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公开(公告)号：CN109405198B
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN201811349374.9
申请日：2018-11-14
申请人： 中国电子工程设计院有限公司
IPC分类号： F24F11/58 , F24F11/88 , F24F11/52 , F24F11/89 , F24F11/54 , F24F11/46 , F24F11/64 , F24F11/38 , F24F11/72
摘要： 本发明公开了一种厂务系统洁净室运维节能系统，包括数据采集传感器、物联网传感器、决策器逻辑电路、现场控制器、远端计算机；数据采集传感器包括第一～第五传感器，第一～第五传感器一方面与决策逻辑电路相连、另一方面与现场控制器相连；所述物联网传感器的输出端与决策器逻辑电路输入端相连，决策逻辑电路与现场控制器相连，现场控制器与远端计算机相连，远端计算机包括策略库存储器，远端计算机内设置有能耗分析平台，能耗分析平台上设置有能耗管理信息系统。本发明还公开了一种厂务系统洁净室运维节能优化方法。本发明实时数据采集和精确控制的优化装置，在保障洁净系统新风覆盖和洁净度指标要求下节能降耗，适用于优化厂务系统的洁净室运维系统。
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公开(公告)号：CN115636557B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202211436541.X
申请日：2022-11-16
申请人： 中国电子工程设计院有限公司
IPC分类号： C02F9/00 , C02F103/04 , C02F101/38 , C02F101/34
摘要： 本发明公开了一种纳米制程集成电路清洗水的制备方法，方法中，对一次纯水进行深除盐处理，一次纯水经第一混合光解吸收器降解总有机碳并脱除弱离子化杂质，随后通过第一真空膜脱气装置脱去氧气形成二次纯水；对二次纯水进行抛光处理，二次纯水经过催化型混合光解吸收器将痕量金属离子、弱离子化杂质和低分子有机物分别脱除至ppq级、ppt级和ppb级，同时将自由基复合氧化剂控制在亚ppb级。制备方法不仅提高了清洗水超低分子有机物的降解效率，将解离常数小于10‑9的弱离子化杂质降除至1 ng/l以下，而且可有效淬灭光解次生氧化剂，将其浓度在POD端控制在1μg/l以内。
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公开(公告)号：CN115572025B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202211431870.5
申请日：2022-11-16
申请人： 中国电子工程设计院有限公司
IPC分类号： C02F9/00 , C02F103/04 , C02F101/30
摘要： 本发明公开了一种深除盐水的处理系统与工艺，处理系统包括二次除盐装置、混合光解吸收器以及膜接触器，所述混合光解吸收器中，至少一个第一壳体为透明隔热的中空封闭结构；至少一个辐射光源设于中空封闭结构内以形成真空辐射腔；待提纯水自下支撑孔板进入第一反应腔且自第二壳体上部的流出孔流出以构成水流通道，水流通道至少部分地重叠于光解区以光催化氧化待提纯水形成第一处理水；来自密封腔的第一处理水依次在络合反应区去除硼硅以及在正电吸附区去除羧酸类小分子有机物形成深除盐水。本处理系统可有效降解超低分子有机物并深度去除弱离子化杂质，为半导体工厂洁净区超纯水循环系统提供高纯度的补给水。
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公开(公告)号：CN109542057A
公开(公告)日：2019-03-29
申请号：CN201811349519.5
申请日：2018-11-14
申请人： 中国电子工程设计院有限公司
IPC分类号： G05B19/418
摘要： 本发明公开了一种基于虚拟机结构的远程运维模型，包括自下而上依次设置的边缘层、基础层、平台服务层和应用层。本发明还提供了上述远程运维模型的构建方法。本发明能够将实体工厂的设备、运行、网络等进行信息物联网融合，除车间级厂务的现场运维，还以远程数据采集、监控方式，提供企业级、集团公司级别的远程运维操作，通过本发明的远程运维模型架构，还可以在云平台上，基于大数据分析某一领域制造行业的整体数据。本发明适用于企业远程化、智能化管理。
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公开(公告)号：CN109516618A
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201811352656.4
申请日：2018-11-14
申请人： 中国电子工程设计院有限公司
IPC分类号： C02F9/08 , C02F103/04
摘要： 本发明公开了一种超纯水智能远程运维系统，基于超净水制备设备而设置，包括：智能运维平台，还包括基于智能运维平台控制的维修维护模块、备件耗材管理模块、设备管理模块、数据分析模块、故障诊断及预测模块、安全管理模块。本发明基于大数据的处理与分析能够更好的控制超纯水制备设备的工作，保证制备出更符合标准的超纯水。本发明适用于所有超纯水制备设备。
