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公开(公告)号：CN114136976B
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202111314941.9
申请日：2021-11-08
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 一种偏振同轴照明激光剪切散斑干涉测量系统及其测量方法，包括参数标定模块、偏振同轴照明成像模块、剪切干涉探测模块、控制采集处理模块等，用于实现应变与离面形变的测量。本系统可根据样品目标区域的实际测量范围，结合静态或动态加载情况，现场调节并精确标定系统的测量视场与剪切量，从而调节应变测量动态范围与检测灵敏度，并应用时间移相或空间载波相位提取方法，实现应变与离面形变的动态高速或静态高精度测量，系统操作方便，实用性强，测量精度高。此外，本发明采用偏振同轴照明方式，提高了光能利用率与成像质量，实现大视场、高亮度、高均匀性的照明与高质量探测。
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公开(公告)号：CN109955148B
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN201910204249.7
申请日：2019-03-18
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种用于非球面光学元件中频波纹误差的在位检测装置，该装置搭载在磨削机床上，将待测光学元件放置磨削机床的工作台上，通过调节倾角调节装置使平面标准镜沿待测轮廓的倾斜角度等于待测轮廓的弦倾角，位移传感器一从待测轮廓的起始点运动至终止点，同时位移传感器二从平面标准镜的起始端运动至终端，将两位移传感器采集的数据输送至数据处理系统，通过数据处理系统计算得到待测轮廓的全频段误差，去除待测轮廓的非球面理论形貌、低频形状误差和高频粗糙度误差，得到中频波纹误差。该检测装置实现了在原有加工成形磨削机床上的在位检测，无需购置专用高精密测量仪器，也无需拆装元件，节约检测成本和检测时间。
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公开(公告)号：CN114290177B
公开(公告)日：2022-11-15
申请号：CN202111453340.6
申请日：2021-12-01
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： B24B13/00 , B24B49/12 , B24B27/02 , B24B13/005 , B24B47/22
摘要： 本发明公开了一种非球面光学元件磨削加工非接触式精密对刀方法，在机床工作台上安装固定光学元件的同时，在元件的旁边不影响加工的位置固定一块油石；然后使用砂轮在元件表面磨削凹坑，将激光传感器固定在机床主轴上，测量凹坑最低点在第一坐标系中的坐标，由此计算得到测头光点和砂轮最低点之间的偏移距离；并进一步获取非球面光学元件位置并建立元件‑砂轮空间位置关系。本发明砂轮和元件没有直接接触，保证了元件表面的质量，并且对刀精度达到微米级别，提高了非球面的加工精度，避免后续停机检测进行误差修整而造成的工时增加，提高了加工效率。
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公开(公告)号：CN112916314B
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202110083443.1
申请日：2021-01-21
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明提供一种薄板元件的低应变上盘装置及其方法。薄板元件的低应变上盘装置，移动溜板设置在第四导轨的丝杆上，出胶阀安装在移动溜板上，通过第三电机带动丝杆旋转使移动溜板沿着第四导轨在Z方向上下移动，第四导轨还设置在第三导轨的丝杆上，通过第二电机带动丝杆旋转使第四导轨沿着第三导轨在Y方向移动，第三导轨设置在第一导轨的丝杆上和第二导轨上，通过第一电机带动丝杆旋转使第三导轨沿着第一导轨和第二导轨在X方向移动。本发明通过多点柔性支撑构建元件‑胶点‑背板三位一体的半刚性系统，将弱刚性的薄板元件的抛光转换为刚性元件的加工，可有效抑制元件加工过程中的装夹变形，在保证加工效率的同时提高面形精度。
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公开(公告)号：CN113183032B
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202110534615.2
申请日：2021-05-17
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种杯型圆弧砂轮高效精密在位修整方法和装置，实现杯型圆弧砂轮高效精密在位修形和修锐，将三轴联动数控机床和单回转轴砂轮修整器有机结合起来用于杯型圆弧砂轮修整，通过机床数控系统控制机床X直线轴和Z直线轴进行圆弧包络插补，可实现杯型砂轮任意包角圆弧的高效高精度在位修整，同时控制Y直线轴匀速进给运动，可保证平面修整砂轮圆周面的平整性，避免杯型圆弧砂轮在平面修整砂轮正上方修整时去除量急剧增大，保证了杯型圆弧砂轮的修整精度。
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公开(公告)号：CN113211351A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202110530025.2
