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公开(公告)号：CN112271105B
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN202011537051.X
申请日：2020-12-23
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种MEMS热保护器及其制备方法，包括第一衬底；第二衬底；在第一衬底上表面形成的开放腔、悬臂梁、第一绝缘层和第二绝缘层；第一电极的两层分别对称设置在第二衬底和第二绝缘层上，且位于悬臂梁的中部；第二电极的两层分别对称设置在第二衬底和第二绝缘层上，且位于悬臂梁的悬空端；第三电极的两层分别对称设置在第二衬底和第二绝缘层上，且位于悬臂梁的固定端。本发明的MEMS热保护器，通过使用MEMS体加工和键合工艺，以及设置开放腔、悬臂梁、第一电极、第二电极和第三电极，从而设计出一种具有实时在线质量监测、额定电流可调控的MEMS热保护器，以提高电路或系统的可靠性。
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公开(公告)号：CN111584310A
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN202010511487.5
申请日：2020-06-08
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明提供了一种可重构驱动电压RF MEMS开关及其制造方法，包括：基底；CPW结构，位于所述基底上；悬臂梁结构，设置在所述CPW结构上；驱动电极，设置在所述基底上，位于所述悬臂梁结构的悬臂梁的下方；以及充电结构，包括充电介质层以及压焊块，所述充电介质层设置在所述驱动电极上，所述充电介质层位于所述悬臂梁的下方；所述压焊块通过金属连接线与所述驱动电极连接。本发明的一种可重构驱动电压RF MEMS开关，通过增加充电介质层(隧穿层/陷阱层/阻挡层)能够捕获并存储电荷，对充电介质层进行“充电”可使其形成“附加电源”，从而在不改变开关原有结构参数的条件下实现RF MEMS开关的驱动电压的降低。
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公开(公告)号：CN112271105A
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN202011537051.X
申请日：2020-12-23
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种MEMS热保护器及其制备方法，包括第一衬底；第二衬底；在第一衬底上表面形成的开放腔、悬臂梁、第一绝缘层和第二绝缘层；第一电极的两层分别对称设置在第二衬底和第二绝缘层上，且位于悬臂梁的中部；第二电极的两层分别对称设置在第二衬底和第二绝缘层上，且位于悬臂梁的悬空端；第三电极的两层分别对称设置在第二衬底和第二绝缘层上，且位于悬臂梁的固定端。本发明的MEMS热保护器，通过使用MEMS体加工和键合工艺，以及设置开放腔、悬臂梁、第一电极、第二电极和第三电极，从而设计出一种具有实时在线质量监测、额定电流可调控的MEMS热保护器，以提高电路或系统的可靠性。
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公开(公告)号：CN111049597A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201911393741.X
申请日：2019-12-30
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明提供了一种热电式自检测MEMS微波功率分配器及其制备方法，所述热电式自检测MEMS微波功率分配器包括位于砷化镓衬底上的微波功分器以及三个MEMS微波功率传感器；所述微波功分器为“T”型对称结构，包括三个端口；每个所述MEMS微波功率传感器通过CPW结构与所述微波功分器的一个端口相连，所述MEMS微波功率传感器用于测量三个所述端口处微波功率大小。本发明在线测量出输入和输出端口处微波功率大小，实现了MEMS微波功率分配器的实时在线功率自检测。
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公开(公告)号：CN111039252B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN201911393730.1
申请日：2019-12-30
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明提供了一种双通道自检测的MEMS微波功率分配器及其制备方法，包括位于砷化镓衬底上的微波功分器、热电式MEMS微波功率传感器以及三个电容式MEMS微波功率传感器；所述微波功分器为“T”型对称结构，包括三个端口，所述微波功分器的中间部分设有ACPS信号线；所述热电式MEMS微波功率传感器位于所述ACPS信号线所组成的环形区域内；每个所述电容式MEMS微波功率传感器均通过CPW结构与一个所述端口连接。本发明通过电容式和热电式双通道能够实时在线检测MEMS微波功率分配器的两端口是否为等分微波功率或是否发生失配情况，并且在线测量出输入和输出端口处微波功率的比例，从而实现了MEMS微波功率分配器的实时在线功率自检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111584310B
