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公开(公告)号：CN118623330A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202411062123.8
申请日：2024-08-05
申请人： 东北大学 , 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司
摘要： 本发明涉及一种应用于半导体尾气处理设备的燃烧腔结构，包括四条废气管路、燃烧器、气帘环、反应腔、多孔陶瓷砖室和上盖；所述气帘环设置在所述反应腔的内部，所述气帘环的环边连接在所述反应腔的上端口；所述气帘环内部设置有多孔陶瓷砖室；所述燃烧器连接在所述上盖上端面中部，燃烧口贯穿至所述上盖下端面；所述上盖上端面圆周连接四条所述废气管路，四条所述废气管路的下端都以倾斜切向的状态连接所述上盖；所述上盖连接在所述气帘环上。本发明的目的在于克服现有的缺陷而提供的一种应用于半导体尾气处理设备的燃烧腔结构，提高燃烧效率进而提高废气处理效率。
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公开(公告)号：CN114607598B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202011445831.1
申请日：2020-12-09
申请人： 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
摘要： 本发明涉及真空罗茨泵领域，具体地说是一种具有渐变形状系数的罗茨转子及其设计方法，转子的形状系数沿着轴向方向逐渐变化，且变化趋势为一个连续函数，并且变化趋势至少包括逐渐递减和逐渐递增中的一种，转子的最大形状系数为理论最大值Cmax，转子腰部为凹部A，转子外侧为顶部B，且两个转子配合时，其中一个转子的顶部B嵌入另一个转子的凹部A中。本发明转子的形状系数在沿着轴向的方向上逐渐变化，并形成大形状系数段和小形状系数段，其中大形状系数段的转子可以达到形状系数的理论最大值，因此罗茨泵的容积利用系数和抽速显著提高，而小形状系数段的转子可以充当大形状系数段转子的肋板，对整个转子起到加强作用。
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公开(公告)号：CN108187927B
公开(公告)日：2019-09-03
申请号：CN201711487550.0
申请日：2017-12-29
申请人： 东北大学
IPC分类号： B04B9/08
摘要： 本发明提供一种管式离心机用磁力制动装置及管式离心机的制动方法。磁力制动装置包括：控制装置、第一磁体和第二磁体；第一磁体设置于离心机筒体表面，第二磁体设置于离心机转鼓的外表面；第一磁体与第二磁体的安装高度相同，且第一磁体和第二磁体相对磁极的极性相同；控制装置用于控制电源向第一磁体和/或第二磁体输入电流，从而在第一磁体和第二磁体之间产生的磁力作用下，离心机转鼓相对于离心机筒体停止转动。本发明磁力制动装置实现管式离心机快速制动的同时，避免了制动装置与管式离心机的因摩擦而导致的磨损。
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公开(公告)号：CN108119352B
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201711408179.4
申请日：2017-12-22
申请人： 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC分类号： F04B51/00
摘要： 本发明涉及一种转子性能测试用干式真空泵套件及测试方法。干式真空泵套件包括固定模块、多种规格的外侧罩、多种规格的轴套和多种规格的定子，固定模块包括驱动室、主动轴和从动轴，根据可拆卸地安装在主动轴和从动轴上的一对或多对啮合转子，选配定子、轴套和外侧罩以使得定子、轴套、外侧罩、主动轴和从动轴上的轴向定位结构以及驱动室形成针对每对啮合转子独立的泵室，并整体形成一个干式真空泵。测试方法应用上述干式真空泵套件。由此，可通过一台干式真空泵上不同转子组合形式的简单快速装配并构成测试系统来探究不同压力区域段不同转子组合形式的抽气效果与优化方案，解决了干式真空泵产品研发阶段样泵的不必要材料与能源浪费的技术问题。
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公开(公告)号：CN108187927A
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：CN201711487550.0
申请日：2017-12-29
申请人： 东北大学
IPC分类号： B04B9/08
摘要： 本发明提供一种管式离心机用磁力制动装置及管式离心机的制动方法。磁力制动装置包括：控制装置、第一磁体和第二磁体；第一磁体设置于离心机筒体表面，第二磁体设置于离心机转鼓的外表面；第一磁体与第二磁体的安装高度相同，且第一磁体和第二磁体相对磁极的极性相同；控制装置用于控制电源向第一磁体和/或第二磁体输入电流，从而在第一磁体和第二磁体之间产生的磁力作用下，离心机转鼓相对于离心机筒体停止转动。本发明磁力制动装置实现管式离心机快速制动的同时，避免了制动装置与管式离心机的因摩擦而导致的磨损。
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公开(公告)号：CN108121370A
公开(公告)日：2018-06-05
申请号：CN201711410852.8
