电容式相对湿度传感器

    公开(公告)号:CN1203312C

    公开(公告)日:2005-05-25

    申请号:CN03131858.4

    申请日:2003-06-12

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明是一种用于湿度信号传感的电容式相对湿度传感器,由衬底,氧化层、电容电极组成,氧化层设在衬底上,电容电极设在氧化层上方,在电容电极上设有电极引线,该电容电极为其材质适于标准CMOS加工工艺的电极,在电容电极上设有钝化层。本发明采用铝电极梳状并联结构可以增加敏感电容值,将衬底可靠接地消除了外界的干扰,提高湿度传感器的精度。淀积钝化层能够有效防止环境中的水汽尤其是聚酰亚胺吸水后,聚酰亚胺中的水汽腐蚀铝电极,提高可靠性。利用梳状并联多晶硅作为加热电路,使湿度传感器的脱附时间更短,同样提高了可靠性。利用聚酰亚胺作为感湿介质,灵敏度高,线性度、滞回特性好,长期可靠等优点。

    微型湿度传感器
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1210565C

    公开(公告)日:2005-07-13

    申请号:CN03131859.2

    申请日:2003-06-12

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明是一种用于湿度信号传感的微型湿度传感器,由衬底,氧化层、电容电极组成,氧化层设在衬底上,电容电极设在氧化层上方,在电容电极上设有电极引线,该电容电极为其材质适于标准CMOS加工工艺的电极,在电容电极上方及其间设有感湿介质层,在电容电极和与氧化层之间设有二氧化硅条,在感湿介质层与氧化层之间设有加热条,在加热条上设有加热条引线和。本发明采用铝电极梳状并联结构可以增加敏感电容值,消除了外界的干扰,提高湿度传感器的精度。利用聚酰亚胺作为感湿介质,灵敏度高,线性度、滞回特性好,长期可靠等优点。

    微型湿度传感器
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1455251A

    公开(公告)日:2003-11-12

    申请号:CN03131859.2

    申请日:2003-06-12

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明是一种用于湿度信号传感的微型湿度传感器,由衬底,氧化层、电容电极组成,氧化层设在衬底上,电容电极设在氧化层上方,在电容电极上设有电极引线,该电容电极为其材质适于标准CMOS加工工艺的电极,在电容电极上方及其间设有感湿介质层,在电容电极和与氧化层之间设有二氧化硅条,在感湿介质层与氧化层之间设有加热条,在加热条上设有加热条引线和。本发明采用铝电极梳状并联结构可以增加敏感电容值,消除了外界的干扰,提高湿度传感器的精度。利用聚酰亚胺作为感湿介质,灵敏度高,线性度、滞回特性好,长期可靠等优点。

    电容式相对湿度传感器

    公开(公告)号:CN1455250A

    公开(公告)日:2003-11-12

    申请号:CN03131858.4

    申请日:2003-06-12

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明是一种用于湿度信号传感的电容式相对湿度传感器,由衬底,氧化层、电容电极组成,氧化层设在衬底上,电容电极设在氧化层上方,在电容电极上设有电极引线,该电容电极为其材质适于标准CMOS加工工艺的电极,在电容电极上设有钝化层。本发明采用铝电极梳状并联结构可以增加敏感电容值,将衬底可靠接地消除了外界的干扰,提高湿度传感器的精度。淀积钝化层能够有效防止环境中的水汽尤其是聚酰亚胺吸水后,聚酰亚胺中的水汽腐蚀铝电极,提高可靠性。利用梳状并联多晶硅作为加热电路,使湿度传感器的脱附时间更短,同样提高了可靠性。利用聚酰亚胺作为感湿介质,灵敏度高,线性度、滞回特性好,长期可靠等优点。

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