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公开(公告)号：CN106908505A
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201710131688.0
申请日：2017-03-07
申请人： 东风电子科技股份有限公司
IPC分类号： G01N27/416
CPC分类号： G01N27/4162
摘要： 本发明涉及一种用于氮氧化物传感器的新型芯片，其中芯片由第一基片、第二基片、第三基片、第四基片依次层叠而成，第二基片为具有开槽的基片，包括相间隔开的第一区域和第二区域，第一基片上设有一贯穿于第二基片的第一区域的通孔，第一区域中以该通孔为轴线设置有圆柱形凹槽，圆柱形凹槽以通孔为轴线向外依次设置有第一扩散障碍层、第二扩散障碍层，第一扩散障层与第二扩散障层之间的上部设有第一氧泵电极，第二扩散障层与圆柱形凹槽的槽壁之间的上部设有第二氧泵电极，第二扩散障层与圆柱形凹槽的槽壁之间的下部设有测试电极。采用了该发明中新型芯片，电极为同心圆结构，结构简单，可以大幅度降低工艺难度。
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公开(公告)号：CN106595741A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201611178006.3
申请日：2016-12-19
申请人： 东风电子科技股份有限公司
IPC分类号： G01D11/26
CPC分类号： G01D11/26
摘要： 本发明涉及一种用于氧化锆基NOx传感器的密封件，密封件包括内金属壳，内金属壳外部套有外金属壳，内金属壳的壳体底部与外金属壳的壳体相密封连接，外金属壳的壳体侧面设有至少一个第一进气孔，内金属壳的壳体顶部设有第二进气孔，外金属壳在内金属壳和外金属壳连接处远离外金属壳顶部的区域设有至少一个出气孔。采用了该发明中的密封件，采用2层金属制成，由于汽车尾气在尾气管中流动时，边缘和中心存在动压头，而产生压力差，从而实现气体的有序流动，尾气会沿内金属壳进气孔对着氮氧化物传感器芯片的顶部吹，控制尾气的有序流动，实现在传感器芯片的顶部出现较高的气体压力，从而提高NOx传感器的测试精度和响应时间。
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公开(公告)号：CN106770578A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611226388.2
申请日：2016-12-27
申请人： 东风电子科技股份有限公司
IPC分类号： G01N27/403
CPC分类号： G01N27/403
摘要： 本发明涉及一种用于氮氧化物传感器的芯片，芯片由第一基片、第二基片、第三基片、第四基片依次层叠而成，第二基片为具有开槽的基片，包括相间隔开的第一区域和第二区域，第一区域依次设置有第一空腔、第二空腔、第三空腔、第四空腔，第三空腔设置有第一氧泵电极，第四空腔设置有测试电极，第二区域设置有参比气体通道和参比电极，第三基片和第四基片之间设置有加热体，加热体的上下表面均设有绝缘层。采用了本发明的芯片，所有的电极都集中在第一基片的正反面，结构简单且减少了一个氧泵电极，可以大幅度的降低工艺难度；测试电极的表面覆盖保护层，可以防止烧结时氧泵电极中Au的挥发对测试电极的污染，从而保障测试电极的催化活性不受影响。
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公开(公告)号：CN107748195A
公开(公告)日：2018-03-02
申请号：CN201710945395.6
申请日：2017-10-12
申请人： 东风电子科技股份有限公司
IPC分类号： G01N27/416
CPC分类号： G01N27/416
摘要： 本发明涉及一种氮氧化物传感器芯片，其中所述的传感器芯片的内部引线从内向外的连接方式为：通过设置在内层的电极尾部的一个或多个孔，经过多层氧化锆基片，与外部的引脚连接。采用了本发明的氮氧化物传感器芯片，方法简单，所有的氧泵电极、测试电极、参比电极以及外电极和加热体可以和引脚可靠的连接，可以大幅度的降低工艺难度。
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