申请日：2021-05-14
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： B25B11/00
摘要： 本发明公开了一种针对深矢高非球面元件自适应柔性低应力装夹装置及装夹方法，所述装夹装置包括真空吸附基体、若干柔性支撑单元、双通道旋转接头、气管、顶圈、密封圈、自定心卡盘和高精度数控回转台；其中真空吸附基体通过自定心卡盘固定于高精度数控回转台上，其外侧壁均匀分布若干柔性支撑单元；真空吸附基体沿轴线方向设有通孔，通孔与柔性支撑单元之间的间隙形成真空吸附通道；通孔一端通过螺纹与双通道旋转接头的通道I连接；通孔的内壁上均匀布设有沿径向且与双通道旋转接头的通道II连接的放射性通孔。本发明通过“吸+撑”方式实现装夹，以解决现有深矢高非球面元件与装夹装置无法完全贴合、装夹精度低及存在装夹应力的问题。
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公开(公告)号：CN113046715A
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN202110273214.6
申请日：2021-03-11
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明适用于光学元件镀膜技术领域，提供了一种光学元件全口径镀膜装置及其方法，该镀膜装置包括夹持工装主体、夹持组件、侧面板、至少一个顶紧组件；所述夹持工装主体包括基板、至少两个限位块，所述基板上设置有容纳孔，所述限位块对称设置在所述容纳孔的四周；所述夹持组件滑动设置在所述限位块内；所述侧面板设置在所述限位块的两侧，与所述限位块固定连接；所述顶紧组件贯穿所述限位块，与所述夹持组件的端面抵接。本发明提供的镀膜装置设置了侧面板，夹持组件采用聚四氟乙烯材料，结构强度高，夹持应力小，不会对光学元件造成损伤，并且方便快捷、不易松动、掉落，可适用于需要全口径镀膜的中小尺寸的光学元件。
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公开(公告)号：CN112845372A
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN202011644590.3
申请日：2020-12-31
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本申请提供一种光学元件疵病的抑制设备及方法，该光学元件疵病的抑制设备包括：吹扫装置、吸附装置、第一吸盘和洁净容器，吸附装置、吹扫装置与第一吸盘均安装在洁净容器中；吹扫装置的出风口对向光学元件的待吹扫面；第一吸盘设置于洁净容器的底座上，第一吸盘与吸附机构相对设置；吸附装置用于吸附光学元件的吸附面，并通过升降机构驱动吸附机构将光学元件调整至吹扫高度；吹扫装置用于吹扫光学元件的待吹扫面；吸附装置用于将吹扫后的光学元件放置于第一吸盘上进行吸附，通过第一吸盘完成对光学元件的真空吸附装夹。因此能够解决光学元件在真空吸附装夹过程中，存在容易产生表面疵病的技术问题。
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公开(公告)号：CN111283512B
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN202010194315.X
申请日：2020-03-19
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本申请提供了一种双工位加工检测设备及方法，属于光学元件制造技术领域。检测设备包括加工机器人、第一工作台、第二工作台、检测装置、编程检测系统和加工控制系统。第一工作台和第二工作台分别位于加工机器人的两侧。检测装置用于检测第一工作台上的工件的第一面形误差或第二工作台上的工件的第二面形误差。加工控制系统用于根据第一面形误差控制加工机器人对第一工作台上的工件进行加工，用于根据第二面形误差控制加工机器人对第二工作台上的工件进行加工。加工检测设备将双工位上的两工件的加工与检测功能需求融合在一起，实现双工位加工检测一体化，对一个工件进行加工时，可对另一个工件进行在线检测，显著提高加工精度和效率。
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公开(公告)号：CN109128511B
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN201811060748.5
申请日：2018-09-12
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： B23K26/352 , B23K26/03 , B23K26/064 , B23K26/70
摘要： 本申请提供一种激光抛光系统及方法。所述系统包括控制单元、激光发射器、光束整形组件、移动平台及激光干涉仪。待抛光物件固定在移动平台上并由移动平台带动；光束整形组件设置在激光发射器的激光光路上，用于对激光进行光束整形，并将整形后的激光投射到待抛光物件的待抛光表面上进行抛光；控制单元与激光干涉仪电性连接，用于控制激光干涉以对待抛光表面进行抛光面形检测得到对应的面形检测数据；控制单元还分别与激光发射器、光束整形组件及移动平台及电性连接，用于根据面形检测数据对激光发射器、光束整形组件及移动平台进行控制，使待抛光物件达到目标抛光效果。所述系统可对待抛光物件进行高精度抛光处理，提高物件抛光成品率。
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