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公开(公告)号：CN103154709B
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201180045814.1
申请日：2011-11-09
Applicant: 东洋钢钣株式会社
IPC: G01N21/88
CPC classification number: G01N21/8901 , G01N21/94
Abstract: 本发明的目的是提供一种能够检查在板材的表面的侧端部附近的污垢、伤痕、电镀不良、异物附着等的板材检查方法以及板材检查装置。本发明从板材W的表面侧照射反射用的照明光，并且从板材W的背面侧照射背光用的照明光，并且利用摄像部4对包含板材W的表面和比板材W的侧端部更靠外侧的部分的范围S进行摄像。然后，基于此影像，测定在板材W的表面反射的反射光12的光量和比板材W的侧端部Wb更靠外侧的部分的背光11的光量，并且为了使这两个光量变成在同一且预先设定的范围的光量，调节反射用的照明光和背光用的照明光的光量。然后，在光量已调节的状态，对包含板材W的表面和比板材W的侧端部Wb更靠外侧的部分的范围进行摄像，基于此摄像的影像检查板材W的缺陷。
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公开(公告)号：CN103119424B
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201180046006.7
申请日：2011-11-14
Applicant: 东洋钢钣株式会社
CPC classification number: G01N21/94 , G01N21/8901
Abstract: 本发明的目的是提供一种能够正确检查在多孔板的表面的污垢、伤痕、电镀不良、异物附着等的多孔板表面检查方法以及装置。本发明从多孔板W的表面侧照射反射用的照明光，并且从多孔板W的背面侧照射背光用的照明光，利用摄像部4对多孔板W的表面Wa进行摄像。然后，基于此影像，测定在多孔板W的表面Wa反射的反射光12的光量和透过多孔板W的透孔部Wc的透过光11的光量，为了使这两个光量相同并且在事先设定的范围内，调节反射用的照明光和背光用的照明光的光量。然后，在光量已调节的状态，对多孔板W的表面Wa进行摄像，基于此摄像的影像检查多孔板W的表面Wa的缺陷。
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公开(公告)号：CN103154709A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201180045814.1
申请日：2011-11-09
Applicant: 东洋钢钣株式会社
IPC: G01N21/88
CPC classification number: G01N21/8901 , G01N21/94
Abstract: 本发明的目的是提供一种能够检查在板材的表面的侧端部附近的污垢、伤痕、电镀不良、异物附着等的板材检查方法以及板材检查装置。本发明从板材W的表面侧照射反射用的照明光，并且从板材W的背面侧照射背光用的照明光，并且利用摄像部4对包含板材W的表面和比板材W的侧端部更靠外侧的部分的范围S进行摄像。然后，基于此影像，测定在板材W的表面反射的反射光12的光量和比板材W的侧端部Wb更靠外侧的部分的背光11的光量，并且为了使这两个光量变成在同一且预先设定的范围的光量，调节反射用的照明光和背光用的照明光的光量。然后，在光量已调节的状态，对包含板材W的表面和比板材W的侧端部Wb更靠外侧的部分的范围进行摄像，基于此摄像的影像检查板材W的缺陷。
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公开(公告)号：CN103119424A
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201180046006.7
申请日：2011-11-14
Applicant: 东洋钢钣株式会社
CPC classification number: G01N21/94 , G01N21/8901
Abstract: 本发明的目的是提供一种能够正确检查在多孔板的表面的污垢、伤痕、电镀不良、异物附着等的多孔板表面检查方法以及装置。本发明从多孔板W的表面侧照射反射用的照明光，并且从多孔板W的背面侧照射背光用的照明光，利用摄像部4对多孔板W的表面Wa进行摄像。然后，基于此影像，测定在多孔板W的表面Wa反射的反射光12的光量和透过多孔板W的透孔部Wc的透过光11的光量，为了使这两个光量相同并且在事先设定的范围内，调节反射用的照明光和背光用的照明光的光量。然后，在光量已调节的状态，对多孔板W的表面Wa进行摄像，基于此摄像的影像检查多孔板W的表面Wa的缺陷。
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