公开(公告)号：CN117039613A

公开(公告)日：2023-11-10

申请号：CN202311017673.3

申请日：2023-08-11

申请人： 中国电子科技集团公司第四十四研究所

发明人： 彭芳草 ,  张夏琦 ,  饶鑫 ,  朱长林 ,  刘海军 ,  冯琛 ,  廖苗苗 ,  张长春 ,  韦小亚 ,  张靖 ,  段利华

IPC分类号： H01S5/12 ,  H01S5/028 ,  H01S5/20

摘要： 本发明属于半导体激光器领域，特别涉及一种高可靠性高速直调DFB激光器及其制作方法，高可靠性高速直调DFB激光器包括：高速DFB激光器结构，其具有倒台型脊波导；第一Si钝化膜，其覆盖在高速DFB激光器结构的前腔面；第二Si钝化膜，其覆盖在高速DFB激光器结构的后腔面；抗反射膜层，其覆盖在第一Si钝化膜上；高反射膜层，其覆盖在第二Si钝化膜上；本发明解决目前InGaAlAs/InP材料体系高速直调DFB激光器难以实现高可靠性的难题，为高寿命高速直调激光器的实现提供可能。