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公开(公告)号:CN1203312C
公开(公告)日:2005-05-25
申请号:CN03131858.4
申请日:2003-06-12
Applicant: 东南大学
IPC: G01N27/22
Abstract: 本发明是一种用于湿度信号传感的电容式相对湿度传感器,由衬底,氧化层、电容电极组成,氧化层设在衬底上,电容电极设在氧化层上方,在电容电极上设有电极引线,该电容电极为其材质适于标准CMOS加工工艺的电极,在电容电极上设有钝化层。本发明采用铝电极梳状并联结构可以增加敏感电容值,将衬底可靠接地消除了外界的干扰,提高湿度传感器的精度。淀积钝化层能够有效防止环境中的水汽尤其是聚酰亚胺吸水后,聚酰亚胺中的水汽腐蚀铝电极,提高可靠性。利用梳状并联多晶硅作为加热电路,使湿度传感器的脱附时间更短,同样提高了可靠性。利用聚酰亚胺作为感湿介质,灵敏度高,线性度、滞回特性好,长期可靠等优点。
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公开(公告)号:CN1210565C
公开(公告)日:2005-07-13
申请号:CN03131859.2
申请日:2003-06-12
Applicant: 东南大学
IPC: G01N27/22
Abstract: 本发明是一种用于湿度信号传感的微型湿度传感器,由衬底,氧化层、电容电极组成,氧化层设在衬底上,电容电极设在氧化层上方,在电容电极上设有电极引线,该电容电极为其材质适于标准CMOS加工工艺的电极,在电容电极上方及其间设有感湿介质层,在电容电极和与氧化层之间设有二氧化硅条,在感湿介质层与氧化层之间设有加热条,在加热条上设有加热条引线和。本发明采用铝电极梳状并联结构可以增加敏感电容值,消除了外界的干扰,提高湿度传感器的精度。利用聚酰亚胺作为感湿介质,灵敏度高,线性度、滞回特性好,长期可靠等优点。
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公开(公告)号:CN1455251A
公开(公告)日:2003-11-12
申请号:CN03131859.2
申请日:2003-06-12
Applicant: 东南大学
IPC: G01N27/22
Abstract: 本发明是一种用于湿度信号传感的微型湿度传感器,由衬底,氧化层、电容电极组成,氧化层设在衬底上,电容电极设在氧化层上方,在电容电极上设有电极引线,该电容电极为其材质适于标准CMOS加工工艺的电极,在电容电极上方及其间设有感湿介质层,在电容电极和与氧化层之间设有二氧化硅条,在感湿介质层与氧化层之间设有加热条,在加热条上设有加热条引线和。本发明采用铝电极梳状并联结构可以增加敏感电容值,消除了外界的干扰,提高湿度传感器的精度。利用聚酰亚胺作为感湿介质,灵敏度高,线性度、滞回特性好,长期可靠等优点。
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公开(公告)号:CN119417754A
公开(公告)日:2025-02-11
申请号:CN202411348154.X
申请日:2024-09-26
Applicant: 东南大学 , 常州市建筑科学研究院集团股份有限公司
IPC: G06T7/00 , G06N5/022 , G06N3/096 , G06V10/774 , G06V10/82 , G06N3/0455 , G06V10/26 , G06V20/70
Abstract: 本发明提供一种基于自适应知识整合的裂缝分割模型高效学习方法,将少量参数嵌入Transformer模型中,并在新场景中仅微调非预训练权重的参数,可实现持续学习和跨领域迁移学习两项任务。本发明通过Adapter引入新知识,在保留初始场景优异表现的情况下,可增强后续场景下的裂缝检测。所提出的方法仅用少量训练参数,即可在后续场景下达到甚至超越传统全量微调方法的表现。
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公开(公告)号:CN1455250A
公开(公告)日:2003-11-12
申请号:CN03131858.4
申请日:2003-06-12
Applicant: 东南大学
IPC: G01N27/22
Abstract: 本发明是一种用于湿度信号传感的电容式相对湿度传感器,由衬底,氧化层、电容电极组成,氧化层设在衬底上,电容电极设在氧化层上方,在电容电极上设有电极引线,该电容电极为其材质适于标准CMOS加工工艺的电极,在电容电极上设有钝化层。本发明采用铝电极梳状并联结构可以增加敏感电容值,将衬底可靠接地消除了外界的干扰,提高湿度传感器的精度。淀积钝化层能够有效防止环境中的水汽尤其是聚酰亚胺吸水后,聚酰亚胺中的水汽腐蚀铝电极,提高可靠性。利用梳状并联多晶硅作为加热电路,使湿度传感器的脱附时间更短,同样提高了可靠性。利用聚酰亚胺作为感湿介质,灵敏度高,线性度、滞回特性好,长期可靠等优点。
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