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN202010511487.5
申请日：2020-06-08
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明提供了一种可重构驱动电压RF MEMS开关及其制造方法，包括：基底；CPW结构，位于所述基底上；悬臂梁结构，设置在所述CPW结构上；驱动电极，设置在所述基底上，位于所述悬臂梁结构的悬臂梁的下方；以及充电结构，包括充电介质层以及压焊块，所述充电介质层设置在所述驱动电极上，所述充电介质层位于所述悬臂梁的下方；所述压焊块通过金属连接线与所述驱动电极连接。本发明的一种可重构驱动电压RF MEMS开关，通过增加充电介质层(隧穿层/陷阱层/阻挡层)能够捕获并存储电荷，对充电介质层进行“充电”可使其形成“附加电源”，从而在不改变开关原有结构参数的条件下实现RF MEMS开关的驱动电压的降低。
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公开(公告)号：CN111627759A
公开(公告)日：2020-09-04
申请号：CN202010511287.X
申请日：2020-06-08
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明提供了一种基于驻极体的可重构驱动电压RF MEMS开关及其制备方法，包括：固支梁，所述固支梁的两端远离第二衬底的一面设置第一键合结构；CPW结构，包括CPW信号线以及位于所述CPW信号线两侧的CPW地线；所述CPW地线上设置第二键合结构，所述固支梁通过所述第一键合结构与所述第二键合结构的键合工艺设置在所述CPW结构上；驱动电极，位于所述CPW信号线与所述CPW地线之间；以及充电结构，所述充电结构包括驻极体以及压焊块，所述驻极体设置在所述驱动电极上。本发明的一种基于驻极体的可重构驱动电压RF MEMS开关及其制备方法，能够同时满足低驱动电压和高驱动电压的应用要求，这既能够有效降低开关的驱动电压，又能够防止粘连失效的发生。
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公开(公告)号：CN113241509A
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN202110512088.5
申请日：2021-05-11
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明的基于自检测MEMS功分器和驱动电压可重构MEMS开关的TR组件采用自检测MEMS功分器的自检测功能对激励源产生的发射信号和各个收发支路上传输的RF信号进行实时在线监测，实现对自检测MEMS功分器的功率分配情况、各个收发支路上RF信号的功率情况以及第一环形器传送的RF信号的功率情况进行线上检测，解决了相控阵雷达T/R组件无法实时在线自检测的问题。通过采用驱动电压可重构MEMS开关替代传统开关能够提升相控阵雷达T/R组件中开关的射频性能和可靠性，并且该驱动电压可重构MEMS开关能够实现驱动电压的可重构，从而避免配置额外的向上变压器。由于这种自检测MEMS功分器和驱动电压可重构MEMS开关是基于MEMS技术实现的，因此它们还具有较低的损耗和较小的体积等特点。
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公开(公告)号：CN111627759B
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN202010511287.X
申请日：2020-06-08
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明提供了一种基于驻极体的可重构驱动电压RF MEMS开关及其制备方法，包括：固支梁，所述固支梁的两端远离第二衬底的一面设置第一键合结构；CPW结构，包括CPW信号线以及位于所述CPW信号线两侧的CPW地线；所述CPW地线上设置第二键合结构，所述固支梁通过所述第一键合结构与所述第二键合结构的键合工艺设置在所述CPW结构上；驱动电极，位于所述CPW信号线与所述CPW地线之间；以及充电结构，所述充电结构包括驻极体以及压焊块，所述驻极体设置在所述驱动电极上。本发明的一种基于驻极体的可重构驱动电压RF MEMS开关及其制备方法，能够同时满足低驱动电压和高驱动电压的应用要求，这既能够有效降低开关的驱动电压，又能够防止粘连失效的发生。
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公开(公告)号：CN112260218B
公开(公告)日：2021-03-02
申请号：CN202011537040.1
申请日：2020-12-23
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种额定电流可调且可监测的过流保护器及制备方法，过流保护器包括第一衬底；第二衬底；在第一衬底上形成开放腔、悬臂梁、第一绝缘层和第二绝缘层；第一电极的两层分别对称设置在第二衬底和第二绝缘层上，且位于悬臂梁的固定端；第二电极的两层分别对称设置在第二衬底和第二绝缘层上，且位于悬臂梁的中部位置；第三电极的两层分别对称设置在第二衬底和第二绝缘层上，且位于悬臂梁的悬空端。本发明利用MEMS体加工和键合工艺，设置开放腔、悬臂梁、第一电极、第二电极和第三电极，使过流保护器的额定电流可调且可监测，以提高电路或系统的可靠性。
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