基于谐振频率的双端固支梁力学参数测量方法及装置

    公开(公告)号:CN106932263A

    公开(公告)日:2017-07-07

    申请号:CN201710227654.1

    申请日:2017-04-07

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G01N3/00

    Abstract: 本发明公开了一种基于谐振频率的双端固支梁力学参数测量方法。该方法基于多层复合双端固支梁的一阶谐振频率与材料特性、结构尺寸等参数之间的关系,利用求解方程组的形式一次性得到多层复合双端固支梁各层的等效杨氏模量和各层的等效残余应力,可满足多层薄膜材料的在线测试,且测试结构、计算方法简单,准确性更高。本发明还公开了一种基于谐振频率的双端固支梁力学参数测量装置。

    基于谐振频率的复合悬臂梁力学参数测量方法及装置

    公开(公告)号:CN107246991A

    公开(公告)日:2017-10-13

    申请号:CN201710299843.X

    申请日:2017-04-28

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G01N3/00 B81B7/02 G01N2203/0282

    Abstract: 本发明公开了一种基于谐振频率的复合悬臂梁力学参数测量方法。本发明方法基于多层复合双端悬臂梁的一阶谐振频率与材料特性、结构尺寸等参数之间的关系,利用求解方程组的形式一次性得到多层复合悬臂梁各层的等效杨氏模量。本发明还公开了一种基于谐振频率的复合悬臂梁力学参数测量装置。本发明可满足多层复合悬臂梁的杨氏模量在线测试,且测试结构、计算方法简单,准确性更高。

    多层复合薄膜结构的力学参数测量方法及装置

    公开(公告)号:CN107063839A

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201710299770.4

    申请日:2017-04-28

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种多层复合薄膜结构的力学参数测量方法,属于微机电系统(Micro‑Electro‑Mechanical System,简称MEMS)材料参数在线测试技术领域。本发明方法基于多层复合双端固支梁和多层复合悬臂梁的一阶谐振频率与材料特性、结构尺寸等参数之间的关系,利用求解方程组的形式一次性得到多层复合薄膜结构各层的等效杨氏模量和各层的等效残余应力,可满足多层薄膜材料的在线测试,且测试结构、计算方法简单,准确性更高。本发明还公开了一种多层复合薄膜结构的力学参数测量装置。

    一种双层双端固支梁的力学参数测量方法及装置

    公开(公告)号:CN107014536A

    公开(公告)日:2017-08-04

    申请号:CN201710299862.2

    申请日:2017-04-28

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G01L5/0047

    Abstract: 本发明公开了一种双层双端固支梁的力学参数测量方法,属于微机电系统(Micro‑Electro‑Mechanical System,简称MEMS)材料参数在线测试技术领域。本发明方法基于首次推导出的上下层不等宽双层双端固支梁的吸合电压解析模型,利用一组上下层不等宽双层双端固支梁的吸合电压进行数值计算,可一次性获得更准确的各层等效杨氏模量和各层的等效残余应力数据,对于MEMS的生产、研究具有重要意义。本发明还公开了一种双层双端固支梁的力学参数测量装置。

    一种双层双端固支梁的力学参数测量方法及装置

    公开(公告)号:CN106996893A

    公开(公告)日:2017-08-01

    申请号:CN201710232175.9

    申请日:2017-04-11

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G01N3/00

    Abstract: 本发明公开了一种双层双端固支梁的力学参数测量方法,属于微机电系统(Micro‑Electro‑Mechanical System,简称MEMS)材料参数在线测试技术领域。本发明方法基于首次推导出的上下层不等宽双层双端固支梁的吸合电压解析模型,利用一组上下层不等宽双层双端固支梁的吸合电压进行数值计算,可一次性获得更准确的各层等效杨氏模量和各层的等效残余应力数据,对于MEMS的生产、研究具有重要意义。本发明还公开了一种双层双端固支梁的力学参数测量装置。

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