公开(公告)号：CN1860594A

公开(公告)日：2006-11-08

申请号：CN200480028545.8

申请日：2004-09-30

申请人： 东京毅力科创株式会社 ,  先进能源工业公司

发明人： 三好秀明 ,  格姆努·兰吉特·达马塞纳 ,  东浦勉 ,  杰克A·吉尔摩 ,  约瑟夫J·奥瑟伯恩 ,  特蕾莎·贝泽

IPC分类号： H01L21/3065 ,  H01L21/205

CPC分类号： H01J37/32174 ,  H01J37/321 ,  H01J37/32935

摘要： 本发明提供一种等离子处理系统(100)，包括具有基板支架(130)和电极(125)的处理腔(120)。处理系统包括压力控制系统、气体供给系和监控装置(160)。多频RF电源(110)经由具有单一可变元件的匹配电路(115)与电极(125)连结。多频RF电源设定为第一频率将等离子点火，设定为第二频率维持等离子。

公开(公告)号：CN100442451C

公开(公告)日：2008-12-10

申请号：CN200480028545.8

申请日：2004-09-30

申请人： 东京毅力科创株式会社

发明人： 三好秀明 ,  格姆努·兰吉特·达马塞纳 ,  东浦勉 ,  杰克A·吉尔摩 ,  约瑟夫J·奥瑟伯恩 ,  特蕾莎·贝泽

IPC分类号： H01L21/3065 ,  H01L21/205

CPC分类号： H01J37/32174 ,  H01J37/321 ,  H01J37/32935

摘要： 本发明提供一种等离子处理系统(100)，包括具有基板支架(130)和电极(125)的处理腔(120)。处理系统包括压力控制系统、气体供给系和监控装置(160)。多频RF电源(110)经由具有单一可变元件的匹配电路(115)与电极(125)连结。多频RF电源设定为第一频率将等离子点火，设定为第二频率维持等离子。