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公开(公告)号：CN105675917B
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201610035846.8
申请日：2016-01-19
申请人： 东南大学
IPC分类号： G01P5/10
摘要： 本发明提供了一种热式风速传感器及其封装方法，该传感器包括陶瓷基板(1)、薄层陶瓷(2)、加热元件(3)、第一测温元件(41)和第二测温元件(42)、引线焊盘(5)、氧化硅(6)、金属焊料(7)和底层密封盖板(8)；陶瓷基板(1)与薄层陶瓷(2)围成一个凹槽；薄层陶瓷(2)的下表面中心位置设有加热元件(3)，第一测温元件(41)和第二测温元件(42)以加热元件(3)为中心对称分布；第一测温元件(41)和第二测温元件(42)分别与陶瓷基板(1)上的引线焊盘(5)连接。提高了传感器的灵敏度和降低了功耗。
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公开(公告)号：CN105547531B
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201610035064.4
申请日：2016-01-19
申请人： 东南大学
摘要： 本发明提供了一种高灵敏电容式压力传感器及其制作方法，该传感器包括衬底(1)，压力弹性膜(2)，分别固定在衬底(1)上的第一固定基座(31)、第二固定基座(32)和第三固定基座(33)，机械杆(4)，支撑轴(5)，第一叉指电极(61)和第二叉指电极(62)，第一引线电极(71)和第二引线电极(72)，绝缘材料(8)，其中，衬底(1)上设有压力弹性膜(2)，该压力弹性膜(2)的中心上表面通过绝缘材料(8)和第一固定基座(31)的一端相连，同时第一固定基座(31)的另一端和机械杆(4)的一端连接。本发明可以使压力膜的变形成倍放大，从而提高了电容检测灵敏度。
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公开(公告)号：CN105675917A
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201610035846.8
申请日：2016-01-19
申请人： 东南大学
IPC分类号： G01P5/10
CPC分类号： G01P5/10
摘要： 本发明提供了一种热式风速传感器及其封装方法，该传感器包括陶瓷基板(1)、薄层陶瓷(2)、加热元件(3)、第一测温元件(41)和第二测温元件(42)、引线焊盘(5)、氧化硅(6)、金属焊料(7)和底层密封盖板(8)；陶瓷基板(1)与薄层陶瓷(2)围成一个凹槽；薄层陶瓷(2)的下表面中心位置设有加热元件(3)，第一测温元件(41)和第二测温元件(42)以加热元件(3)为中心对称分布；第一测温元件(41)和第二测温元件(42)分别与陶瓷基板(1)上的引线焊盘(5)连接。提高了传感器的灵敏度和降低了功耗。
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公开(公告)号：CN105547125A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201610035620.8
申请日：2016-01-19
申请人： 东南大学
IPC分类号： G01B7/02
CPC分类号： G01B7/02
摘要： 本发明提供了一种微机械位移传感器及其制造方法，该传感器包括衬底基板(1)、电阻线(2)、第一焊盘(21)和第二焊盘(22)、终端挡板(3)、第一固定壁(41)和第二固定壁(42)、接触电极(5)、滑块(6)、磁性材料(7)、磁体(8)、金属导线(9)和第三焊盘(91)；衬底基板(1)包括正面和与正面相对设置的背面；衬底基板(1)正面分为左右两个区域，左边区域设有第一焊盘(21)、第二焊盘(22)和第三焊盘(91)，还设有终端挡板(3)。本发明具有结构小巧、分辨率高，批量制造一致性好等特点。
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公开(公告)号：CN105527454A
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201610035748.4
申请日：2016-01-19
申请人： 东南大学
