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公开(公告)号：CN116242483A
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN202310219083.2
申请日：2023-03-09
Applicant: 中南大学
Abstract: 本发明公开了一种高光谱成像装置及法布里‑珀罗谐振腔、控制方法，所述谐振腔包括衬底和基片、压电陶瓷、电压驱动电路、控制模块、待测电容、电容检测模块；待测电容的数量与压电陶瓷的数量相同且一一对应；电容检测模块包括激励信号产生模块、信号接收模块以及傅里叶变换模块；激励信号产生模块与控制模块、待测电容连接，信号接收模块与待测电容连接，信号接收模块的输出端通过傅里叶变换模块与控制模块连接；控制模块根据傅里叶变换模块输出的频域信号计算待测电容的容值，根据容值计算衬底与基片之间的间隙，根据该间隙控制电压驱动电路输出的驱动电压。本发明能够对迟滞效应进行补偿，提高了谐振腔谐振频率精度。
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