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公开(公告)号：CN118945987A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202410999484.9
申请日：2024-07-24
申请人： 中国海洋大学 , 厦门大学 , 青岛海研电子有限公司
摘要： 本发明公开一种基于丝网印刷的最小端口叉指传感器阵列及其制备方法，属于柔性可穿戴电子及微纳传感器件领域。该叉指传感器阵列的制备方法包括以下步骤：S1、制备叉指电极层；S2、涂覆第一绝缘层；S3、涂覆电极层导线；S4、涂覆第二绝缘层；S5、涂覆间隔层；S6、制备敏感层；S7、传感器阵列封装；将S5制备的电极层‑第一绝缘层‑电极层导线‑第二绝缘层‑间隔层薄膜与S6制备的敏感层对准粘结，进行封装，得到基于丝网印刷的最小端口叉指传感器阵列。本发明能够尽可能减少叉指传感器阵列输出端口数量，并保持优异的柔性，而且整体力学性能得到提升，具有高灵敏度、高稳定性。
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公开(公告)号：CN118706191A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202411177945.0
申请日：2024-08-27
申请人： 中国海洋大学 , 青岛海研电子有限公司 , 厦门大学
IPC分类号： G01D21/02
摘要： 本发明公开一种温盐深海洋柔性传感器及其制备方法，属于海洋环境监测领域。该柔性传感器包括柔性薄膜，在柔性薄膜上设置有温度传感器、盐度传感器和压力传感器；所述柔性薄膜包括底部柔性薄膜层和顶部柔性薄膜层；所述压力传感器包括底部电极、顶部电极和压力敏感单元层；在底部柔性薄膜层的顶面设置有绝缘层，所述底部电极和温度传感器均设置在绝缘层上；所述顶部电极设置在顶部柔性薄膜层的底面，在顶部柔性薄膜层和底部柔性薄膜层之间还设置有TPU油墨层；所述盐度传感器设置在顶部柔性薄膜层的顶面。本发明柔性温盐深传感器为集成化立体的传感器单元，稳定性和可靠性高，并利于与不同的平台集成，进行海洋温盐深环境监测。
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公开(公告)号：CN106218838B
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201610573834.0
申请日：2016-07-21
摘要： 本发明涉及海洋湍流观测技术，具体是一种基于MEMS技术的全海深湍流混合矩阵型剖面观测系统。本发明解决了现有海洋湍流观测技术无法实现全海深同步多采样点立体观测的问题。基于MEMS技术的全海深湍流混合矩阵型剖面观测系统，包括母弹观测系统和子弹观测系统；所述母弹观测系统包括母弹壳体、母弹整流罩、提拉锁、姿态稳定束、通信模块、母弹传感模块、母弹运行监测模块、母弹数据存储模块、母弹微控单元、母弹电池、母弹电磁抛载机构、母弹配重、水深监测模块、机械臂；所述子弹观测系统包括子弹壳体、子弹整流罩、导航定位模块、子弹传感模块、子弹运行监测模块、子弹数据存储模块、子弹微控单元、子弹电池。本发明适用于海洋湍流观测。
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公开(公告)号：CN118603346A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410209098.5
申请日：2024-02-26
申请人： 厦门大学
IPC分类号： G01K7/20 , G06F18/15 , G06F30/367 , G06F119/08
摘要： 本发明涉及温度测量技术领域，具体涉及一种小型化高精度铂电阻测温电路，包括：自研铂电阻传感器，测量范围为‑10℃到200℃；MAX31865四线制测温电路，通过适配器与自研铂电阻传感器电连接，将电信号转化为数字信号并传输至STM32主控电路；STM32主控电路，对数字信号进行处理并控制OLED显示模块和开关机电路的工作；OLED显示模块，显示当前测量温度和历史温度数据以及曲线图；开关机电路，根据STM32主控电路传输的信号自动关闭测温电路，采用PMOS和三极管设计。本发明具有单次测温和连续实时测温的功能，可以实现电阻值到温度值的高精度转换的同时，有效提高了系统的稳定性。
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公开(公告)号：CN118565644A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410826245.3
申请日：2024-06-25
申请人： 厦门大学
摘要： 本申请公开了一种耐高温的钨铼同轴热电极、热电偶及其应用，由钨铼合金丝电极和钨合金管电极套芯组成，两电极之间隔有一层介电绝缘层。测量端通过研磨和抛光在表面自动生成“热”测量结点，由于摩擦产生若干摩擦焊接结桥接在位于钨铼合金丝和钨合金管之间的介电绝缘层上形成复合材料测量结，在腐蚀和/或气流冲刷的过程中，测量端前端的“热”测量结点失效，钨铼同轴热电极的表面生成新的“热”测量结点。这种同轴结构使钨铼同轴热电极能够在3000℃以上的环境中稳定工作，同时能够减少钨铼同轴热电极的无效面积，并有效减少传统的层状热电偶的边界效应，从而提高测量的准确度。
