公开(公告)号：CN115763542A

公开(公告)日：2023-03-07

申请号：CN202211303883.4

申请日：2022-10-24

Applicant: 中南大学

Inventor： 孙佳 ,  刘鉴洲 ,  阳军亮 ,  徐运超 ,  王舒扬 ,  邓忠辉 ,  石一鸣 ,  陈文仲 ,  于浩然

IPC: H01L29/40 ,  H01L29/423

Abstract: 一种固态电解质栅介质调控晶体管及其制备方法，从下到上依次设置的基板、栅电极、绝缘层和有源层，所述有源层上设置有源电极和漏电极，所述绝缘层的材料包括锂离子固态电解质薄膜。本发明利用锂离子固态电解质作栅介质，该类电解质具有良好的离子导电性，适合于大部分晶体管器件，得到的晶体管拥有较好的工作性能，较低的工作电压以及能适应较苛刻的工作环境。本发明中的锂离子固态电解质可以为半导体中的电子流通提供通道，导通压降较其他栅介质低，且性质稳定，保存时间长，具有较优异的工作性能，可适应高低温，突触特性明显。