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公开(公告)号：CN102914881B
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201110418738.6
申请日：2011-12-14
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种双电极温度调谐聚合物波导Bragg双面光栅滤波器，包括恒温板、硅基板、下包层、下电极、波导双面光栅、上包层和上电极，所述恒温板、硅基板、下包层、下电极、波导双面光栅、上包层和上电极从下往上依次叠合在一起；所述下电极和上电极均设有电极引线，并通过该电极引线与电流源连接组成升温装置；所述波导双面光栅包括下光栅、直波导和上光栅，并由所述下光栅、直波导和上光栅从下至上依次叠合构成。本发明在波导双面光栅两侧均刻有光栅结构，从而使周期波导有效折射率的差值会随之增大，反射率也会增大；同时调谐速率更快，反射谱参数更稳定，实现很好的反射、调谐效果，可有效减小光栅的长度，做到利于器件集成的效果。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102914881A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201110418738.6
申请日：2011-12-14
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种双电极温度调谐聚合物波导Bragg双面光栅滤波器，包括恒温板、硅基板、下包层、下电极、波导双面光栅、上包层和上电极，所述恒温板、硅基板、下包层、下电极、波导双面光栅、上包层和上电极从下往上依次叠合在一起；所述下电极和上电极均设有电极引线，并通过该电极引线与电流源连接组成升温装置；所述波导双面光栅包括下光栅、直波导和上光栅，并由所述下光栅、直波导和上光栅从下至上依次叠合构成。本发明在波导双面光栅两侧均刻有光栅结构，从而使周期波导有效折射率的差值会随之增大，反射率也会增大；同时调谐速率更快，反射谱参数更稳定，实现很好的反射、调谐效果，可有效减小光栅的长度，做到利于器件集成的效果。
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公开(公告)号：CN102662218A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201210175164.9
申请日：2012-05-31
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明提供了一种皱褶式切趾波导布拉格光栅滤波器，包括基底、下包层、上包层、直波导和下光栅，下光栅的宽度按照钟形包络函数逐渐增加，位于端部的光栅线的宽度小于直波导的宽度，位于中部的光栅线的宽度大于直波导的宽度。本发明还提供了该滤波器的制备方法：在基底上涂覆下包层；制作抗刻蚀层；旋涂负性光刻胶；进行掩膜曝光；干涉出下光栅的结构；对下光栅区域进行显影，进行腐蚀；刻蚀出下光栅；去除余下的负性光刻胶，进行腐蚀；旋转涂覆芯层材料；蒸镀铝层；进行直波导的光刻；进行直波导以外区域进行显影，再进行腐蚀，制作直波导；旋转涂覆上包层，进行固化和真空干燥。该滤波器具有高反射率、高边模抑制比的切趾效果。
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公开(公告)号：CN102662218B
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201210175164.9
申请日：2012-05-31
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明提供了一种皱褶式切趾波导布拉格光栅滤波器，包括基底、下包层、上包层、直波导和下光栅，下光栅的宽度按照钟形包络函数逐渐增加，位于端部的光栅线的宽度小于直波导的宽度，位于中部的光栅线的宽度大于直波导的宽度。本发明还提供了该滤波器的制备方法：在基底上涂覆下包层；制作抗刻蚀层；旋涂负性光刻胶；进行掩膜曝光；干涉出下光栅的结构；对下光栅区域进行显影，进行腐蚀；刻蚀出下光栅；去除余下的负性光刻胶，进行腐蚀；旋转涂覆芯层材料；蒸镀铝层；进行直波导的光刻；进行直波导以外区域进行显影，再进行腐蚀，制作直波导；旋转涂覆上包层，进行固化和真空干燥。该滤波器具有高反射率、高边模抑制比的切趾效果。
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公开(公告)号：CN202394002U
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201120525151.0
申请日：2011-12-14
Applicant: 东南大学
Abstract: 本实用新型公开了一种双电极温度调谐聚合物波导Bragg双面光栅滤波器，包括恒温板、硅基板、下包层、下电极、波导双面光栅、上包层和上电极，所述恒温板、硅基板、下包层、下电极、波导双面光栅、上包层和上电极从下往上依次叠合在一起；所述下电极和上电极均设有电极引线，并通过该电极引线与电流源连接组成升温装置；所述波导双面光栅包括下光栅、直波导和上光栅，并由所述下光栅、直波导和上光栅从下至上依次叠合构成。本实用新型在波导双面光栅两侧均刻有光栅结构，从而使周期波导有效折射率的差值会随之增大，反射率也会增大；同时调谐速率更快，反射谱参数更稳定，实现很好的反射、调谐效果，可有效减小光栅的长度，做到利于器件集成的效果。
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公开(公告)号：CN202614981U
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201220252086.3
申请日：2012-05-31
Applicant: 东南大学
Abstract: 本实用新型提供了一种皱褶式切趾波导布拉格光栅滤波器，包括基底、下包层、上包层、直波导和由光栅线组成的下光栅，下包层固定连接在基底的上表面，下光栅固定连接在直波导的表面，直波导的底面和下包层的顶面连接，直波导的顶面和上包层的底面连接，所述的下光栅中的光栅线呈条状，且光栅线之间相互平行，下光栅沿直波导的竖向中分线相互对称；下光栅的宽度从两端向中间按照钟形包络函数逐渐增加，且位于下光栅端部的光栅线的宽度小于直波导的宽度，位于下光栅中部的光栅线的宽度大于直波导的宽度；所述的直波导的宽度恒定。该滤波器具有高反射率、高边模抑制比的切趾效果。
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