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公开(公告)号：CN118973763A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202280092892.5
申请日：2022-11-17
Applicant: 东和株式会社
IPC: B24B53/00 , B24B27/06 , B24B53/12 , H01L21/301 , H01L21/677
Abstract: 切断装置包括：切断用工作台、切断机构、修整用工作台、收容机构和输送机构。切断用工作台保持切断对象物。切断机构通过刀片切断保持在切断用工作台的切断对象物。修整用工作台为了刀片的修整而保持修整板。收容机构堆叠收容多个修整板。输送机构包括基板输送部和能够与基板输送部一起移动的修整板输送部。基板输送部吸附切断对象物并将被吸附的切断对象物向切断用工作台输送。修整板输送部在收容机构与修整用工作台之间输送修整板。
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