公开(公告)号：CN118190034A

公开(公告)日：2024-06-14

申请号：CN202410267930.7

申请日：2021-09-04

Applicant: 中北大学

Inventor： 董和磊 ,  谭秋林 ,  熊继军 ,  张磊 ,  李翔鹏

IPC: G01D5/14 ,  G01B7/16 ,  G01K7/00

Abstract: 本发明公开一种薄膜传感器及其制备方法、参数检测方法，该薄膜传感器包括：至少一个三向应变敏感单元；每个三向应变敏感单元包括三个应变栅，三个应变栅串联形成等边三角形；通过检测获得各应变栅的压降，基于各应变栅的压降确定待测构件的应变量和/或温度。本发明通过采用三向应变敏感单元，三个应变栅串联形成等边三角形，可通过较少导线检测各应变栅的压降，同时获得待测构件的应变和温度变化，有效降低薄膜传感器的占用面积，实现薄膜传感器小型化、多功能化、集成化，解决现有技术发动机内部空间不足的问题。

公开(公告)号：CN113776586B

公开(公告)日：2024-03-15

申请号：CN202111019949.2

申请日：2021-09-04

Applicant: 中北大学

Inventor： 谭秋林 ,  董和磊 ,  熊继军 ,  张磊 ,  李翔鹏

IPC: G01D21/02

Abstract: 本发明公开一种薄膜传感器及其制备方法、参数检测方法，该薄膜传感器包括：至少一个三向应变敏感单元；每个三向应变敏感单元包括三个应变栅，三个应变栅串联形成等边三角形；通过检测获得各应变栅的压降，基于各应变栅的压降确定待测构件的应变量和/或温度。本发明通过采用三向应变敏感单元，三个应变栅串联形成等边三角形，可通过较少导线检测各应变栅的压降，同时获得待测构件的应变和温度变化，有效降低薄膜传感器的占用面积，实现薄膜传感器小型化、多功能化、集成化，解决现有技术发动机内部空间不足的问题。

公开(公告)号：CN113776586A

公开(公告)日：2021-12-10

申请号：CN202111019949.2

申请日：2021-09-04

Applicant: 中北大学

Inventor： 谭秋林 ,  董和磊 ,  熊继军 ,  张磊 ,  李翔鹏

IPC: G01D21/02

Abstract: 本发明公开一种薄膜传感器及其制备方法、参数检测方法，该薄膜传感器包括：至少一个三向应变敏感单元；每个三向应变敏感单元包括三个应变栅，三个应变栅串联形成等边三角形；通过检测获得各应变栅的压降，基于各应变栅的压降确定待测构件的应变量和/或温度。本发明通过采用三向应变敏感单元，三个应变栅串联形成等边三角形，可通过较少导线检测各应变栅的压降，同时获得待测构件的应变和温度变化，有效降低薄膜传感器的占用面积，实现薄膜传感器小型化、多功能化、集成化，解决现有技术发动机内部空间不足的问题。