90/86
摘要: 本发明提供了一种包括图形用户接口(GUI)的高级过程控制(APC)系统用于监视和控制由半导体处理系统执行的半导体制造过程。该半导体处理系统包括多个处理工具、多个处理模块(室)和多个传感器,并且APC系统包括APC服务器、数据库、接口服务器、客户工作站和GUI组件。GUI是基于网络的并且用户能够通过网络浏览器进行查看。
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公开(公告)号:CN100407215C
公开(公告)日:2008-07-30
申请号:CN03821970.0
申请日:2003-09-25
申请人: 东京毅力科创株式会社
IPC分类号: G06F19/00
CPC分类号: G05B19/4184 , G05B19/41865 , G05B23/0259 , G05B23/0264 , G05B23/0267 , G05B2219/31186 , G05B2219/32126 , G05B2219/32128 , G05B2219/33148 , G05B2219/33225 , G05B2219/45031 , H01L21/67276 , H01L22/20 , Y02P90/14 , Y02P90/18 , Y02P90/20 , Y02P90/86
摘要: 本发明提供了一种包括图形用户接口(GUI)的高级过程控制(APC)系统用于监视和控制由半导体处理系统执行的半导体制造过程。该半导体处理系统包括多个处理工具、多个处理模块(室)和多个传感器,并且APC系统包括APC服务器、数据库、接口服务器、客户工作站和GUI组件。GUI是基于网络的并且用户能够通过网络浏览器进行查看。
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