申请日：2017-12-23
申请人： 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC分类号： G05D7/06
摘要： 本发明涉及一种真空环境气体流量的测控方法及测控系统。其中，通过位于平衡室和需测控真空环境之间的第一流量调节阀来调控需测控真空环境的气体流量，通过平衡室使得需测控真空环境的气体流量等于压力气源的出气流量，只需测量压力气源的出气流量即可获得需测控真空环境的气体流量，即只需使流量计在恒定压力下工作而无需直接在真空下测量需测控真空环境的气体流量即可得到需测控真空环境的气体流量，由此解决了现有流量计无法在真空条件下进行正常准确的气体流量测量而无法获得准确真实的真空环境的气体流量的技术问题，大大提高了真空环境的气体流量的测量精度，反映真空环境气体流量的真实情况。同时也实现对需测控真空环境气体流量的控制。
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公开(公告)号：CN104529114B
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201410804300.5
申请日：2014-12-22
申请人： 东北大学
CPC分类号： Y02E50/343
摘要： 针对现有技术中亟需开发出高效的有工程推广价值的剩余污泥处理技术，本发明提供了一种超声波和光合细菌联合促进剩余污泥消化的方法，属于剩余污泥的资源化与减量化技术领域。该方法以减量化、无害化、资源化为原则，提出采用厌氧与超声联合的预处理方式，采用低能超声波、光合细菌促进的厌氧反应，采用低能超声波、光合细菌促进的好氧反应，并采用回流工艺等组成一套针对剩余污泥的高效处理工艺。该方法可以使污泥中的水分被分离排放，有机物以CO2、CH4、H2的形式释放，能量被微生物消耗，提高了剩余污泥资源化的效率，一次处理时间缩短至8.5天，消化效率提高至60％，实现了污泥零排放或超低排放的目的。
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公开(公告)号：CN105541059A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201510901172.0
申请日：2015-12-08
申请人： 东北大学
CPC分类号： Y02E50/343 , Y02E70/20 , Y02W10/27 , C02F11/00 , C02F3/005 , C02F3/28 , C02F9/00 , C02F11/006 , C02F11/02 , C02F11/04 , C02F2301/08 , C02F2303/06
摘要： 本发明的目的是为了处理剩余污泥，以污泥减量化、无害化、资源化为目标，提供一种预处理-EGSB-微生物电化学联合的剩余污泥降解装置及方法，属于剩余污泥资源化与减量化技术领域。该装置包括破碎-厌氧联合预处理器、EGSB厌氧处理器、微生物电化学反应器和气体收集器。该方法将污泥在厌氧污泥中进行厌氧消化和破碎，使污泥悬浊液中的固体颗粒物破碎并部分溶于水相，形成含有一定污泥固体颗粒的高浓度有机废水；预处理的污泥再被EGSB厌氧处理器的厌氧颗粒污泥降解，最后经微生物电化学进一步降解。本发明使污泥中的水分符合排放标准，有机物则以CO2、CH4、H2等气体形式释放，有效提高剩余污泥减量化、资源化效率，同时达到无害化的目的。
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公开(公告)号：CN118442310A
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202410524188.3
申请日：2024-04-29
申请人： 东北大学
摘要： 本发明涉及真空泵测试技术领域，具体涉及一种用于罗茨真空泵的转子温度的测试装置及其测试方法，包括泵本体，在泵本体的外壁上沿其径向朝向靠近泵腔的一侧分别开设有第一测量点位和第二测量点位，第一测量点位延伸至泵本体的泵壁内。第一测量点位内固定设置有第一测温结构件。第二测量点位上设置有第二测温结构件，且第二测温结构件能够测量转子组件的温度。通过在泵本体的外壁上分别设置有第一测量点位和第二测量点位，在两个点位处分别通过第一测温结构件和第二测温结构件能够分别测量泵腔的温度以及直接地测量转子组件的转子温度，通过测量转子温度和泵腔温度两者温度能够更全面充分得测量转子温度。
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公开(公告)号：CN118313299A
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202410427317.7
申请日：2024-04-10
申请人： 东北大学
IPC分类号： G06F30/28 , G06F30/25 , G06F113/08
摘要： 本发明提供一种真空泵跨流态流场仿真方法及终端设备与存储介质，涉及真空泵流场仿真技术领域。所述方法是一种在流域内将CFD方法与DSMC方法耦合，并将梯度克努森数作为连续介质失效判据，同时建立不同子区网格之间对应关系，实现子区信息交互，经过子区间反复迭代模拟直到达到终止准则，从而实现真空泵内跨流态流场分析的仿真方法。本发明方法克服了真空泵中同时存在连续流、过渡流和自由分子流，不能采用单一数值方法进行仿真的难题，结合亚音速边界和动网格对旋转界面精确描述，提高了计算精度和计算效率，能成功实现螺杆真空泵内跨流态流场CFD‑DSMC相结合的仿真。
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