一种中低温太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN109457219B

    公开(公告)日:2024-04-09

    申请号:CN201811385704.X

    申请日:2018-11-20

    摘要: 本发明涉及一种中低温太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法,特别是涉及一种辐射率低,太阳光谱吸收率α与红外辐射率ε(T)之比高的,基于金属及金属氮化物吸收的太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法。一种中低温太阳光谱选择性吸收涂层依次包括:基底层、红外反射层、吸收层、过渡层和减反层,吸收层包括第一吸收亚层和第二吸收亚层。本发明的一种中低温太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法至少具有下列特点:保证了涂层具有低红外辐射率,提高了涂层整体的吸收率,涂层选材在太阳光谱能量范围内均有吸收作用,有效降低了太阳光在吸收层表面的反射;有效降低了光线在涂层内部界面处的反射;有效提高了涂层整体的制备效率,提高了生产产能。

    透明介质膜层均匀性在线测量方法及其装置

    公开(公告)号:CN105675511B

    公开(公告)日:2019-04-23

    申请号:CN201410670988.2

    申请日:2014-11-20

    IPC分类号: G01N21/27 G01N21/41 G01B11/06

    摘要: 本发明公开了一种透明介质膜层均匀性在线测量方法及其装置,该测量方法包括:获得各点膜面反射光谱;对各点膜面反射光谱进行光学性能分析;获得膜层折射率及膜层平均厚度;进行均匀性分析后得到膜层厚度均匀性分布结果。本发明还公开了一种在线光谱测量装置,包括支架,所述支架上设有导轨,所述导轨上设有测量探头,所述导轨一侧的支架上设有第一位置传感器,另一侧的支架上设有第二位置传感器,当第一位置传感器和第二位置传感器同时检测到被测镀膜样品时,所述测量探头在被测镀膜样品上方沿导轨步进运动逐点扫描测试,用于测试被测镀膜样品的各点膜面反射光谱。本发明能够同时获得膜层折射率及平均厚度,不受膜层种类影响,具有通用性能。

    双过渡层复合吸收型太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN109469986A

    公开(公告)日:2019-03-15

    申请号:CN201811522633.3

    申请日:2018-12-13

    摘要: 本发明是关于一种双过渡层复合吸收型太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法。该涂层包括基底层;在基底层上依次排布有红外反射层、金属过渡层、复合吸收层、氧化物过渡层和减反层;红外反射层、金属过渡层、复合吸收层、氧化物过渡层、减反层的热膨胀系数依次降低,所述复合吸收层自下而上依次包括第一吸收亚层、第二吸收亚层和第三吸收亚层。本发明通过磁控溅射法,依次在所述基底层上形成红外反射层、金属过渡层、第一吸收亚层、第二吸收亚层、第三吸收亚层、氧化物过渡层和减反层,得到双过渡层复合吸收型太阳光谱选择性吸收涂层,其更大程度地降低了各层的界面应力,提高了涂层附着力和高低温循环稳定性。

    一种中低温太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN109457219A

    公开(公告)日:2019-03-12

    申请号:CN201811385704.X

    申请日:2018-11-20

    摘要: 本发明涉及一种中低温太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法,特别是涉及一种辐射率低,太阳光谱吸收率α与红外辐射率ε(T)之比高的,基于金属及金属氮化物吸收的太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法。一种中低温太阳光谱选择性吸收涂层依次包括:基底层、红外反射层、吸收层、过渡层和减反层,吸收层包括第一吸收亚层和第二吸收亚层。本发明的一种中低温太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法至少具有下列特点:保证了涂层具有低红外辐射率,提高了涂层整体的吸收率,涂层选材在太阳光谱能量范围内均有吸收作用,有效降低了太阳光在吸收层表面的反射;有效降低了光线在涂层内部界面处的反射;有效提高了涂层整体的制备效率,提高了生产产能。

    透明介质膜层均匀性在线测量方法及其装置

    公开(公告)号:CN105675511A

    公开(公告)日:2016-06-15

    申请号:CN201410670988.2

    申请日:2014-11-20

    IPC分类号: G01N21/27 G01N21/41 G01B11/06

    摘要: 本发明公开了一种透明介质膜层均匀性在线测量方法及其装置,该测量方法包括:获得各点膜面反射光谱;对各点膜面反射光谱进行光学性能分析;获得膜层折射率及膜层平均厚度;进行均匀性分析后得到膜层厚度均匀性分布结果。本发明还公开了一种在线光谱测量装置,包括支架,所述支架上设有导轨,所述导轨上设有测量探头,所述导轨一侧的支架上设有第一位置传感器,另一侧的支架上设有第二位置传感器,当第一位置传感器和第二位置传感器同时检测到被测镀膜样品时,所述测量探头在被测镀膜样品上方沿导轨步进运动逐点扫描测试,用于测试被测镀膜样品的各点膜面反射光谱。本发明能够同时获得膜层折射率及平均厚度,不受膜层种类影响,具有通用性能。