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公开(公告)号：CN115893769B
公开(公告)日：2023-06-20
申请号：CN202310028299.0
申请日：2023-01-09
申请人： 中国电子工程设计院有限公司
IPC分类号： C02F9/00 , C02F1/20 , C02F1/42 , C02F1/44 , C02F1/70 , C02F103/04 , C02F101/30 , C02F101/10
摘要： 本发明公开了一种精处理回路提纯水的系统，该系统包括第一膜接触器、光解反应器、弱酸吸附塔、双层抛光塔和第二膜接触器。其中，第一膜接触器内置溶氢膜，用于制备富含氢气的超纯水。双层抛光塔为层叠结构，包括收容部、供给部和排出部，通过氢化反应，消除金属纳米粒子表面氧化层。该金属纳米粒子用于淬灭自由基复合氧化剂并脱除氧气，特别优选来自Ⅷ族或ⅠB族的二元金属复合纳米粒子，能够高效提升催化反应效率，显著提高单金属催化活性和选择性，同时表现出良好的循环性。
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公开(公告)号：CN109542057B
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN201811349519.5
申请日：2018-11-14
申请人： 中国电子工程设计院有限公司
IPC分类号： G05B19/418
摘要： 本发明公开了一种基于虚拟机结构的远程运维系统，包括自下而上依次设置的边缘层、基础层、平台服务层和应用层。本发明还提供了上述远程运维系统的构建方法。本发明能够将实体工厂的设备、运行、网络等进行信息物联网融合，除车间级厂务的现场运维，还以远程数据采集、监控方式，提供企业级、集团公司级别的远程运维操作，通过本发明的远程运维系统架构，还可以在云平台上，基于大数据分析某一领域制造行业的整体数据。本发明适用于企业远程化、智能化管理。
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公开(公告)号：CN115636557A
公开(公告)日：2023-01-24
申请号：CN202211436541.X
申请日：2022-11-16
申请人： 中国电子工程设计院有限公司
IPC分类号： C02F9/00 , C02F103/04 , C02F101/38 , C02F101/34
摘要： 本发明公开了一种纳米制程集成电路清洗水的制备方法，方法中，对一次纯水进行深除盐处理，一次纯水经第一混合光解吸收器降解总有机碳并脱除弱离子化杂质，随后通过第一真空膜脱气装置脱去氧气形成二次纯水；对二次纯水进行抛光处理，二次纯水经过催化型混合光解吸收器将痕量金属离子、弱离子化杂质和低分子有机物分别脱除至ppq级、ppt级和ppb级，同时将自由基复合氧化剂控制在亚ppb级。制备方法不仅提高了清洗水超低分子有机物的降解效率，将解离常数小于10‑9的弱离子化杂质降除至1 ng/l以下，而且可有效淬灭光解次生氧化剂，将其浓度在POD端控制在1μg/l以内。
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公开(公告)号：CN110779172B
公开(公告)日：2020-12-25
申请号：CN201911090102.6
申请日：2019-11-08
申请人： 中国电子工程设计院有限公司
摘要： 本发明涉及数据机房技术领域，特别涉及一种数据机房空调冷量利用率诊断方法及诊断设备。包括：获取IT设备用电量、机房空调制冷量和机房空调再加热量；根据设置的修正系数及获取的IT设备用电量、机房空调制冷量和机房空调再加热量得出冷量利用率；判定利用率是否大于第一设定值，若利用率大于第一设定值，数据机房正常运行；若利用率小于等于第一设定值，则发出告警提示，现场核查判定告警提示是否属实，若告警提示不属实，重设修正系数。本申请的数据机房空调冷量利用率诊断方法，需要较少的参数，即可为数据机房围护结构快速诊断及改造提供技术依据，降低数据机房空调能耗。
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公开(公告)号：CN110779122A
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201911184032.0
申请日：2019-11-27
申请人： 中国电子工程设计院有限公司
摘要： 本发明公开了一种具有杀菌除异味功能的空气处理设备及其控制方法。该具有杀菌除异味功能的空气处理设备包括具备通风通道的机体，机体的两端分别设置有新风口和送风口，机体设置有新风口的一端还设置有回风口；设置于通风通道内的且位于回风口与送风口之间的杀菌除异味装置，杀菌除异味装置包括环绕第一方向设置的除异味灯和杀菌灯。本发明的具有杀菌除异味功能的空气处理设备，室外空气由新风口流经通风通道流向送风口，进而供给到室内，除异味灯通电后能够去除异味，去除异味效果强，并且杀菌灯通电后能够杀菌，从而杀菌除异味装置对流经通风通道的空气能够充分地进行去除异味和杀菌，空气处理效果显著。
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