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公开(公告)号:CN104080940A
公开(公告)日:2014-10-01
申请号:CN201380007657.4
申请日:2013-01-16
Applicant: 东华隆株式会社
CPC classification number: C23C14/48 , C23C4/04 , C23C4/18 , Y10T428/24802
Abstract: 本发明的目的是得到一种氟化物喷涂覆膜覆盖部件,其耐卤素腐蚀性、耐等离子侵蚀性等优异,其上还显示有文字、数字、图形、图案、或是公司名称、制造编号等的识别记号等。在本发明中,通过向基材表面所形成的白色氟化物喷涂覆膜中注入从含F气体、氧气及不活泼气体中选出的任意一种以上注入气体的离子,从而使该白色氟化物喷涂覆膜表面的至少一部分变成黑色,形成黑色的离子注入层。
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公开(公告)号:CN104080940B
公开(公告)日:2016-10-26
申请号:CN201380007657.4
申请日:2013-01-16
Applicant: 东华隆株式会社
CPC classification number: C23C14/48 , C23C4/04 , C23C4/18 , Y10T428/24802
Abstract: 本发明的目的是得到一种氟化物喷涂覆膜覆盖部件,其耐卤素腐蚀性、耐等离子侵蚀性等优异,其上还显示有文字、数字、图形、图案、或是公司名称、制造编号等的识别记号等。在本发明中,通过向基材表面所形成的白色氟化物喷涂覆膜中注入从含F气体、氧气及不活泼气体中选出的任意一种以上注入气体的离子,从而使该白色氟化物喷涂覆膜表面的至少一部分变成黑色,形成黑色的离子注入层。
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