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公开(公告)号：CN118129594A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410163914.3
申请日：2024-02-05
申请人： 厦门大学
IPC分类号： G01B7/16
摘要： 本发明提供了一种适用于多工况的柔性应变检测装置，包括第一封装层、介电层、第二封装层以及电极层；所述第一封装层和第二封装层是弹性薄膜，所述介电层是离子凝胶，所述介电层的上下两侧分别包括沿着柔性应变检测装置的拉伸方向间隔布置的多个横向凹槽，所述介电层介于所述第一封装层和第二封装层之间；所述第二封装层朝向所述介电层的一面形成所述电极层，所述电极层通过激光刻蚀形成叉指电极，所述叉指电极的叉指呈蛇形并沿着所述柔性应变检测装置的拉伸方向蜿蜒弯曲延伸。应用本技术方案可实现较好的拉伸性能的柔性应变检测装置。
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公开(公告)号：CN117878180A
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202311614865.2
申请日：2023-11-29
申请人： 厦门大学
IPC分类号： H01L31/105 , H01L31/0236 , H01L31/0336
摘要： 本发明涉及光电传感器领域，具体涉及一种硅基氧化镓异质日盲光电传感器结构，所述传感结构由硅衬底、多维硅纳米锥结构、氧化镓薄膜、P型掺杂区、N型掺杂区、欧姆接触、以及金电极构成；多维硅纳米锥结构由微米结构和纳米结构组合而成；微米结构预先采用MEMS工艺光刻成相应图形，再通过Bosch刻蚀形成相应微米结构；纳米结构是在微米结构的基础上采用光刻工艺形成相应图形，再通过等离子体浸没刻蚀形成微纳分层的多维硅纳米锥结构。本发明形成的PIN型光电探测结构本征区具有很高的阻抗与氧化镓薄膜对日盲紫外光的倍增吸收可以对光生电子空穴对进行有效收集，将探测的范围扩展到日盲紫外光范围，从而获得理想的量子效率和响应速度。
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公开(公告)号：CN116222829A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310033997.X
申请日：2023-01-10
申请人： 厦门大学
IPC分类号： G01L1/10
摘要： 本发明提供了一种高压波纹管驱动的石英谐振式压力传感器，包括：上腔室、下腔室；所述上腔室包括压力传递单元、压力转换单元、石英双端音叉；所述压力转换单元连接在压力传递单元和石英双端音叉之间；所述下腔室包括振荡电路PCB版，石英双端音叉固定在压力转换单元的定位槽上，并通过焊线机与振荡电路PCB版上的金线版进行连接；待测压力使得压力传递单元沿轴方向发生位移,推动压力转换单元发生位移,压力转换单元上的定位槽会使得石英双端音叉受到拉力,其振动频率发生改变,石英双端音叉的工作频率与初始频率的差值与压力成比例关系,通过测量频率差,依据力频曲线检测出所测压力的大小。
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公开(公告)号：CN115969333A
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202310034021.4
申请日：2023-01-10
申请人： 厦门大学
摘要： 本发明提供了一种面向脉诊检测的柔性高灵敏阵列式传感器，包括：底层柔性基底；多个柔性共面蛇形叉指电极，设置于所述底层柔性基底上；粘接封装层，设置于所述底层柔性基底的边缘，于所述多个柔性共面蛇形叉指电极共面；多个有微柱结构的敏感层，设置于所述多个柔性共面蛇形叉指电极上；微孔间隔层，设置于所述多个有微柱结构的敏感层上；表层封装层，设置于所述微孔间隔层之上。上述的传感器，柔性压力传感阵列可以与人体的体表进行共形贴合，可以更加友好的监测患者的脉搏信息。通过在脉动点附近布置阵列式传感器能够避免单点式传感器在检测过程中发生位置滑动的缺陷，获取更全面的脉诊信息。
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公开(公告)号：CN118960844A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202411040446.7
申请日：2024-07-31
申请人： 厦门大学
摘要： 本发明公开了一种温度‑压力‑热流三参量的复合微纳传感器及其制备方法，其中，复合微纳传感器包括敏感芯体和包裹在敏感芯体外的封装壳体，敏感芯体的主体光纤与法珀谐振腔串联，法珀谐振腔远离主体光纤的一端形成压力敏感膜片层，通过压力敏感膜片层和法珀谐振腔的配合对压力进行检测，通过同轴热电偶实现对温度的检测，通过温度可反演计算热流大小，实现了同时对多个参数的监测，具有耐高温、抗电磁干扰、重复性误差小等特点。
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