公开(公告)号：CN108121370B

公开(公告)日：2020-06-02

申请号：CN201711410852.8

申请日：2017-12-23

申请人： 东北大学 ,  中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

发明人： 刘坤 ,  张朔熙 ,  雷震霖 ,  毕德龙 ,  王光玉 ,  张军 ,  张漫漫 ,  马世玉 ,  谢元华 ,  巴德纯

IPC分类号： G05D7/06

摘要： 本发明涉及一种真空环境气体流量的测控方法及测控系统。其中，通过位于平衡室和需测控真空环境之间的第一流量调节阀来调控需测控真空环境的气体流量，通过平衡室使得需测控真空环境的气体流量等于压力气源的出气流量，只需测量压力气源的出气流量即可获得需测控真空环境的气体流量，即只需使流量计在恒定压力下工作而无需直接在真空下测量需测控真空环境的气体流量即可得到需测控真空环境的气体流量，由此解决了现有流量计无法在真空条件下进行正常准确的气体流量测量而无法获得准确真实的真空环境的气体流量的技术问题，大大提高了真空环境的气体流量的测量精度，反映真空环境气体流量的真实情况。同时也实现对需测控真空环境气体流量的控制。

公开(公告)号：CN108121370A

公开(公告)日：2018-06-05

申请号：CN201711410852.8

申请日：2017-12-23

申请人： 东北大学 ,  中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

发明人： 刘坤 ,  张朔熙 ,  雷震霖 ,  毕德龙 ,  王光玉 ,  张军 ,  张漫漫 ,  马世玉 ,  谢元华 ,  巴德纯

IPC分类号： G05D7/06

摘要： 本发明涉及一种真空环境气体流量的测控方法及测控系统。其中，通过位于平衡室和需测控真空环境之间的第一流量调节阀来调控需测控真空环境的气体流量，通过平衡室使得需测控真空环境的气体流量等于压力气源的出气流量，只需测量压力气源的出气流量即可获得需测控真空环境的气体流量，即只需使流量计在恒定压力下工作而无需直接在真空下测量需测控真空环境的气体流量即可得到需测控真空环境的气体流量，由此解决了现有流量计无法在真空条件下进行正常准确的气体流量测量而无法获得准确真实的真空环境的气体流量的技术问题，大大提高了真空环境的气体流量的测量精度，反映真空环境气体流量的真实情况。同时也实现对需测控真空环境气体流量的控制。

公开(公告)号：CN111365221A

公开(公告)日：2020-07-03

申请号：CN201811601913.3

申请日：2018-12-26

申请人： 东北大学 ,  中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

发明人： 刘坤 ,  张漫漫 ,  李昌龙 ,  王光玉 ,  张军 ,  郭丽娟 ,  迟小宇 ,  巴要帅 ,  姜玥 ,  巴德纯

IPC分类号： F04B51/00

摘要： 本发明涉及集成干泵测试台控制方法，该控制系统由流量控制单元、温度控制单元、压力控制单元及待测泵检测单元组成。该系统的主要特点是可实现一种控制量单独控制或多种控制量同时控制，通过对温度、流量、真空度、转速的控制，可以模拟干泵在带负载情况下的性能。所测数据均集成到PLC中分析处理，所有阀门均为电控阀门，系统可以全面实现自动化。

公开(公告)号：CN111365221B

公开(公告)日：2021-06-01

申请号：CN201811601913.3

申请日：2018-12-26

申请人： 东北大学 ,  中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

发明人： 刘坤 ,  张漫漫 ,  李昌龙 ,  王光玉 ,  张军 ,  郭丽娟 ,  迟小宇 ,  巴要帅 ,  姜玥 ,  巴德纯

IPC分类号： F04B51/00

摘要： 本发明涉及集成干泵测试台控制方法，该控制系统由流量控制单元、温度控制单元、压力控制单元及待测泵检测单元组成。该系统的主要特点是可实现一种控制量单独控制或多种控制量同时控制，通过对温度、流量、真空度、转速的控制，可以模拟干泵在带负载情况下的性能。所测数据均集成到PLC中分析处理，所有阀门均为电控阀门，系统可以全面实现自动化。