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公开(公告)号：CN1651910A
公开(公告)日：2005-08-10
申请号：CN200510037809.2
申请日：2005-02-23
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种用于微电子机械系统的电容式相对湿度传感器，由衬底、电容下极板和电容上极板组成，电容下极板设在衬底上，电容上极板位于电容下极板的上方，在电容上极板的电容上极板投影以外的区域设有氧化层，氧化层上设有电容上、下极板引线，在电容上极板上设有感湿介质层，其特征在于电容上极板通过其固定在氧化层上的四个方形锚区加连杆进行支撑；本发明具有为可动上极板提供形变空间等优点。
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公开(公告)号：CN1327215C
公开(公告)日：2007-07-18
申请号：CN200510038023.2
申请日：2005-03-08
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种用于检测湿度的CMOS工艺兼容相对湿度传感器，由衬底，氧化层，电容下极板，电容上极板组成，氧化层设在衬底上，电容下极板平铺于氧化层上，电容上极板位于衬底和氧化层的上方；本发明具有制作方法和结构非常简单，温度漂移小，抗干扰能力强，有效降低生产成本，具有响应迅速，有利于后续电子电路的检出等优点。
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公开(公告)号：CN1278120C
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：CN200510037809.2
申请日：2005-02-23
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种用于微电子机械系统的电容式相对湿度传感器，由衬底、电容下极板和电容上极板组成，电容下极板设在衬底上，电容上极板位于电容下极板的上方，在电容上极板的电容上极板投影以外的区域设有氧化层，氧化层上设有电容上、下极板引线，在电容上极板上设有感湿介质层，其特征在于电容上极板通过其固定在氧化层上的四个方形锚区加连杆进行支撑；本发明具有为可动上极板提供形变空间等优点。
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公开(公告)号：CN1657927A
公开(公告)日：2005-08-24
申请号：CN200510038023.2
申请日：2005-03-08
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种用于检测湿度的CMOS工艺兼容相对湿度传感器，由衬底，氧化层，电容下极板，电容上极板组成，氧化层设在衬底上，电容下极板平铺于氧化层上，电容上极板位于衬底和氧化层的上方；本发明具有制作方法和结构非常简单，温度漂移小，抗干扰能力强，有效降低生产成本，具有响应迅速，有利于后续电子电路的检出等优点。
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