    一种透明介质膜层折射率及厚度在线测量方法

    公开(公告)号:CN105606566A

    公开(公告)日:2016-05-25

    申请号:CN201410670390.3

    申请日:2014-11-20

    IPC分类号: G01N21/41 G01B11/06

    摘要: 本发明公开了一种透明介质膜层折射率及厚度在线测量方法,包括:获得膜面反射光谱:将被测镀膜样品利用在线光谱测量装置测得预定波长范围的膜面反射光谱;进行柯西光学模型参数设置:根据薄膜膜面反射光谱特点及柯西光学模型中各参数对折射率色散关系的影响进行厚度及柯西光学模型参数初始设置,形成初始值;遗传算法:利用遗传算法,通过初始值,结合膜面反射光谱,通过遗传算法参数设置控制遗传过程,最终得到膜层折射率及膜层厚度。本发明通过建立膜层柯西光学模型,可以和遗传算法充分结合,根据实际生产膜层的光谱特征设置合理的参数,使分析收敛速度更快,结果更准确。

    在线光谱测量装置及透明介质膜层均匀性在线测量装置

    公开(公告)号:CN204346906U

    公开(公告)日:2015-05-20

    申请号:CN201420703553.9

    申请日:2014-11-20

    IPC分类号: G01N21/27 G01N21/41 G01B11/06

    摘要: 本实用新型公开了一种在线光谱测量装置及透明介质膜层均匀性在线测量装置,该在线光谱测量装置,包括支架,所述支架上设有导轨,导轨上设有测量探头,导轨一侧的支架上设有第一位置传感器,另一侧的支架上设有第二位置传感器,当第一位置传感器和第二位置传感器同时检测到被测镀膜样品时,测量探头在被测镀膜样品上方沿导轨步进运动逐点扫描测试,用于测试被测镀膜样品的各点膜面反射光谱。该透明介质膜层均匀性在线测量装置,包括在线光谱测量装置、光学性能分析模块、折射率、厚度分析模块和均匀性分析模块,最终得到膜层厚度均匀性分布结果。本实用新型能够同时获得膜层折射率及平均厚度,不受膜层种类影响,具有通用性能。

    一种中低温太阳光谱选择性吸收涂层

    公开(公告)号:CN209144240U

    公开(公告)日:2019-07-23

    申请号:CN201821913223.7

    申请日:2018-11-20

    摘要: 本实用新型涉及一种中低温太阳光谱选择性吸收涂层,特别是涉及一种辐射率低,太阳光谱吸收率α与红外辐射率ε(T)之比高的,基于金属及金属氮化物吸收的太阳光谱选择性吸收涂层。一种中低温太阳光谱选择性吸收涂层依次包括:基底层、红外反射层、吸收层、过渡层和减反层,吸收层包括第一吸收亚层和第二吸收亚层。本实用新型的一种中低温太阳光谱选择性吸收涂层至少具有下列特点:保证了涂层具有低红外辐射率,提高了涂层整体的吸收率,涂层选材在太阳光谱能量范围内均有吸收作用,有效降低了太阳光在吸收层表面的反射;有效降低了光线在涂层内部界面处的反射;有效提高了涂层整体的制备效率,提高了生产产能。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种Cr-Si-N-O太阳能选择性吸收涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN109341116A

    公开(公告)日:2019-02-15

    申请号:CN201811081750.0

    申请日:2018-09-17

    IPC分类号: F24S70/225 C23C14/35

    摘要: 本发明提供一种Cr-Si-N-O太阳能选择性吸收涂层及其制备方法。所述涂层从底层到表面依次包括基片、红外反射层、吸收层和减反层,所述吸收层包括第一亚层、第二亚层和第三亚层,所述第一亚层与红外反射层接触,所述第三亚层与减反层接触;所述第一亚层、第二亚层的材料为CrSiN;所述第三亚层的材料为CrSiNO;所述第一亚层中,其CrSi的含量大于N的含量;所述的第二亚层中,其CrSi的含量小于等于N的含量。所述涂层能够提高太阳能选择性吸收涂层的热稳定性;所述的涂层经400℃大气环境或者500℃真空环境(3.0x10-3pa)退火2h处理之后,其吸收率均大于0.95,发射率均小于等于0.08(80℃)。