一种快速区分氮化铝体单晶极性面的方法与装置

    公开(公告)号:CN113219122A

    公开(公告)日:2021-08-06

    申请号:CN202110515624.7

    申请日:2021-05-12

    IPC分类号: G01N31/00

    摘要: 本发明公开了一种快速区分氮化铝体单晶极性面的方法及装置,将氮化铝晶片A极性面向上平放在铜片上;用表笔探针对氮化铝晶片的A极性面施加外力;电荷信号通过电荷放大器中的输入端输入到电荷放大器内,并通过输出端输出电压信号并显示在数字型万用表上;根据数字型万用表上的负电压信号判断氮化铝单晶片极性为:A极性面为Al极性面,与实验结果吻合;将氮化铝单晶片翻转,即B极性面朝向上方进行二次测试,根据万用表上的正电压信号判断:B极性面为N极性面。本检测方法对氮化铝晶片无任何损伤、无腐蚀、不具有破坏性,可以快速准确地区分出氮化铝单晶的极性面,实践性和通用性强。另外,该检测装置无需制样,操作简单,价格低廉,直接检测。