公开(公告)号：CN1248839C

公开(公告)日：2006-04-05

申请号：CN02118655.3

申请日：2002-04-24

Applicant: 东和株式会社

Inventor： 长田道男 ,  竹原克尚 ,  松尾真

IPC: B28D1/24 ,  H01L21/304

CPC classification number: H01L21/67092 ,  B23D47/045 ,  B23D47/08 ,  B28D5/023 ,  B28D5/024 ,  Y10T83/7788

Abstract: 本发明的切断装置，具有以轴中心(5)为中心向刀片旋转方向(7)旋转的旋转轴(4)和固定在旋转轴上以刀片移动速度(VLB)移动的刀片(6)，使轴中心(5)以比刀片移动速度(VLB)大的规定的轴中心旋转速度(VRA)且以微小的旋转直径高速地旋转。由此，刀片(6)推压基板(3)，对基板3切前并产生切屑(8)，刀片(6)从基板(3)拉开，切屑(8)沿刀片旋转方向(7)移动从而刀片(6)的刀口与基板(3)之间被排出。因此，由于能抑制加工阻力的增加，故加工效率提高且能抑制在刀片(6)表面产生的摩擦热。另外，由于产生的摩擦热容易散出，故能获得刀片(6)的长寿命化。

公开(公告)号：CN1382571A

公开(公告)日：2002-12-04

申请号：CN02118655.3

申请日：2002-04-24

Applicant: 东和株式会社

Inventor： 长田道男 ,  竹原克尚 ,  松尾真

IPC: B28D1/24 ,  H01L21/304

CPC classification number: H01L21/67092 ,  B23D47/045 ,  B23D47/08 ,  B28D5/023 ,  B28D5/024 ,  Y10T83/7788

Abstract: 本发明的切断装置,具有以轴中心(5)为中心向刀片旋转方向(7)旋转的旋转轴(4)和固定在旋转轴上以刀片移动速度(VLB)移动的刀片(6),使轴中心(5)以比刀片移动速度(VLB)大的规定的轴中心旋转速度(VRA)且以微小的旋转直径高速地旋转。由此,刀片(6)推压基板(3),对基板3切前并产生切屑(8),刀片(6)从基板(3)拉开,切屑(8)沿刀片旋转方向(7)移动从而刀片(6)的刀口与基板(3)之间被排出。因此,由于能抑制加工阻力的增加,故加工效率提高且能抑制在刀片(6)表面产生的摩擦热。另外,由于产生的摩擦热容易散出,故能获得刀片(6)的长寿命化。

公开(公告)号：CN1935459A

公开(公告)日：2007-03-28

申请号：CN200610139882.5

申请日：2006-09-20

Applicant: 东和株式会社

Inventor： 竹原克尚 ,  吉田正治 ,  北川康之 ,  岸本和之 ,  加藤清治

IPC: B24C3/00 ,  B24C9/00 ,  H01L21/301 ,  H01L21/304 ,  H01L21/68

CPC classification number: B24C1/045 ,  B24C3/04

Abstract: 一种切断装置，通过利用高压将含有磨粒的水进行喷射，沿着在交叉方向延伸的切断线将对象物切断，其具有：将对象物固定的固定台(66)；设在相当于固定台(66)中切断线下方的位置的槽部(68X、68Y)；固定台(66)的槽部(68X、68Y)以外的部分设成与对象物接触的凸部(67)；在槽部(68X、68Y)中设成与向Y方向延伸的切断线大致平行地将凸部(67)连接的基座部(69)；在固定台(66)外周的至少一部分设有将基座部(69)互相之间连接的框部(70)；将基座部(69)覆盖地设成装拆自如的保护构件(74)。由此，在沿着交叉的切断线将对象物切断时，不需要更换将对象物固定的固定台(66)，并可防止固定台(66)的磨损。