摘要： 本发明提供了一种高灵敏热式风速传感器及其封装方法，该传感器包括薄层陶瓷(1)、陶瓷基板(2)、加热元件(3)、第一测温元件(41)和第二测温原件(42)、引线(5)、封装胶(6)、绑定线(7)和氧化硅纳米粉(8)；薄层陶瓷(1)四周和陶瓷基板(2)相连，且薄层陶瓷(1)上表面和陶瓷基板(2)齐平；薄层陶瓷(1)的下表面中心位置设有加热元件(3)，第一测温元件(41)和第二测温原件(42)以加热元件(3)为中心对称分布。本发明提高了传感器的灵敏度。
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公开(公告)号：CN105527454B
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201610035748.4
申请日：2016-01-19
申请人： 东南大学
摘要： 本发明提供了一种高灵敏热式风速传感器及其封装方法，该传感器包括薄层陶瓷(1)、陶瓷基板(2)、加热元件(3)、第一测温元件(41)和第二测温原件(42)、引线(5)、封装胶(6)、绑定线(7)和氧化硅纳米粉(8)；薄层陶瓷(1)四周和陶瓷基板(2)相连，且薄层陶瓷(1)上表面和陶瓷基板(2)齐平；薄层陶瓷(1)的下表面中心位置设有加热元件(3)，第一测温元件(41)和第二测温原件(42)以加热元件(3)为中心对称分布。本发明提高了传感器的灵敏度。
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公开(公告)号：CN105547125B
公开(公告)日：2018-05-25
申请号：CN201610035620.8
申请日：2016-01-19
申请人： 东南大学
IPC分类号： G01B7/02
摘要： 本发明提供了一种微机械位移传感器及其制造方法，该传感器包括衬底基板(1)、电阻线(2)、第一焊盘(21)和第二焊盘(22)、终端挡板(3)、第一固定壁(41)和第二固定壁(42)、接触电极(5)、滑块(6)、磁性材料(7)、磁体(8)、金属导线(9)和第三焊盘(91)；衬底基板(1)包括正面和与正面相对设置的背面；衬底基板(1)正面分为左右两个区域，左边区域设有第一焊盘(21)、第二焊盘(22)和第三焊盘(91)，还设有终端挡板(3)。本发明具有结构小巧、分辨率高，批量制造一致性好等特点。
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公开(公告)号：CN105645346A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201610034380.X
申请日：2016-01-19
申请人： 东南大学
CPC分类号： B81B1/006 , B81C1/00103 , B81C1/00373
摘要： 本发明提供了一种三维微机械弹簧及其制造方法，该弹簧构包括支撑材料(1)，黏附材料层(2)，第一弹簧端(3)，弹簧线(4)，第二弹簧端(5)；其中，支撑材料(1)包括相对设置的两个端面和将两个端面连接的主体；支撑材料(1)作为弹簧的载体，在靠近其任一端面的位置的外表面覆盖一圈黏附材料层(2)，在黏附材料层(2)表面覆盖一圈弹簧金属作为第一弹簧端(3)；第二弹簧端(5)套在支撑材料(1)上，第一弹簧端(3)和第二弹簧端(5)之间通过由自由缠绕在支撑材料(1)主体的弹簧线(4)连接在一起。本发明一致性好，成本低。
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公开(公告)号：CN105547531A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201610035064.4
申请日：2016-01-19
申请人： 东南大学
摘要： 本发明提供了一种高灵敏电容式压力传感器及其制作方法，该传感器包括衬底(1)，压力弹性膜(2)，分别固定在衬底(1)上的第一固定基座(31)、第二固定基座(32)和第三固定基座(33)，机械杆(4)，支撑轴(5)，第一叉指电极(61)和第二叉指电极(62)，第一引线电极(71)和第二引线(72)，绝缘材料(8)，其中，衬底(1)上设有压力弹性膜(2)，该压力弹性膜(2)的中心上表面通过绝缘材料(8)和第一固定基座(31)的一端相连，同时第一固定基座(31)的另一端和机械杆(4)的一端连接。本发明可以使压力膜的变形成倍放大，从而提高了电容检测灵敏度。
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