公开(公告)号：CN115763199A

公开(公告)日：2023-03-07

申请号：CN202211535374.4

申请日：2022-12-02

申请人： 中国原子能科学研究院

发明人： 刘建成 ,  郭刚 ,  殷倩 ,  陈启明 ,  苏鹏 ,  杨智 ,  赵勇乐 ,  赵琴

IPC分类号： H01J37/20 ,  G01R31/00 ,  H01J37/09

摘要： 本发明属于粒子束流控制技术领域，具体涉及一种用于快速调节束流尺度的装置，包括光阑底座(1)和光阑顶盖(7)构成的壳体，壳体上设有能够通过粒子束流的束流出口，在壳体内设有旋转驱动盘(6)、垂直活动挡板(3)和水平活动挡板(5)，通过旋转驱动盘(6)的旋转带动垂直活动挡板(3)和水平活动挡板(5)运动，实现对束流出口的开启或闭合以及对束流出口的尺寸的调节，从而实现对粒子束流的尺度的调节。本发明实现了束流出口的尺寸在0cm至10×10cm之间的连续快速调节，在束流尺度方面，由原来的1cm×1cm‑5cm×5cm提升到0‑10cm×10cm，可满足大尺寸器件以及多器件同时辐照的需求，提升束流的利用率，简化了实验流程，提高了实验效率。