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公开(公告)号：CN102666372A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201080053598.0
申请日：2010-09-06
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C01B13/11
CPC classification number: C01B13/11 , C01B2201/90
Abstract: 本发明的目的在于提供一种臭氧气体供给系统，其不仅能通过独立控制臭氧气体流量、浓度来对各臭氧处理装置供给臭氧气体，还能进行可靠性高的臭氧气体供给。此外，本发明具有臭氧气体输出流量管理单元(9)，该臭氧气体输出流量管理单元(9)接收来自多个臭氧发生单元(7-1～7-n)的多个臭氧气体输出，并通过设于内部的多个臭氧气体控制阀(9a、9b、9c、9bc、9ab、9ca)的开闭动作，从而能执行将多个臭氧气体输出中的一个或多个的组合选择地输出至多个臭氧处理装置(12-1～12-n)中的任意的臭氧处理装置的臭氧气体输出流量控制。
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公开(公告)号：CN101878182B
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN200880118256.5
申请日：2008-11-28
Applicant: 三菱电机株式会社 , 东芝三菱电机产业系统株式会社
CPC classification number: C01B13/10 , B01D53/047 , B01D2253/106 , B01D2256/14 , B01D2259/403 , Y02P20/123 , Y02P20/124
Abstract: 本发明的臭氧浓缩装置具有：臭氧发生器(3)；用于对由臭氧发生器(3)产生的臭氧进行浓缩而内包有通过一定温度的冷媒(25)冷却了的硅胶(6)的吸附解吸塔(4)；用于冷却冷媒(25)的冷冻机(23)；用于通过从吸附了臭氧的硅胶(6)主要排出氧来提高吸附解吸塔(4)内的臭氧浓度的真空泵(20)；用于切换相对吸附解吸塔(4)流入或者流出的气体流路的空气压操作的多个阀(8～13)；用于测定由真空泵(20)提高了臭氧浓度的臭氧的浓度的臭氧浓度计(28、29)；使真空泵(20)的排气线路与另外的吸附解吸塔(4)连接，再次通过该另外的吸附解吸塔(4)。由此，以在吸附解吸塔的上下不产生温度差的方式高能量效率地产生稳定的高浓度臭氧。
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公开(公告)号：CN101878182A
公开(公告)日：2010-11-03
申请号：CN200880118256.5
申请日：2008-11-28
Applicant: 三菱电机株式会社 , 东芝三菱电机产业系统株式会社
CPC classification number: C01B13/10 , B01D53/047 , B01D2253/106 , B01D2256/14 , B01D2259/403 , Y02P20/123 , Y02P20/124
Abstract: 本发明的臭氧浓缩装置具有：臭氧发生器(3)；用于对由臭氧发生器(3)产生的臭氧进行浓缩而内包有通过一定温度的冷媒(25)冷却了的硅胶(6)的吸附解吸塔(4)；用于冷却冷媒(25)的冷冻机(23)；用于通过从吸附了臭氧的硅胶(6)主要排出氧来提高吸附解吸塔(4)内的臭氧浓度的真空泵(20)；用于切换相对吸附解吸塔(4)流入或者流出的气体流路的空气压操作的多个阀(8～13)；用于测定由真空泵(20)提高了臭氧浓度的臭氧的浓度的臭氧浓度计(28、29)；使真空泵(20)的排气线路与另外的吸附解吸塔(4)连接，再次通过该另外的吸附解吸塔(4)。由此，以在吸附解吸塔的上下不产生温度差的方式高能量效率地产生稳定的高浓度臭氧。
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公开(公告)号：CN105594307B
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201380080010.4
申请日：2013-10-04
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
Abstract: 本发明提供一种在包含等离子产生装置以及电源装置的系统中自动地决定逆变器的驱动频率的电源装置。本发明所涉及的电源装置(10)具有：在电源装置(10)与等离子产生装置(5)之间创建谐振状态的谐振单元(7)；和进行如下动作的控制部(6)。即，控制部(6)在被指示相对于额定电力为100％的投入电力值(或100％以下且阈值％以上的投入电力值)时，使逆变器频率变化，按照每个逆变器频率分别求取逆变器输出功率因数。然后，控制部(6)基于成为最高的逆变器输出功率因数的逆变器频率来将其决定为逆变器的驱动频率。
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公开(公告)号：CN102666372B
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201080053598.0
申请日：2010-09-06
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C01B13/11
CPC classification number: C01B13/11 , C01B2201/90
Abstract: 本发明的目的在于提供一种臭氧气体供给系统，其不仅能通过独立控制臭氧气体流量、浓度来对各臭氧处理装置供给臭氧气体，还能进行可靠性高的臭氧气体供给。此外，本发明具有臭氧气体输出流量管理单元，该臭氧气体输出流量管理单元接收来自多个臭氧发生单元(7-1～7-n)的多个臭氧气体输出，并通过设于内部的多个臭氧气体控制阀(9a、9b、9c、9bc、9ab、9ca)的开闭动作，从而能执行将多个臭氧气体输出中的一个或多个的组合选择地输出至多个臭氧处理装置(12-1～12-n)中的任意的臭氧处理装置的臭氧气体输出流量控制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104105659B
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201280069495.2
申请日：2012-08-30
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
