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公开(公告)号：CN106029586A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201580009038.8
申请日：2015-02-16
Applicant: 东曹株式会社
CPC classification number: C03C11/00 , C03B19/066 , C03B19/08 , C03B2201/03 , C03C3/06 , C03C2201/02 , C03C2201/80 , C03C2204/06
Abstract: 提供没有吸水性、且红外光的遮光性优异的不透明石英玻璃和其制造方法。本发明的不透明石英玻璃中，将微细的非晶态二氧化硅粉末和造孔剂混合后进行成型，在规定的温度下进行加热，从而所含气孔为闭孔，并且气孔的平均直径为5～20μm，气孔的含有密度高，由此变为热阻断性优异的不透明石英玻璃。
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公开(公告)号：CN101511744B
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN200780033716.X
申请日：2007-09-11
IPC: C03B20/00
CPC classification number: C03C4/0085 , C03B19/066 , C03B20/00 , C03B2201/03 , C03B2201/04 , C03C3/06 , C03C4/10 , C03C2201/23 , C03C2201/50 , C03C2201/54 , Y02P40/57
Abstract: 一种熔融石英玻璃，其对于波长245nm的紫外光，在10mm厚度内的内透过率为95％以上，OH含量为5ppm以下，Li、Na、K、Mg、Ca、Cu的含量各自为不足0.1ppm。优选该熔融石英玻璃在1215℃下的粘度系数为1011.5Pa·s以上，另外，1050℃下在大气中放置24小时的、在距表面的深度超过20μm起至100μm的区域中的Cu离子的扩散系数为1×10-10cm2/秒以下。该熔融石英玻璃通过将原料硅石粉末方英石化后在非还原性气氛中熔融而制造。该熔融石英玻璃具有紫外线、可见光、红外线的透射率高、高纯度且耐热性高以及金属杂质的扩散速度小的特性，适合作为各种光学材料、半导体制造用部件、液晶制造用部件等。
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公开(公告)号：CN101511744A
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200780033716.X
申请日：2007-09-11
IPC: C03B20/00
CPC classification number: C03C4/0085 , C03B19/066 , C03B20/00 , C03B2201/03 , C03B2201/04 , C03C3/06 , C03C4/10 , C03C2201/23 , C03C2201/50 , C03C2201/54 , Y02P40/57
Abstract: 一种熔融石英玻璃，其对于波长245nm的紫外光，在10mm厚度内的内透过率为95％以上，OH含量为5ppm以下，Li、Na、K、Mg、Ca、Cu的含量各自为不足0.1ppm。优选该熔融石英玻璃在1215℃下的粘度系数为1011.5Pa·s以上，另外，1050℃下在大气中放置24小时的、在距表面的深度超过20μm起至100μm的区域中的Cu离子的扩散系数为1×10－10cm2/秒以下。该熔融石英玻璃通过将原料硅石粉末方英石化后在非还原性气氛中熔融而制造。该熔融石英玻璃具有紫外线、可见光、红外线的透射率高、高纯度且耐热性高以及金属杂质的扩散速度小的特性，适合作为各种光学材料、半导体制造用部件、液晶制造用部件等。
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