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    臭氧气体供给系统
    1.
    发明授权
    臭氧气体供给系统 有权

    公开(公告)号：CN102666372B

    公开(公告)日：2015-08-05

    申请号：CN201080053598.0

    申请日：2010-09-06

    申请人： 东芝三菱电机产业系统株式会社

    发明人： 中村纪幸 ,  冲原雄二郎 ,  西津徹哉 ,  四元初男 ,  田畑要一郎 ,  伊藤信之

    IPC分类号： C01B13/11

    CPC分类号： C01B13/11 ,  C01B2201/90

    摘要： 本发明的目的在于提供一种臭氧气体供给系统，其不仅能通过独立控制臭氧气体流量、浓度来对各臭氧处理装置供给臭氧气体，还能进行可靠性高的臭氧气体供给。此外，本发明具有臭氧气体输出流量管理单元，该臭氧气体输出流量管理单元接收来自多个臭氧发生单元(7-1～7-n)的多个臭氧气体输出，并通过设于内部的多个臭氧气体控制阀(9a、9b、9c、9bc、9ab、9ca)的开闭动作，从而能执行将多个臭氧气体输出中的一个或多个的组合选择地输出至多个臭氧处理装置(12-1～12-n)中的任意的臭氧处理装置的臭氧气体输出流量控制。

    臭氧气体供给系统
    3.
    发明公开
    臭氧气体供给系统 有权

    公开(公告)号：CN102770369A

    公开(公告)日：2012-11-07

    申请号：CN201080053584.9

    申请日：2010-09-06

    申请人： 东芝三菱电机产业系统株式会社

    发明人： 冲原雄二郎 ,  田畑要一郎 ,  中村纪幸 ,  西津徹哉 ,  四元初男 ,  伊藤信之

    IPC分类号： C01B13/11

    CPC分类号： B01J19/088 ,  B01J2219/0805 ,  C01B13/11 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/76 ,  C01B2201/90

    摘要： 本发明的目的在于得到一种臭氧发生单元及上述臭氧发生单元，其中上述臭氧发生单元可实现具有用于输出臭氧气体的多个元件且设有控制元件的臭氧发生器单元的小型化。此外，在本发明中，气体配管集成块(30)具有多个内部配管路径(R30a～R30f)，通过将上述多个内部配管路径与臭氧发生器(1)、控制元件(MFC(3)、气体过滤器(51)及APC(4))、原料气体供给口(14)、臭氧气体输出口(15)及冷却水出入口(13A、13B)连接，从而形成将从原料气体供给口经由APC直至臭氧气体发生器的原料气体输入配管路径、及从臭氧发生器经由臭氧过滤器、臭氧浓度计(5)、MFC(3)直至臭氧气体输出口的臭氧气体输出配管路径一体化的单元。

    臭氧气体供给系统
    4.
    发明公开
    臭氧气体供给系统 有权

    公开(公告)号：CN102666372A

    公开(公告)日：2012-09-12

    申请号：CN201080053598.0

    申请日：2010-09-06

    申请人： 东芝三菱电机产业系统株式会社

    发明人： 中村纪幸 ,  冲原雄二郎 ,  西津徹哉 ,  四元初男 ,  田畑要一郎 ,  伊藤信之

    IPC分类号： C01B13/11

    CPC分类号： C01B13/11 ,  C01B2201/90

    摘要： 本发明的目的在于提供一种臭氧气体供给系统，其不仅能通过独立控制臭氧气体流量、浓度来对各臭氧处理装置供给臭氧气体，还能进行可靠性高的臭氧气体供给。此外，本发明具有臭氧气体输出流量管理单元(9)，该臭氧气体输出流量管理单元(9)接收来自多个臭氧发生单元(7-1～7-n)的多个臭氧气体输出，并通过设于内部的多个臭氧气体控制阀(9a、9b、9c、9bc、9ab、9ca)的开闭动作，从而能执行将多个臭氧气体输出中的一个或多个的组合选择地输出至多个臭氧处理装置(12-1～12-n)中的任意的臭氧处理装置的臭氧气体输出流量控制。