CPC classification number: C01B13/11 , B01J35/004 , B01J35/02 , C01B2201/10 , C01B2201/20 , C01B2201/64 , C01B2201/70 , C01B2201/90
Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够抑制副产品的产生且低成本的臭氧生成系统。在本发明中，具备对臭氧产生装置(1)输出原料气体的气体流量调整装置(7)。气体流量调整装置(7)具备多个流量调整部(71、72、73、75)，并将由从第一氧流量调整部(71)输出的氧气和从混合气体流量调整部(75)输出的第一混合气体构成的第二混合气体作为原料气体而对臭氧产生装置(1)输出。在此，在气体流量调整装置(7)中生成的原料气体由氧气和氮气构成，氮相对于氧气的添加率比0ppm大且为100ppm以下。
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公开(公告)号：CN101878183B
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN200880118263.5
申请日：2008-11-28
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社 , 三菱电机株式会社
IPC: C01B13/10
CPC classification number: C01B13/10 , B01D53/04 , B01D53/047 , B01D2253/106 , B01D2256/14 , B01D2259/403 , B01D2259/404 , B01D2259/41 , C01B13/0203
Abstract: 一种高浓度臭氧气体生成装置及高浓度臭氧气体生成方法，通过以如下的方式构成：将超过大气压的规定浓度的臭氧化气体向装入了作为在0℃以下的低温状态、高气压下进行吸附的吸附剂的氧化硅胶(6)的吸附解吸塔(4)内供给，而且将多个吸附解吸塔(4)中的三塔以上的吸附解吸塔(4-1、4-2、4-3)串联循环配置而构成主吸附解吸塔群(99)，将与该主吸附解吸塔群(99)并列配置的吸附解吸塔(4-4)作为辅助吸附解吸塔(999)，在主吸附解吸塔群(99)的三塔的任一个都没有进行解吸工序的期间，由辅助吸附解吸塔(999)解吸臭氧，能连续地大流量地输出高浓度臭氧。由此，通过高效率地生成高浓度臭氧化气体，能增加能输出的臭氧量且减少不能输出的排出气体量，使高浓度臭氧气体生成装置紧凑化、改善操作性、廉价。
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公开(公告)号：CN102770369A
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：CN201080053584.9
申请日：2010-09-06
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C01B13/11
CPC classification number: B01J19/088 , B01J2219/0805 , C01B13/11 , C01B2201/64 , C01B2201/76 , C01B2201/90
Abstract: 本发明的目的在于得到一种臭氧发生单元及上述臭氧发生单元，其中上述臭氧发生单元可实现具有用于输出臭氧气体的多个元件且设有控制元件的臭氧发生器单元的小型化。此外，在本发明中，气体配管集成块(30)具有多个内部配管路径(R30a～R30f)，通过将上述多个内部配管路径与臭氧发生器(1)、控制元件(MFC(3)、气体过滤器(51)及APC(4))、原料气体供给口(14)、臭氧气体输出口(15)及冷却水出入口(13A、13B)连接，从而形成将从原料气体供给口经由APC直至臭氧气体发生器的原料气体输入配管路径、及从臭氧发生器经由臭氧过滤器、臭氧浓度计(5)、MFC(3)直至臭氧气体输出口的臭氧气体输出配管路径一体化的单元。
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公开(公告)号：CN105594307A
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201380080010.4
申请日：2013-10-04
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
CPC classification number: H05H1/24 , C01B13/11 , H02M7/48 , H02M2007/4818 , H05H1/46 , H05H2001/4682 , Y02B70/1441 , Y02P20/121
Abstract: 本发明提供一种在包含等离子产生装置以及电源装置的系统中自动地决定逆变器的驱动频率的电源装置。本发明所涉及的电源装置(10)具有：在电源装置(10)与等离子产生装置(5)之间创建谐振状态的谐振单元(7)；和进行如下动作的控制部(6)。即，控制部(6)在被指示相对于额定电力为100％的投入电力值(或100％以下且阈值％以上的投入电力值)时，使逆变器频率变化，按照每个逆变器频率分别求取逆变器输出功率因数。然后，控制部(6)基于成为最高的逆变器输出功率因数的逆变器频率来将其决定为逆变器的驱动频率。
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公开(公告)号：CN103857620B
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201180073951.6
申请日：2011-10-04
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C01B13/11
CPC classification number: B01J19/087 , B01J2219/0803 , B01J2219/0892 , C01B13/11 , C01B2201/20 , C01B2201/32 , C01B2201/70
Abstract: 本发明目的在于得到一种能够更多地输出臭氧气体的未添加氮的臭氧产生单元。并且，在本发明中，未添加氮的臭氧产生单元(7)将包含冷却为低温的未添加氮的臭氧产生器(1)、臭氧电源(2)、MFC(3)、APC(4)、隔热冷却水输入用配管(31I)、及隔热冷却水输出用配管(31O)的多个功能机构汇集而构成1单位的封装单元。并且，未添加氮的臭氧产生器(1)将由绝缘物等隔热材料构成的隔热层(8)覆盖臭氧产生器外框(1x)的大致整面而形成。而且，冷却水系统(30)经由隔热冷却水输入用配管(31I)向未添加氮的臭氧产生器(1)供给的冷却水(33)的温度设定为5℃以下，从而使未添加氮的臭氧产生器(1)本身成为低温化结构。
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