公开(公告)号：CN106017754A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201610328095.9

申请日：2016-05-17

Applicant: 中北大学

Inventor： 贾平岗 ,  熊继军 ,  梁庭 ,  张会新 ,  洪应平 ,  田晓丹 ,  刘佳 ,  李哲

IPC: G01L1/24

CPC classification number: G01L1/242

Abstract: 本发明为一种LTCC光纤法珀高温压力传感器，主要由基座、压力敏感膜片、光纤、插芯及尾柄组成。本发明采用LTCC技术一体化制造直接接触高温的压力敏感膜片和基座，用高温胶水将光纤固定在尾柄及插芯内，采用陶瓷烧结技术或高温胶水将插芯与基座连接，使光纤端面与压力敏感膜片平行放置构成法珀腔，通过光纤传感技术测量压力导致的膜片挠度变化，从而进行压力测量。本发明解决了高温下热应力不匹配导致的传感器失效问题。另外，采用光纤传输可以隔绝高温，消除高温对信号处理电路的影响。在超高温环境下，所制作的压力传感器可以实现宽频带的原位压力测量。

公开(公告)号：CN106017754B

公开(公告)日：2019-04-12

申请号：CN201610328095.9

申请日：2016-05-17

Applicant: 中北大学

Inventor： 贾平岗 ,  熊继军 ,  梁庭 ,  张会新 ,  洪应平 ,  田晓丹 ,  刘佳 ,  李哲

IPC: G01L1/24

Abstract: 本发明为一种LTCC光纤法珀高温压力传感器，主要由基座、压力敏感膜片、光纤、插芯及尾柄组成。本发明采用LTCC技术一体化制造直接接触高温的压力敏感膜片和基座，用高温胶水将光纤固定在尾柄及插芯内，采用陶瓷烧结技术或高温胶水将插芯与基座连接，使光纤端面与压力敏感膜片平行放置构成法珀腔，通过光纤传感技术测量压力导致的膜片挠度变化，从而进行压力测量。本发明解决了高温下热应力不匹配导致的传感器失效问题。另外，采用光纤传输可以隔绝高温，消除高温对信号处理电路的影响。在超高温环境下，所制作的压力传感器可以实现宽频带的原位压力测量。

公开(公告)号：CN205679342U

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201620450511.8

申请日：2016-05-17

Applicant: 中北大学

Inventor： 贾平岗 ,  熊继军 ,  田晓丹 ,  刘佳 ,  李哲

IPC: G01L1/24

Abstract: 本实用新型为一种LTCC光纤法珀高温压力传感器及传感系统，该传感器主要由基座、压力敏感膜片、光纤、插芯及尾柄组成。本实用新型采用LTCC技术一体化制造直接接触高温的压力敏感膜片和基座，用高温胶水将光纤固定在尾柄及插芯内，采用陶瓷烧结技术或高温胶水将插芯与基座连接，使光纤端面与压力敏感膜片平行放置构成法珀腔，通过光纤传感技术测量压力导致的膜片挠度变化，从而进行压力测量。本实用新型解决了高温下热应力不匹配导致的传感器失效问题。另外，采用光纤传输可以隔绝高温，消除高温对信号处理电路的影响。在超高温环境下，所制作的压力传感器可以实现宽频带的原位压力测量。