Saved successfully
Save failed
Saved Successfully
Save Failed
公开(公告)号:CN215955320U
公开(公告)日:2022-03-04
申请号:CN202122382856.8
申请日:2021-09-29
Applicant: 中南大学
Inventor: 蒋杰 , 谷丽娟
IPC: H01L43/08 , H01L43/02
Abstract: 本实用新型一个或多个实施例提供一种垂直栅控忆阻器,包括:基底;设置在所述基底上的栅介质层;间隔设置在所述栅介质层上的底电极层和栅极层;依次设置在所述底电极层上的中间层和顶电极层。本实用新型能够实现复杂的功能,制备工艺简单,方便控制,且更环保。