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公开(公告)号:CN109570151A
公开(公告)日:2019-04-05
申请号:CN201910072533.3
申请日:2019-01-25
申请人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号: B08B7/00
摘要: 本发明公开了一种液流超声复合辅助激光清洗光学元件的装置及清洗方法,包括激光清洗模块和液流超声复合辅助模块。采用以上装置和方法,在基于激光湿法清洗的基础上,引入超声振动与液流清洗,其中,所设计的超生振动台与光学元件直接接触,可以更加充分的利用超声资源,超声振动产生的热量起到清洗前预热的作用,能够消除或减小清洗过程中的残余应力,避免不必要的损伤,提升光学元件性能;同时超声振动与激光参数调谐,从而与液流中激光致声效应产生的声波达到共振,使清洗效果得到显著提升,液流减小了激光对光学元件可能造成的损伤,并避免了二次污染,由此实现了针对光学元件的高效、高质量清洗。
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公开(公告)号:CN109570151B
公开(公告)日:2023-12-22
申请号:CN201910072533.3
申请日:2019-01-25
申请人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号: B08B7/00
摘要: 件的高效、高质量清洗。本发明公开了一种液流超声复合辅助激光清洗光学元件的装置及清洗方法,包括激光清洗模块和液流超声复合辅助模块。采用以上装置和方法,在基于激光湿法清洗的基础上,引入超声振动与液流清洗,其中,所设计的超生振动台与光学元件直接接触,可以更加充分的利用超声资源,超声振动产生的热量起到清洗前预热的作用,能够消除或减小清洗过程中的残余应力,避免不必要的损伤,提升光学元件性能;同时超声振动与激光参数调谐,从而与液流中激光致声效
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公开(公告)号:CN110385313A
公开(公告)日:2019-10-29
申请号:CN201910680045.0
申请日:2019-07-26
申请人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要: 本发明公开了一种基于激光器阵列和集束光纤的高功率激光清洗系统,包括激光器阵列、集束光纤以及与集束光纤输出端连接的激光输出头,所述激光器阵列包括若干阵列分布的激光器单元,所述集束光纤包括由若干与各个激光器单元一一对应的传输光纤集束而成,各个激光器单元产生的激光分别经对应的传输光纤传输到激光输出头,并由激光输出头准直、整形和聚焦后向外输出。采用以上技术方案,通过激光器阵列配合集束光纤能够灵活地控制输出激光束的总能流大小,输出激光的能流密度高,可以快速达到需要的能量进行激光清洗,极大提高了清洗效率和清洗效果,增大了适用范围,能够实现高效率、大范围、高质量、低成本的激光清洗作业。
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公开(公告)号:CN210333608U
公开(公告)日:2020-04-17
申请号:CN201921187028.5
申请日:2019-07-26
申请人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要: 本实用新型公开了一种激光高效清洗系统,包括激光器阵列、集束光纤以及与集束光纤输出端连接的激光输出头,所述激光器阵列包括若干阵列分布的激光器单元,所述集束光纤包括由若干与各个激光器单元一一对应的传输光纤集束而成,各个激光器单元产生的激光分别经对应的传输光纤传输到激光输出头,并由激光输出头准直、整形和聚焦后向外输出。采用以上技术方案,通过激光器阵列配合集束光纤能够灵活地控制输出激光束的总能流大小,输出激光的能流密度高,可以快速达到需要的能量进行激光清洗,极大提高了清洗效率和清洗效果,增大了适用范围,能够实现高效率、大范围、高质量、低成本的激光清洗作业。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN209393671U
公开(公告)日:2019-09-17
申请号:CN201920129768.7
申请日:2019-01-25
申请人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号: B08B7/00
摘要: 本实用新型公开了一种液流超声复合辅助激光清洗光学元件的装置,包括激光清洗模块和液流超声复合辅助模块。采用以上装置,在基于激光湿法清洗的基础上,引入超声振动与液流清洗,其中,所设计的超生振动台与光学元件直接接触,可以更加充分的利用超声资源,超声振动产生的热量起到清洗前预热的作用,能够消除或减小清洗过程中的残余应力,避免不必要的损伤,提升光学元件性能;同时超声振动与激光参数调谐,从而与液流中激光致声效应产生的声波达到共振,使清洗效果得到显著提升,液流减小了激光对光学元件可能造成的损伤,并避免了二次污染,由此实现了针对光学元件的高效、高质量清洗。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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